Inovativní, modulární, škálovatelný: nová platforma generátoru od TRUMPF Hüttinger
Generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou založeny na inovativním konceptu platformy, který umožňuje nejvyšší hustoty výkonu a splňuje nejnáročnější procesní požadavky. Modulární a pouze vodou chlazená konstrukce umožňuje škálování výstupního výkonu až do 80 kW. Kromě toho přesvědčí kompaktní VHF generátory vysokou úsporou nákladů a robustním designem.
Navíc ke stávajícímu jednoduchému a několikaúrovňovému tvarování impulzu nabízí maximální kontrolu plazmového procesu.
Díky tomu je možné velmi flexibilní řízení chování generátoru při zapalování.
Automatické přizpůsobení frekvence pro optimální souhru generátoru a matchboxu.
Vynikající, opakovatelné výsledky procesu díky vysoce přesné digitální frekvenční modulaci.
Žádná nutnost přizpůsobení délky VF kabelu při procesních změnách, z toho plynou krátké doby přípravy stroje.
Spolehlivá funkce generátoru i při chybném přizpůsobení díky technologii CombineLine.
Výroba solárních článků
Ve fotovoltaice jsou četné oblasti použití pro procesní energii střiženou na míru. Zde se používají různé plazmové procesy pro nanášení a odstraňování materiálu, např. procesy naprašování, PECVD a leptání. Generátory TruPlasma VHF série 3000 lze optimálně přizpůsobit příslušnému procesu, přičemž rychlá správa elektrického oblouku umožňuje stabilní ovládání plazmatu. Tím jsou zaručeny vynikající výsledky procesu a vysoká produktivita.
Polovodičová výroba
Při výrobě polovodičů se používají různé plazmové procesy, od procesů odstraňování pomocí suchého leptání až po proces tavby letmou zónou při výrobě nejčistšího křemíku. Generátory TruPlasma VHF série 3000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících, opakovatelných výsledků.
Ideální pro povlakování plochých obrazovek
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma VHF série RF 3000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při výrobě konstrukčních prvků polovodičů a mikromechanických systémů (MEMS) i při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
Porovnat produkt
|
TruPlasma VHF 3000-5/40
Porovnat produkt
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
Porovnat produkt
|
TruPlasma VHF 3000-10/60
Porovnat produkt
|
|
|---|---|---|---|---|
| RF výstup | ||||
| Výstupní výkon | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Jmenovitý výkon | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Impedance při jmenovitém zatížení | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Výstupní frekvece | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz | 60 MHz |
| Data připojení k síti | ||||
| Síťové napětí | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Síťová frekvence | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Příkon v síti | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA | 18,6 kVA |
| Účiník | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Komunikační rozhraní | ||||
| Rozhraní Sync | Ano | Ano | Ano | Ano |
| Analogový/digitální | Ano | Ano | Ano | Ano |
| RS 232 / RS 485 | Ano | Ano | Ano | Ano |
| PROFIBUS | Ne | Ne | Ne | Ne |
| EtherCAT | Ano | Ano | Ano | Ano |
| DeviceNet | Ano | Ano | Ano | Ano |
| Skříň | ||||
| Hmotnost | 23 kg | 32 kg | 53 kg | 53 kg |
| Krytí IP | 30 | 30 | 30 | 30 |
| Požadavky na chlazení | ||||
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. tlakový rozdíl | 2 bar | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. průtokové množství | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min | 10 l/min |
| Teplota chladiva | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Všeobecně | ||||
| Celková účinnost | 70 % | 70 % | 70 % | 70 % |
| Certifikáty / standardy | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Podmínky prostředí | ||||
| Venkovní teplota | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Vlhkost vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
|
Truplasma VHF 1000-2.5/60
|
TruPlasma VHF 3000-5/40
|
TruPlasma VHF 3000-10/40
|
TruPlasma VHF 3000-10/60
|
|
