You have selected Česko. Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Plazmové generátory | TRUMPF
Technologický obrázek, DC plazmový generátor

Plazmové generátory

Plazmové generátory od společnosti TRUMPF Hüttinger poskytují nezbytnou procesní energii pro mnoho špičkových průmyslových odvětví a umožňují tak funkční proces nanášení solárních článků a mikročipů, velkoplošný proces nanášení architektonického skla a výrobu polovodičových konstrukčních prvků a plochých obrazovek. Díky vynikající přesnosti, energetické efektivitě a vysoké procesní stabilitě patří ke špičkám na trhu.

Středofrekvenční plazmové generátory

Díky vynikající přesnosti a produktivitě jsou ideálním řešením pro četné aplikace v generování plazmy.

Plazmové generátory pulzů stejnosměrného proudu

Plazmové generátory pulzů stejnosměrného proudu TRUMPF Hüttinger se hodí ideálně na použití ve velkém množství reakčních procesů.

Plazmové generátory stejnosměrného proudu

Plazmové generátory TRUMPF Hüttinger jsou klasikou při plazmové excitaci.

Vysokofrekvenční plazmové generátory

První volba pro náročné aplikace, jako jsou výroba polovodičových konstrukčních prvků, mikročipy, solární články nebo ploché obrazovky.

Středofrekvenční plazmové generátory

Bipolární generátor TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar série 4000 (G2.1)

Procesní napájení laserů TruPlasma Bipolar řady 4000 (G2.1) poskytuje s flexibilně tvarovatelnými výstupními signály a vylepšenou správou elektrického oblouku vynikající výsledky při výrobě solárních článků a polovodičů, při nanášení dekorativních vrstev a vrstev odolných proti opotřebení i při povlakování architektonického skla. Generátory nejnovější generace se výborně hodí pro náročné plazmové procesy, jako je reaktivní naprašování, PVD a PECVD.

TruPlasma MF série 7000 (G2)

TruPlasma MF série 7000 (G2)

Se středofrekvenčními generátory TruPlasma série MF 7000 (G2) máte stále kontrolu nad svým procesem. Výsledkem je vynikající kvalita vrstvy a nejvyšší produktivita i u náročných, velkoplošných aplikací povlakování. S maximální účinností více než 90 % jsou elektrická napájení nejnovější generace současně vysoce nákladově úsporná při provozu.

Plazmové generátory pulzů stejnosměrného proudu

Generátor TruPlasma Highpulse série 4000

TruPlasma Highpulse řada 4000 (G2)

Procesní napájení laserů TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) umožňuje povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení a je první volbou pro aplikace HIPIMS. V kombinaci s polarizovanými substráty může TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) sloužit také v polovodičových aplikacích, např. pro výplň rýhy, předběžnou úpravu povrchů a leptání.

Generátor TruPlasma Highpulse série 4000

TruPlasma Highpulse série 4000

Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 jsou první volbou pro aplikace HIPIMS a dodávají povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení. V kombinaci s polarizovanými substráty může TruPlasma Highpulse série 4000 ovládat i polovodičové aplikace, např. leptání, předběžné zpracování povrchů a výplň rýhy.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC série 4000 (G2)

TruPlasma DC série 4000 (G2) spojuje vynikající zpracování elektrického oblouku od společnosti TRUMPF Hüttinger s výhodami pulzní technologie se stejnosměrným proudem. Docílíte tak lepších výsledků povlakování s menším počtem vad při současně vysoké rychlosti nanášení vrstvy. Výsledkem jsou brilantní povrchy a vysoký výrobní výkon.

Plazmové generátory stejnosměrného proudu

Stejnosměrný generátor TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC série 3000 (G2)

Jako nová generace stejnosměrných generátorů je TruPlasma DC série 3000 (G2) vhodná pro velké množství procesů stejnosměrného naprašování. Díky své pokrokové správě elektrického oblouku a integrovanému chlazení vodou jsou stejnosměrné generátory zajímavé i jako cenově výhodná alternativa k pulzním stejnosměrným generátorům. Velmi kompaktní konstrukce navíc umožňuje jednoduchou integraci do stávajících aplikací.

Obloukový generátor TruPlasma Arc série 3000

TruPlasma Arc série 3000

Generátory TruPlasma Arc série 3000 okouzlí především při povlakování tvrdými materiály a u dekorativního povlakování. Díky své kompaktní konstrukci a vzduchovému chlazení je zajištěno optimální využití cenné užitkové plochy a usnadněna integrace do nových nebo dostupných systémů.

Radiofrekvenční plazmové generátory

TruPlasma RF Air série 1000

Vzduchem chlazený vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 1001 Air dodává až do 1000 wattů vysoce přesnou, reprodukovatelnou vysokofrekvenční energii s extra jemným rozlišením – po 100mW krocích – a tím je vhodný pro nejrůznější plazmové aplikace. Bez ohledu na to, zda se používá při výrobě polovodičů, solárních článků nebo displejů – patentovaná technologie TRUMPF Hüttinger zaručuje všude maximální disponibilitu a nejlepší procesní výsledky díky moderním procesním funkcím.

Vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13)

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou vysokofrekvenční generátory nejnovější generace. Díky inovativním funkcím, jako je patentovaná technologie vazby CombineLine nebo měření reálného času všech procesních parametrů, je bezpečné elektrické napájení zaručeno i v náročných plazmových procesech, což je optimální předpoklad pro opakovatelné výsledky a vysokou produktivitu.

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF série 3000

Vysokovýkonové vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 3000 se vyznačují maximální efektivitou a procesní stabilitou. Hodí se proto ideálně pro náročné plazmové procesy, které se používají např. při výrobě plochých obrazovek, solárních článků nebo polovodičů. Matchboxy pro přizpůsobení impedance, které jsou přesně sladěné s generátorem, zajišťují stále optimální a stabilní přenos výkonu od generátoru k plazmatu.

VHF generátor série 3000

TruPlasma VHF série 3000

Maximální výkon pro váš proces: generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou založeny na inovativním konceptu platformy, který splňuje i nejnáročnější procesní požadavky. Modulární a pouze vodou chlazená konstrukce VHF generátorů umožňuje škálování výstupního výkonu až do 80 kW, a to na nejmenším prostoru!

Řešení vysokofrekvenčního systému: matchbox pro maximální procesní stabilitu

TruPlasma Match série 1000 (G2/13)

Pro optimální vedení plazmového procesu je důležité přesné přizpůsobení výstupní impedance vysokofrekvenčního generátoru. Tuto funkci přebírají matchboxy TruPlasma Match série 1000 (G2/13) jakožto spojovací článek mezi generátorem a procesem. Tímto způsobem vzniká komplexní řešení elektrického napájení vašeho procesu: TRUMPF RF systém.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Ke Kontaktu
Nikolas Hunzinger
Odbyt plazmová zařízení
Fax +49 761 89711150
E-mail
Servis a kontakt