Výběr země / regionu a jazyka
Vyhledávání
Kontakt
Česko | CS
K MyTRUMPF
Česko | CS
Kontakt
K MyTRUMPF
Bipolární generátor TruPlasma Bipolar 4040
Bipolární generátor TruPlasma Bipolar 4040
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar série 4000 (G2)

Maximální výkon na flexibilní hřídeli

Bipolární technologie pro maximální nároky

Procesní elektrická napájení TruPlasma Bipolar série 4000 (G2) byla vyvinuta speciálně pro povlakování s podporou plazmy pomocí procesů PVD, PECVD a reaktivního naprašování. Díky flexibilně formovatelnému výstupnímu signálu a zdokonalené správě elektrického oblouku jsou tyto bipolání pulzery nejnovější generace velmi mnohostranně použitelné. Bez ohledu na to, zda při výrobě polovodičů a solárních článků nebo při povlakování architektonického skla, v každém případě můžete očekávat maximální výkony s ohledem na kvalitu vrstev a rychlost povlakování.

Opravdu málo energie elektrického oblouku

Plně digitální správa elektrického oblouku pro maximální kvalitu vrstvy a produktivitu.

Nastavitelné formy hřídele

Jednoduché přizpůsobení různým procesům díky střídání výstupního signálu.

Jeden generátor, mnoho použití

Stejnosměrný proud, pulzní stejnosměrný proud a bipolární: úspora nákladů díky rozmanitým možnostem nastavení.

Integrované chlazení vodou

Nejsou zapotřebí žádné externí komponenty, proto jsou jen velmi malé požadavky na místo.
Typická oblast použití TruPlasma Bipolar série 4000 (G2): Výroba povrchů odolných proti opotřebení

Elektrické napájení špičkové třídy

Typickými oblastmi použití jsou výroba polovodičů a fotovoltaiky, povlakování architektonického skla a výroba dekorativních vrstev a vrstev odolných vůči opotřebení v nejvyšší kvalitě. Přitom se využívají zejména procesy PVD a PECVD.
Výstup          
Jmenovitý výkon 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Maximální výstupní proud 25 A ef. 50 A ef. 75 A ef. 100 A ef. 150 A ef.
Maximální výstupní napětí 1000 V ef. 1000 V ef. 1000 V ef. 1000 V ef. 1000 V ef.
Jmenovitá provozní frekvence 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Parametry Arc          
Maximální poměr Arc 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arc energie 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
Zapalovací napětí          
se zapalovací pomůckou 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Data připojení k síti          
Síťové napětí 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Síťová frekvence 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Účiník 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Komunikační rozhraní          
Analogový/digitální Ano Ano Ano Ano Ano
RS 232 / RS 485 Ano Ano Ano Ano Ano
PROFIBUS Ano Ano Ano Ano Ano
EtherCAT Ano Ano Ano
- 		Ano Ano
DeviceNet Ano Ano Ano
- 		Ano Ano
Skříň          
Šířka 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Výška 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Hloubka 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Hmotnost 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Krytí IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Požadavky na chlazení          
Chladicí médium Voda Voda Voda Voda Voda
Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Min. tlakový rozdíl 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Min. průtokové množství 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Teplota chladiva 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
Všeobecně          
Celková účinnost 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Podmínky prostředí          
Venkovní teplota 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Vlhkost vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrický tlak 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
Technický datový list
Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.
Správa elektrického oblouku

Dokonalé vrstvy, vysoká produktivita

Plně digitální správa elektrického oblouku s velmi nízkou energií oblouku umožňuje vysokou kvalitu vrstev i rychlost nanášení vrstev. I u náročných reaktivních procesů zaručuje TruPlasma Bipolar série 4000 (G2) vždy rovnoměrné elektrické napájení procesu a tím stabilní stav plazmatu.

Díky flexibilnímu výběru výstupního signálu má mnohostranné použití

Více flexibility, nižší náklady

Pomocí nastavitelných forem hřídele můžete generátory TruPlasma Bipolar série 4000 (G2) velmi snadno přizpůsobit různým procesním požadavkům. Díky flexibilní volbě výstupního signálu (stejnosměrný proud, pulzní stejnosměrný proud nebo bipolární) jsou mnohostranně použitelné a pomáhají tak snížit vaše celkové provozní náklady (TCO).

Bipolární generátor TruPlasma Bipolar 4060

Vše v jedné skříni

Díky chlazení vodou, které je plně integrováno do skříně generátoru chráněné před vlivy vnějšího prostředí, nejsou zapotřebí žádné externí komponenty.

Uživatelsky přívětivý software PVD Power

PVD Power

Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty i záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).

Výběrem různých systémových komponent můžete bipolání pulzní generátor co nejlépe přizpůsobit svému systémovému prostředí.

Pohled zezadu na generátor TruPlasma Bipolar série 4000 (G2)
Síťový kabel

K dispozici jsou různá provedení kabelů a konektorů pro různé standardy připojení.

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.

Whitepaper

PDF - 683 KB
Záleží na tvaru: Bipolární rozprašování
V tomto článku jsou představeny dvě charakteristiky bipolárního napájení proudem: (i) široký rozsah pulzní frekvence až do 100 kHz a (ii) dodatečný brake time mezi pozitivní a negativní poloviční vlnou obdélníkového tvaru vln u proudu a napětí.
PDF - 942 KB
Sinus nebo obdélník
Od zavedení duálního magnetronového rozprašování Dual-Magnetron-Sputtern (DMS) pro vysoce izolující vrstvy existuje volba mezi square wave pulse a sine wave elektrickým napájením.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Services_Electronics_Training
Naší silnou stránkou jsou individuální školení zákazníků

Zkušení servisní technici zprostředkovávají fundované vědomosti, které jsou obsahově přizpůsobeny potřebám účastníků.
TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Specialisté pro velké plochy a vysokou míru rozprašování

S naší TruPlasma MF sérií 7000 (G2) máte plnou kontrolu nad svým procesem a vždy docílíte maximální kvality vrstev, úspory nákladů a produktivity.
Ideální pro velkoplošné povlakování
Elektrické napájení pro váš plazmový proces

Plazmové generátory TRUMPF Hüttinger disponují širokým výkonnostním a frekvenčním spektrem. Zde se informujte o našich produktech.
Kontakt
E-mail
Servis
Servisní smlouvy Další podrobnosti Technický zákaznický servis Další podrobnosti Školení Další podrobnosti Originální díly Další podrobnosti
Stažení
Brožura TruPlasma Bipolar série 4000 (G2)
Brožura TruPlasma Bipolar série 4000 (G2)
pdf - 1 MB