Pro zajištění funkčnosti této webové prezentace používáme cookies. Pokud nám chcete povolit použití cookies i pro další účely, klikněte zde. Informace o deaktivaci cookies a ochraně osobních údajů
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Plazmové generátory stejnosměrného proudu

Pulzní plazmové generátory stejnosměrného proudu od společnosti TRUMPF Hüttinger se ideálně hodí pro použití v četných reaktivních procesech. Pulzní stejnosměrný proud umožňuje, na rozdíl od jednoduchých generátorů stejnosměrného proudu, zpracování i polovodivých a nevodivých materiálů, například oxidů. Mezi časté aplikace pulzních generátorů patří potvrstvení tvrdými materiály, jako jsou procesy leptání a nanášení ve výrobě polovodičů.

Generátor TruPlasma Highpulse série 4000

TruPlasma Highpulse série 4000

Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 jsou první volbou pro aplikace HIPIMS a dodávají povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení. V kombinaci s polarizovanými substráty může TruPlasma Highpulse série 4000 ovládat i polovodičové aplikace, např. leptání, předběžné zpracování povrchů a výplň rýhy.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC série 4000 (G2)

TruPlasma DC série 4000 (G2) spojuje vynikající zpracování elektrického oblouku od společnosti TRUMPF Hüttinger s výhodami pulzní technologie se stejnosměrným proudem. Docílíte tak lepších výsledků povlakování s menším počtem vad při současně vysoké rychlosti nanášení vrstvy. Výsledkem jsou brilantní povrchy a vysoký výrobní výkon.

Pulzní generátor TruPlasma DC série 4000

TruPlasma DC série 4000

Generátory TruPlasma DC série 4000 jsou první volbou pro náročné plazmové procesy. Dodávají plný výkon v rámci širokého rozsahu přizpůsobení zátěže. Tím se kvalifikují pro technicky vyspělé aplikace naprašování a dodatečné standardní nebo pulzní plazmové aplikace stejnosměrného proudu. Stejně jako nepulzní generátory disponují vynikající správou elektrického oblouku.

Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku

TruPlasma Bias série 4000

TruPlasma Bias série 4000 je produktová řada nejmodernějších pulzních generátorů stejnosměrného předpětí. Možné jsou pulzní frekvence až 100 kHz a plynulý výstup předpětí.
Každý přístroj série disponuje dvěma pracovními režimy: vysokonapěťovým režimem s 1 200 V pro procesy leptání substrátu a nízkonapěťovým režimem s 300 V pro procesy nanášení s podporou přepětí, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povrstvení tvrdými materiály.

Servis a kontakt

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Czech Republic . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Czech Republic
United States

Or select a country or region.