|---|---|---|---|---|
| RF výstup | ||||
| Výstupní výkon | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Jmenovitý výkon | 2,5 kW | 5 kW | 10 kW | 10 kW |
| Impedance při jmenovitém zatížení | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω | 50 Ω |
| Výstupní frekvece | 60 MHz | 40,68 MHz | 40,68 MHz | 60 MHz |
| Data připojení k síti | ||||
| Síťové napětí | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| Síťová frekvence | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| Příkon v síti | 4 kVA | 9,3 kVA | 18,6 kVA | 18,6 kVA |
| Účiník | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Komunikační rozhraní | ||||
| Rozhraní Sync | Ano | Ano | Ano | Ano |
| Analogový/digitální | Ano | Ano | Ano | Ano |
| RS 232 / RS 485 | Ano | Ano | Ano | Ano |
| PROFIBUS | Ne | Ne | Ne | Ne |
| EtherCAT | Ano | Ano | Ano | Ano |
| DeviceNet | Ano | Ano | Ano | Ano |
| Skříň | ||||
| Hmotnost | 23 kg | 32 kg | 53 kg | 53 kg |
| Krytí IP | 30 | 30 | 30 | 30 |
| Požadavky na chlazení | ||||
| Max. tlak vody | 7 bar | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Min. tlakový rozdíl | 2 bar | 2 bar | 2 bar | 2 bar |
| Min. průtokové množství | 8 l/min | 8 l/min | 10 l/min | 10 l/min |
| Teplota chladiva | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Všeobecně | ||||
| Celková účinnost | 70 % | 70 % | 70 % | 70 % |
| Certifikáty / standardy | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs |
| Podmínky prostředí | ||||
| Venkovní teplota | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| Vlhkost vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa | 79,5 kPa - 106 kPa |
Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.
Flexibilní přizpůsobení procesu
Modulární koncept platformy TruPlasma VHF série 3000 umožňuje škálování výstupního vedení až do 80 kW. Díky implementované technologii CombineLine se generátor chová i při chybném přizpůsobení velmi robustně. Jeho široké frekvenční pásmo i variabilní síťové napětí a délka kabelu dovolují flexibilní přizpůsobení různým aplikacím a zemím použití.
Maximální efektivita a úspora nákladů
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou kompletně konstruovány v nejmodernější polovodičové technice s výkonovými tranzistory LDMOS. Vysoce integrovaná planární konstrukční technika umožňuje maximální hustoty výkonu při současně vysoké energetické efektivitě a odpovídajícím způsobem sníženému chladicímu výkonu. Proto tato řada nabízí úsporu nákladů, které nebylo v tomto frekvenčním pásmu dosud dosaženo a snižuje běžné provozní náklady na trhu.
TRUMPF SystemPort
SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.
Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení VHF generátoru vaší aplikaci.
Patentované řešení Auto Frequency Tuning umožňuje simultánní a rychlé přizpůsobení frekvence a zaručuje optimální souhru generátoru a matchboxu. Pomocí této patentované techniky není lokální minimum již žádnou překážkou: RF systém je doveden do optimálního stavu a proto umožňuje ty nejlepší procesní výsledky a vysokou opakovatelnost.
Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a vaše zařízení.
Flexibilní tvarování impulzu: tvar výstupního signálu lze libovolně přizpůsobit příslušným procesním požadavkům.
TruControl Power
Uživatelsky přívětivý řídicí software TruControl Power umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.
Výběrem vhodných systémových komponent můžete VHF generátor optimálně přizpůsobit požadavkům své aplikace.
Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.
Tato sada obsahuje adaptér pro připojení vody, sadu pro HARTING AC napájení, jumper pro funkci spojení, adaptér LEMO EPL na BNC female (pro konektor Clock and Pulse sync).
Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.
VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.
Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.
Dokonalá souhra: TRUMPF RF systém
Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
Poznámky pod čarou-
Teplota chladicí vody musí být vyšší než rosný bod teploty prostředí, aby se zabránilo kondenzaci.
