Pro zajištění funkčnosti této webové prezentace používáme cookies. Pokud nám chcete povolit použití cookies i pro další účely, klikněte zde. Informace o deaktivaci cookies a ochraně osobních údajů
Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku
Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias série 3000

Stabilní a mnohostranná

Univerzální generátory pro váš proces naprašování

Generátory TruPlasma Bias série 3000 podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají např. v polovodičové technice nebo povlakování tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.

Vysokonapěťový a nízkonapěťový režim

1200 V pro procesy leptání substrátu,
300 V pro procesy nanášení s podporou předpětí.

Rychlá správa elektrického oblouku

Velmi nízká zbytková energie elektrického oblouku, z toho plyne menší poškození substrátu a stabilnější procesy.

Stabilní a opakovatelné výsledky procesu

Jedinečná přesnost díky moderní technice DSP a vyhodnocení signálu FPGA.

Ideální pro velkoplošné povlakování

Dekorativní povlakování

Velkoplošné povlakování klade v plazmovém procesu obzvláště vysoký požadavek na elektrické napájení procesu. Generátory TruPlasma Bias série 3000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže je dosahováno vynikajících, opakovatelných výsledků.

Ideálně vhodné pro procesy leptání a nanášení

Polovodičová technika

Generátory TruPlasma Bias série 3000 se osvědčují ve všech kritických procesech PVD a PECVD a nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících a opakovatelných výsledků.

- / -
Použití generátoru TruPlasma Bias série 3000

Zajišťuje trvale dobré procesní podmínky

Speciální design výkonu a řízení zajišťuje solidní stabilitu napětí, která je rozhodující pro kvalitu vrstvy a stabilní proces. S konceptem v DSP techniky a vyhodnocením signálu FPGA disponuje TruPlasma Bias série 3000 moderní správou elektrického oblouku, která nabízí jedinečnou přesnost a přesnost opakování. Působivé hodnoty obou parametrů zajišťují optimální stabilizaci procesu.

Typická oblast použití TruPlasma Bipolar série 4000 (G2): výroba povrchů odolných proti opotřebení

Jednoduchá manipulace se systémem pouze jedním přístrojem pro několik procesů

TruPlasma Bias série 3000 disponuje dvěma oddělenými režimy napětí: vysokonapěťovým režimem s až 1 200 V a nízkonapěťovým režimem s až 300 V. Režimy podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povlakování tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.

Typická oblast použití TruPlasma Bias série 3000: výroba solárních článků

Optimální kvalita vrstvy díky bezproblémovým procesům

Generátory TruPlasma série 3000 jsou vybaveny plně digitální správou elektrického oblouku s velmi malou energií oblouku a CompensateLine a umožňují proto vysokou kvalitu vrstev a rychlost nanášení vrstev. Tím dochází k ještě menšímu poškozování substrátu, proces a konečný produkt jsou vylepšeny.

Uživatelsky přívětivý software PVD Power

PVD Power

Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Kontakt

Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax: +49 761 89711150
E-mail

Stažení

Brožura
Brožura TruPlasma Bias série 3000 / 4000
Brožura TruPlasma Bias série 3000 / 4000
pdf - 1 MB
Servis a kontakt

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Czech Republic . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Czech Republic
United States

Or select a country or region.