Bipolární pulzní lasery nejnovější generace
Procesní napájení laserů TruPlasma Bipolar řady 4000 (G2.1) bylo vyvinuto speciálně pro plazmou podporované povlakování pomocí procesů PVD, PECVD a reaktivního naprašování a poskytuje s flexibilně tvarovatelnými výstupními signály a vylepšenou správou elektrického oblouku vynikající výsledky při výrobě solárních článků a polovodičů, při nanášení dekorativních vrstev a vrstev odolných proti opotřebení i při povlakování architektonického skla.
Plně digitální správa elektrického oblouku pro maximální kvalitu vrstvy a produktivitu.
Jednoduché přizpůsobení různým procesům díky střídání výstupního signálu.
Stejnosměrný proud, pulzní stejnosměrný proud a bipolární: úspora nákladů díky rozmanitým možnostem nastavení.
Nejsou zapotřebí žádné externí komponenty, proto jsou jen velmi malé požadavky na místo.
Elektrické napájení špičkové třídy
Typickými oblastmi použití jsou výroba polovodičů a fotovoltaiky, povlakování architektonického skla a výroba dekorativních vrstev a vrstev odolných vůči opotřebení v nejvyšší kvalitě. Přitom se využívají zejména procesy PVD a PECVD.
Dokonalé vrstvy, vysoká produktivita
Plně digitální správa elektrického oblouku s velmi nízkou energií oblouku umožňuje vysokou kvalitu vrstev i rychlost nanášení vrstev. I u náročných reaktivních procesů zaručuje TruPlasma Bipolar série 4000 (G2.1) vždy rovnoměrné elektrické napájení procesu a tím stabilní stav plazmatu.
Více flexibility, nižší náklady
Pomocí nastavitelných forem hřídele můžete generátory TruPlasma Bipolar série 4000 (G2.1) velmi snadno přizpůsobit různým procesním požadavkům. Díky flexibilní volbě výstupního signálu (stejnosměrný proud, pulzní stejnosměrný proud nebo bipolární) jsou mnohostranně použitelné a pomáhají tak snížit vaše celkové provozní náklady (TCO).
Vše v jedné skříni
Díky chlazení vodou, které je plně integrováno do skříně generátoru chráněné před vlivy vnějšího prostředí, nejsou zapotřebí žádné externí komponenty.
PVD Power
Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty i záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).
Výběrem různých systémových komponent můžete bipolání pulzní generátor co nejlépe přizpůsobit svému systémovému prostředí.
K dispozici jsou různá provedení kabelů a konektorů pro různé standardy připojení.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
