Výběr země / regionu a jazyka

Excitace plazmy

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF série 7000 (G2)

Nejlepší ve své třídě

Zavřít

Plná kontrola nad procesem

S TruPlasma série MF 7000 (G2) máte svůj proces stále pod kontrolou: s nadřazenou správou elektrického oblouku a chováním při zapalování se generátory ideálně hodí pro velkoplošné povlakování (large area coating) a náročné reaktivní procesy, jako jsou duální magnetronové naprašování. S maximální účinnosti více než 90 % a obzvláště efektivní správou chladicí vody je jejich provoz současně vysoce nákladově úsporný.

Maximální kvalita vrstvy a produktivita

Vynikající výsledky a vysoké rychlosti povlakování i u nejnáročnějších reaktivních procesů.

Maximální efektivita

S maximální účinností
více než 90 % se dosahuje provozní účinnosti více než 80 %.

Stabilní elektrické napájení při jakémkoli klimatu

Spolehlivá funkce i při vysokých teplotách chladicí vody a nízkých diferenčních tlacích.

Použitelné po celém světě

Variabilní napájecí napětí, z toho důvodu nejsou nutná žádná technická přizpůsobení.

Elektrické napájení střední frekvence špičkové třídy

Velkoplošné povlakování (large area coating) architektonického skla: náročné materiály jako SiOx kladou nejvyšší nároky na stabilitu elektrického napájení.

Nanášení nejtenčích vrstev

povlakování plochých obrazovek a dotykových panelů: pomocí duálního magnetronového naprašování se nanášejí tenké (nm), vysoce pevné a homogenní vrstvy AlxOx.

Středofrekvenční generátor TruPlasma MF série 7000 (G2) pro nanášení ultratenkých vrstev

Výroba solárních článků

Povlakování solárního skla: stabilní elektrické napájení TruPlasma MF série 7000 (G2) umožňuje homogenní nanášení nejtenčích vrstev s elektricky vodivými materiály (TCO) pomocí středofrekvenčního naprašování.

Zrušit

Porovnat produkty

Výchozí produkt Váš výchozí produkt

1. model k porovnání 2. model k porovnání (volitelně)

Porovnat nyní

	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast Porovnat produkt	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast Porovnat produkt	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast Porovnat produkt	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast Porovnat produkt	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast Porovnat produkt	TruPlasma MF 7050 (G2) Porovnat produkt	TruPlasma MF 7075 (G2) Porovnat produkt	TruPlasma MF 7100 (G2) Porovnat produkt	TruPlasma MF 7120 (G2) Porovnat produkt	TruPlasma MF 7150 (G2) Porovnat produkt
Výstup
Jmenovitý výkon	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximální výstupní proud	110 A ef.	200 A ef.	225 A ef.	300 A ef.	350 A ef.	110 A ef.	200 A ef.	225 A ef.	300 A ef.	350 A ef.
Maximální výstupní napětí	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.
Jmenovitá provozní frekvence	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parametry Arc
Maximální poměr Arc	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc energie	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Čas zpracování Arc	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Zapalovací napětí
se zapalovací pomůckou	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
bez zapalovací pomůcky	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Data připojení k síti
Síťové napětí	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Síťová frekvence	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Příkon v síti	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Účiník	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Skříň
Hmotnost	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Krytí IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Požadavky na chlazení
Chladicí médium	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda
Max. tlak vody	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. tlakový rozdíl	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. průtokové množství	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Teplota chladiva	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Všeobecně
Celková účinnost	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certifikáty / standardy	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Podmínky prostředí
Venkovní teplota	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

Porovnat produkty Ukončit srovnání Ukončit srovnání	TruPlasma MF 7050 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7075 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7100 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7120 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7150 (G2) UltraFast	TruPlasma MF 7050 (G2)	TruPlasma MF 7075 (G2)	TruPlasma MF 7100 (G2)	TruPlasma MF 7120 (G2)	TruPlasma MF 7150 (G2)
Výstup
Jmenovitý výkon	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Maximální výstupní proud	110 A ef.	200 A ef.	225 A ef.	300 A ef.	350 A ef.	110 A ef.	200 A ef.	225 A ef.	300 A ef.	350 A ef.
Maximální výstupní napětí	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.	1100 V ef.
Jmenovitá provozní frekvence	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parametry Arc
Maximální poměr Arc	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arc energie	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Čas zpracování Arc	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Zapalovací napětí
se zapalovací pomůckou	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
bez zapalovací pomůcky	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Data připojení k síti
Síťové napětí	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Síťová frekvence	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Příkon v síti	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Účiník	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Skříň
Hmotnost	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Krytí IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Požadavky na chlazení
Chladicí médium	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda	Voda
Max. tlak vody	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Min. tlakový rozdíl	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Min. průtokové množství	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Teplota chladiva	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Všeobecně
Celková účinnost	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certifikáty / standardy	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18	CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Podmínky prostředí
Venkovní teplota	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

PDF <1MB

Technický datový list

Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.

