Vysokofrekvenční generátory nové generace
Při povlakování nebo strukturování povrchů je rozhodující stabilní a opakovatelné napájení plazmatu proudem. Nejlepší předpoklady k tomu poskytují vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) vybavené moderní výkonovou elektronikou: díky svému stabilnímu výstupnímu výkonu a vysoké přesnosti regulace zajišťují nejlepší výsledky při současně vysoké produktivitě.
Technologie CombineLine: optimální procesní výkon díky skutečné výstupní impedanci 50 ohmů.
Jako absolutní novinka v oblasti vysokofrekvenčních zařízení odpadá nutnost úpravy délky kabelů!
Technologie CombineLine: spolehlivá ochrana proti odraženému výkonu při chybném přizpůsobení.
Účinnost až 80 % umožňuje redukování nákladů na energii až o 50 %.
Žádné zahřátí nebo znečištění okolního vzduchu, proto je možný provoz v čistém prostoru.
Ideální pro povlakování plochých obrazovek
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF 1000 / 3000 (G2/13) se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při výrobě konstrukčních prvků polovodičů a mikromechanických systémů (MEMS) i při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.
Typická oblast použití: solární průmysl
Typické oblasti použití TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou náročné procesy PECVD, leptání a vysokofrekvenční procesy naprašování vrstev v solárním průmyslu.
Polovodičová výroba
Při výrobě polovodičů se používají různé plazmové procesy, od procesů odstraňování pomocí suchého leptání až po proces tavby letmou zónou při výrobě nejčistšího křemíku. Generátory TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících, opakovatelných výsledků.
|
TruPlasma RF 1000-2/13
|
TruPlasma RF 1000-3/13
|
|
|---|---|---|
| RF výstup | ||
| Výstupní výkon | 2 kW | 3 kW |
| Jmenovitý výkon | 2 kW | 3 kW |
| Impedance při jmenovitém zatížení | 50 Ω | 50 Ω |
| Výstupní frekvece | 13,56 MHz | 13,56 MHz |
| Data připojení k síti | ||
| Síťové napětí | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Síťová frekvence | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Příkon v síti | 3,1 kVA | 4,3 kVA |
| Účiník | 0,95 | 0,95 |
| Komunikační rozhraní | ||
| Rozhraní Sync | Ano | Ano |
| Analogový/digitální | Ano | Ano |
| RS 232 / RS 485 | Ano | Ano |
| PROFIBUS | Ano | Ano |
| EtherCAT | Ano | Ano |
| DeviceNet | Ano | Ano |
| Skříň | ||
| Hmotnost | 18 kg | 18 kg |
| Krytí IP | 30 | 30 |
| Požadavky na chlazení | ||
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar |
| Min. tlakový rozdíl | 1,1 bar | 1,1 bar |
| Min. průtokové množství | 4 l/min | 4 l/min |
| Teplota chladiva | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C 1 |
| Všeobecně | ||
| Celková účinnost | 80 % | 80 % |
| Certifikáty / standardy | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs |
| Podmínky prostředí | ||
| Venkovní teplota | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Vlhkost vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.
Optimální přizpůsobení vašemu procesu
Inteligentní přizpůsobení reálnému času TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) zajišťuje rychlé a přímé přizpůsobení impedance 50 ohmům. Výkyvům plazmatu a znečištění spolehlivě zabraňuje patentovaná technologie CombineLine, koncept chlazení bez ventilátoru snižuje četnost poruch, zvyšuje efektivitu a umožňuje použití v čistém prostoru.
Maximální efektivita a flexibilita
Díky maximální účinnosti až 80 % snížíte náklady na energii ve srovnání s obvyklými generátory až o 50 %. Četná dostupná rozhraní (konfigurovatelné analogové rozhraní RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zjednodušují integraci do stávajících zařízení, technické přizpůsobení není díky integrovaným síťovým dílům s širokým dosahem (200-480 VA) již nutné. Navzdory vysoké hustotě výkonu kompaktní provedení (19palcové, příp. ½-19palcové zasunutí) dovoluje prostorově úspornou integraci do každého výrobního zařízení.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.
Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru vaší aplikaci.
Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a zařízení.
Patentované řešení Auto Frequency Tuning umožňuje simultánní a rychlé přizpůsobení frekvence a zaručuje optimální souhru generátoru a matchboxu. Pomocí této patentované techniky není lokální minimum již žádnou překážkou: RF systém je doveden do optimálního stavu a proto umožňuje ty nejlepší procesní výsledky a vysokou opakovatelnost.
Všechny komponenty TRUMPF RF systému jsou optimálně navzájem přizpůsobeny.
Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.
Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.
VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.
Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.
Dokonalá souhra: TRUMPF RF systém
Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
Poznámky pod čarou-
Teplota chladicí vody musí být vyšší než rosný bod teploty prostředí, aby se zabránilo kondenzaci.
