Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku
Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias série 3000

Stabilní a mnohostranná

    - / -
    • Přehled
    • Aplikace
    • Užitek pro zákazníky
    • Software
    • Více Méně
    Univerzální generátory pro váš proces naprašování

    Generátory TruPlasma Bias série 3000 podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají např. v polovodičové technice nebo povlakování tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.

    Vysokonapěťový a nízkonapěťový režim

    1200 V pro procesy leptání substrátu,
    300 V pro procesy nanášení s podporou předpětí.

    Rychlá správa elektrického oblouku

    Velmi nízká zbytková energie elektrického oblouku, z toho plyne menší poškození substrátu a stabilnější procesy.

    Stabilní a opakovatelné výsledky procesu

    Jedinečná přesnost díky moderní technice DSP a vyhodnocení signálu FPGA.

    Ideální pro velkoplošné povlakování

    Dekorativní povlakování

    Velkoplošné povlakování klade v plazmovém procesu obzvláště vysoký požadavek na elektrické napájení procesu. Generátory TruPlasma Bias série 3000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže je dosahováno vynikajících, opakovatelných výsledků.

    Ideálně vhodné pro procesy leptání a nanášení

    Polovodičová technika

    Generátory TruPlasma Bias série 3000 se osvědčují ve všech kritických procesech PVD a PECVD a nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících a opakovatelných výsledků.

    Použití generátoru TruPlasma Bias série 3000

    Zajišťuje trvale dobré procesní podmínky

    Speciální design výkonu a řízení zajišťuje solidní stabilitu napětí, která je rozhodující pro kvalitu vrstvy a stabilní proces. S konceptem v DSP techniky a vyhodnocením signálu FPGA disponuje TruPlasma Bias série 3000 moderní správou elektrického oblouku, která nabízí jedinečnou přesnost a přesnost opakování. Působivé hodnoty obou parametrů zajišťují optimální stabilizaci procesu.

    Typická oblast použití TruPlasma Bipolar série 4000 (G2): výroba povrchů odolných proti opotřebení

    Jednoduchá manipulace se systémem pouze jedním přístrojem pro několik procesů

    TruPlasma Bias série 3000 disponuje dvěma oddělenými režimy napětí: vysokonapěťovým režimem s až 1 200 V a nízkonapěťovým režimem s až 300 V. Režimy podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povlakování tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.

    Typická oblast použití TruPlasma Bias série 3000: výroba solárních článků

    Optimální kvalita vrstvy díky bezproblémovým procesům

    Generátory TruPlasma série 3000 jsou vybaveny plně digitální správou elektrického oblouku s velmi malou energií oblouku a CompensateLine a umožňují proto vysokou kvalitu vrstev a rychlost nanášení vrstev. Tím dochází k ještě menšímu poškozování substrátu, proces a konečný produkt jsou vylepšeny.

    Uživatelsky přívětivý software PVD Power

    PVD Power

    Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).

    V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

    Také by vás mohla zajímat tato témata

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    Osvědčené pulzní generátory Bias na stejnosměrný proud

    Generátory TruPlasma Bias série 4000 podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají například v polovodičové technice.

    Services_Electronics_Technical_Support
    Servis jako žádný jiný

    S optimální smlouvou o údržbě dosáhnete maximální dostupnosti generátoru s okamžitým přehledem nákladů na údržbu a provoz.

    Services_Electronics_Training
    Naší silnou stránkou jsou individuální školení zákazníků

    Zkušení servisní technici zprostředkovávají fundované vědomosti, které jsou obsahově přizpůsobeny potřebám účastníků.

    Kontakt

    Klaus Nock
    Odbyt plazmová zařízení
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Stažení

    Brožura
    Brožura TruPlasma Bias série 3000 / 4000
    Brožura TruPlasma Bias série 3000 / 4000
    pdf - 1 MB
    Servis a kontakt