Suverénní manipulace při náročných procesech
TruPlasma DC série 4000 (G2) byla speciálně vyvinuta pro reaktivní naprašování stejnosměrným proudem obtížnými materiály. Generátory pracující s pulzním stejnosměrným proudem se osvědčují zejména v kritických procesech PVD a PECVD, při nichž je vyžadována současně nejvyšší kvalita vrstvy a produktivita. Kompaktní stejnosměrná elektrická napájení procesu lze použít v pulzním provozu i v provozu s předpětím, jedná se tedy o dva přístroje v jedné skříni!
Digitální zpracování signálů zaručuje stabilní procesy a minimální časové ztráty způsobené elektrickým obloukem.
Rychlé zpracování elektrického oblouku v kombinaci s pulzní technologií se stejnosměrným proudem minimalizuje poškození substrátu.
Díky širokému spektru frekvence a přizpůsobitelnému závěrnému napětí.
Integrované chlazení vodou šetří místo a snižuje náklady na údržbu.
povlakování tvrdými materiály
Nanášením funkčních vrstev získávají silně namáhané obrobky vyšší tvrdost hran a přilnavost i lepší tepelnou a chemickou stabilitu. Pulzní generátory TruPlasma DC série 4000 (G2) zajišťují stabilní plazmový proces, a tím optimální kvalitu vrstvy.
Pokovování
Pomocí procesu PVD je možné nanášet i velmi tenké kovové vrstvy na různé materiály a propůjčit jim tak optimální optické a elektrické vlastnosti. Elektrické napájení optimálně přizpůsobené procesním parametrům umožňuje nanášení naprosto homogenních vrstev bez vad.
Výroba solárních článků
Za účelem ovlivnění jejich elektrických vlastností jsou solární články, ale také ploché a dotykové obrazovky, povrstveny elektricky vodivými materiály (TCO). Díky své velmi nízké energii elektrického oblouku se k tomu pulzní generátory TruPlasma DC série 4000 (G2) hodí nejlépe.
Architektonické sklo
Velkoplošné povlakování architektonického skla v plazmovém procesu PVD klade obzvlášť vysoký požadavek na elektrické napájení procesu. Pulzní generátory TruPlasma DC série 4000 (G2) nabízí ideální předpoklady pro kvalitní výsledek povlakování.
|
TruPlasma DC 4010 (G2)
|
TruPlasma DC 4020 (G2)
|
TruPlasma DC 4040 (G2)
|
|
|---|---|---|---|
| Výstup | |||
| Jmenovitý výkon | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Maximální výstupní proud | 33 A ef. | 67 A ef. | 133 A ef. |
| Maximální výstupní napětí | 1200 V ef. | 1200 V ef. | 1200 V ef. |
| Jmenovitá provozní frekvence | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Parametry Arc | |||
| Maximální poměr Arc | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arc energie | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
| Čas zpracování Arc | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
| Zapalovací napětí | |||
| se zapalovací pomůckou | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| bez zapalovací pomůcky | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Data připojení k síti | |||
| Síťové napětí | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V |
| Síťová frekvence | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Komunikační rozhraní | |||
| Analogový/digitální | Ano | Ano | Ano |
| RS 232 / RS 485 | Ano | Ano | Ano |
| PROFIBUS | Ano | Ano | Ano |
| EtherCAT | Ne | Ne | Ne |
| DeviceNet | Ano | Ano | Ano |
| Skříň | |||
| Hmotnost | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| Krytí IP | 40 | 40 | 40 |
| Požadavky na chlazení | |||
| Chladicí médium | Voda | Voda | Voda |
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. tlakový rozdíl | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Min. průtokové množství | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Teplota chladiva | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Připojovací data stejnosměrného proudu | |||
| Počet zdvihů terminálu | 3 | 3 | 3 |
| Jmenovitý proud / terminál | 25 A | 45 A | 85 A |
| Všeobecně | |||
| Celková účinnost | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certifikáty / standardy | CE | CE | CE |
| Podmínky prostředí | |||
| Venkovní teplota | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Vlhkost vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.
Vysoká kvalita vrstvy a produktivita
Kombinace rychlého zpracování elektrického oblouku a pulzní technologie se stejnosměrným proudem má vliv na nižší množství kapek a méně vad na povrchu. Přerušení procesu v důsledku elektrického oblouku jsou minimální, rychlost nanášení vrstev se významně zvyšuje.
Flexibilní přizpůsobení procesu
Pulzní frekvenci lze přizpůsobit v širokém rozsahu, navíc je možný provoz s předpětím generátoru se stejnosměrným proudem. Můžete tedy tentýž přístroj použít pro velký počet aplikací. Vyspělé nástroje monitoringu vás podporují při optimalizaci vašeho procesu.
Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení pulzního generátoru se stejnosměrným proudem vaší aplikaci.
Několik generátorů se stejnosměrným proudem TruPlasma DC série 4000 (G2) lze provozovat synchronně. Tento režim umožňuje synchronizaci rozpoznání elektrického oblouku několika generátorů, které jsou zaměřeny na různé úkoly. I režim pulzu lze synchronizovat.
PVD Power
Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