Generátory TruPlasma MF série 7000 (G2) zaručují maximální efektivitu

Maximální úspora nákladů a flexibilita

Vysoká provozní účinnost a flexibilní koncept chlazení TruPlasma MF série 7000 (G2) zaručují maximální úsporu nákladů po celou dobu životnosti. I za těžkých klimatických a instalačních podmínek zůstává elektrické napájení stále stabilní. Vysoké teploty chladicí vody, nízký tlak vody a vysoká vlhkost vzduchu nenarušují kvalitu procesu. Díky širokému rozsahu provozního napětí můžete středofrekvenční generátor použít po celém světě bez technických přizpůsobení.

Středofrekvenční generátor TruPlasma MF série 7000 (G2)

Přesné řízení procesu

Pouze na základě několika nastavených parametrů můžete přesně řídit kvalitu vrstvy a produktivitu. Najdete tak optimální rovnováhu mezi choulostivostí zpracování elektrického oblouku a požadovanou propustností. Kromě toho zaručují velká rozmanitost rozhraní a pohodlný ovládací software TruControl Power efektivní konfiguraci a diagnostiku.

Nadřazená správa elektrického oblouku

Vysoké rychlosti odezvy a příslušně snížené zbytkové energie zajišťují stabilní procesy a maximální rychlosti naprašování. Generátor spolehlivě zabraňuje tvorbě elektrického oblouku a tepelnému stresu cílového předmětu. Výsledkem jsou naprosto homogenní vrstvy po celé ploše substrátu. Kromě toho dovoluje rychlá a spolehlivá správa elektrického oblouku bezproblémový provoz generátoru v přechodové oblasti (transition mode) s řízeným napětím.

Pro TruPlasma MF série 7000 (G2) jsou k dispozici rozsáhlé možnosti, s nimiž můžete přizpůsobit středofrekvenční generátor požadavkům své aplikace.

Rozšířené frekvenční pásmo

Středofrekvenční generátory do výkonu 100 kW jsou k dispozici podle volitelných možností s rozšířeným frekvenčním pásmem od 20 do 70 kHz (standardní rozsah je 20 – 50 kHz).

Nástroj pro zapalování

Jeho pomocí se snižuje tvorba elektrického oblouku a tepelný stres. Zápalné napětí a náběh v čase lze individuálně regulovat.

Ultrarychlá správa elektrického oblouku

TruPlasma MF série 7000 (G2) může být vybavena obzvláště citlivou správou elektrického oblouku (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, standard je ≤ 10 mJ/kW). Pro UltraFastTreatment je zapotřebí bezpečnostní kategorie 3.

Vybavení pro všechny případy

Profinet, Profibus, EtherCAT a také analogové a digitální rozhraní umožňují integraci TruPlasma MF série 7000 do stávajících zařízení.

Dvířka skříňového rozvaděče

Dvířka skříňového rozvaděče jsou ve volitelné možnosti k dispozici s obzvláště širokým úhlem zápustky 180° (standardní úhel je 130°).

Aktivní odvlhčování skříňového rozvaděče

Pro okolí s velmi vysokou vlhkostí vzduchu může být rozváděč generátoru vybaven aktivní odvlhčovací jednotkou. Pro její provoz je zapotřebí regulace chladicí vody.

TruControl Power

Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný řídicí software TruControl Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky.

Výběrem vhodných systémových komponent můžete TruPlasma MF série 7000 (G2) co nejlépe přizpůsobit svému systémovému prostředí.

Středofrekvenční výkonový kabel

Pro TruPlasma MF série 7000 (G2) získáte optimalizované výkonové kabely pro střední frekvence TRUMPF Hüttinger. Tyto kabely vždy zajišťují optimální systémové vedení.

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Vysoká úspora nákladů v robustním designu

Inovativní, modulární, škálovatelný: nové kompaktní generátory VHF společnosti TRUMPF Hüttinger přesvědčí vysokou úsporou nákladů a robustním designem.