Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Plazmové generátory stejnosměrného proudu

Pulzní plazmové generátory stejnosměrného proudu od společnosti TRUMPF Hüttinger se ideálně hodí pro použití v četných reaktivních procesech. Pulzní stejnosměrný proud umožňuje, na rozdíl od jednoduchých generátorů stejnosměrného proudu, zpracování i polovodivých a nevodivých materiálů, například oxidů. Mezi časté aplikace pulzních generátorů patří potvrstvení tvrdými materiály, jako jsou procesy leptání a nanášení ve výrobě polovodičů.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC série 4000 (G2)

TruPlasma DC série 4000 (G2) spojuje vynikající zpracování elektrického oblouku od společnosti TRUMPF Hüttinger s výhodami pulzní technologie se stejnosměrným proudem. Docílíte tak lepších výsledků povlakování s menším počtem vad při současně vysoké rychlosti nanášení vrstvy. Výsledkem jsou brilantní povrchy a vysoký výrobní výkon.

Pulzní generátor TruPlasma DC série 4000

TruPlasma DC série 4000

Generátory TruPlasma DC série 4000 jsou první volbou pro náročné plazmové procesy. Dodávají plný výkon v rámci širokého rozsahu přizpůsobení zátěže. Tím se kvalifikují pro technicky vyspělé aplikace naprašování a dodatečné standardní nebo pulzní plazmové aplikace stejnosměrného proudu. Stejně jako nepulzní generátory disponují vynikající správou elektrického oblouku.

Generátor TruPlasma Highpulse série 4000

TruPlasma Highpulse série 4000

Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 jsou první volbou pro aplikace HIPIMS a dodávají povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení. V kombinaci s polarizovanými substráty může TruPlasma Highpulse série 4000 ovládat i polovodičové aplikace, např. leptání, předběžné zpracování povrchů a výplň rýhy.

Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku

TruPlasma Bias série 4000

TruPlasma Bias série 4000 je produktová řada nejmodernějších pulzních generátorů stejnosměrného předpětí. Možné jsou pulzní frekvence až 100 kHz a plynulý výstup předpětí.
Každý přístroj série disponuje dvěma pracovními režimy: vysokonapěťovým režimem s 1 200 V pro procesy leptání substrátu a nízkonapěťovým režimem s 300 V pro procesy nanášení s podporou přepětí, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povrstvení tvrdými materiály.

Servis a kontakt