Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku
Generátory stejnosměrného předpětí se stabilní správou napětí a rychlou správou elektrického oblouku
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias série 4000

Stabilní a mnohostranná

Univerzální generátory pro váš proces naprašování

TruPlasma Bias série 4000 je produktová řada nejmodernějších pulzních generátorů stejnosměrného předpětí. Možné jsou pulzní frekvence až 100 kHz a plynulý výstup předpětí. Generátory podporují zejména optické a kovové aplikace povrstvení, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povrstvení tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.

Vysokonapěťový a nízkonapěťový režim

1200 V pro procesy leptání substrátu,
300 V pro procesy nanášení s podporou předpětí.

Rychlá správa elektrického oblouku

Z tohoto důvodu dochází k významně menšímu odlučování kapek a poškození substrátu.

Stabilní a opakovatelné výsledky procesu

Vynikající správa elektrického oblouku díky moderní technice DSP a vyhodnocení signálu FPGA.

Typická oblast použití TruPlasma Bipolar série 4000 (G2): výroba povrchů odolných proti opotřebení

Výroba vrstev odolných proti opotřebení

Generátory TruPlasma Bias série 4000 zajišťují stabilní plazmový proces, a tím optimální kvalitu vrstvy.

Ideální pro velkoplošné povlakování

Velkoplošné povlakování

Velkoplošné povrstvení klade v plazmovém procesu obzvláště vysoký požadavek na elektrické napájení procesu. Generátory TruPlasma Bias série 4000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže je dosahováno vynikajících, opakovatelných výsledků.

Generátor TruPlasma Bias série 4000

Výroba solárních článků

Generátory TruPlasma Bias série 4000 se osvědčují ve všech kritických procesech PVD a PECVD a nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících a opakovatelných výsledků.

- / -
TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Výstup      
Jmenovitý výkon 12 kW 18 kW 26 kW
Maximální výstupní proud 40 A ef. 60 A ef. 87 A ef.
Maximální výstupní napětí 1200 V ef. 1200 V ef. 1200 V ef.
Jmenovitá provozní frekvence 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Parametry Arc      
Maximální poměr Arc 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Čas zpracování Arc <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Data připojení k síti      
Síťové napětí 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Síťová frekvence 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Komunikační rozhraní      
Analogový/digitální Ano Ano Ano
RS 232 / RS 485 - Ano -
PROFIBUS Ano - Ano
EtherCAT Ne Ne Ne
Skříň      
Hmotnost 70 kg 70 kg 71 kg
Krytí IP IP 20 IP 20 IP 20
Požadavky na chlazení      
Chladicí médium Vzduch Vzduch Vzduch
Teplota chladiva 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Všeobecně      
Celková účinnost 90 % 90 % 90 %
Certifikáty / standardy CE CE CE
Podmínky prostředí      
Venkovní teplota 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Vlhkost vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrický tlak 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Technický datový list

Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.

Architektonické sklo

Zajišťuje trvale dobré procesní podmínky

Speciální design výkonu a řízení zajišťuje solidní stabilitu napětí, která je rozhodující pro kvalitu vrstvy a stabilní proces. S konceptem DSP techniky a vyhodnocením signálu FPGA disponuje TruPlasma Bias série 4000 moderní správou elektrického oblouku, která nabízí jedinečnou přesnost a přesnost opakování. Působivé hodnoty obou parametrů zajišťují optimální stabilizaci procesu.

povlakování tvrdými materiály

Jednoduchá manipulace se systémem pouze jedním přístrojem pro několik procesů

TruPlasma Bias série 4000 disponuje dvěma oddělenými režimy napětí: vysokonapěťovým režimem s až 1200 V a nízkonapěťovým režimem s až 300 V. Režimy podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povlakování tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.

Správa elektrického oblouku

Optimální kvalita vrstvy díky bezproblémovým procesům

Generátory TruPlasma série 4000 jsou vybaveny plně digitální správou elektrického oblouku s velmi malou energií oblouku a CompensateLine a umožňují proto vysokou kvalitu vrstev a rychlost nanášení vrstev. Tím dochází k ještě menšímu odlučování kapek a poškození substrátu, proces a produkt jsou vylepšeny.

Uživatelsky přívětivý software PVD Power

PVD Power

Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Services_Electronics_Technical_Support
Servis jako žádný jiný

S optimální smlouvou o údržbě dosáhnete maximální dostupnosti generátoru s okamžitým přehledem nákladů na údržbu a provoz.

Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Optimalizované pulzní procesy

Generátory TruPlasma Bias série 3000 se svými dvěma pracovními režimy a plně digitální správou Arc umožňují vysokou kvalitu vrstev a míru odlučování.

Services_Electronics_Training
Naší silnou stránkou jsou individuální školení zákazníků

Zkušení servisní technici zprostředkovávají fundované vědomosti, které jsou obsahově přizpůsobeny potřebám účastníků.

Kontakt

Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax: +49 761 89711150
E-mail

Stažení

Brožura
Brožura TruPlasma Bias série 3000 / 4000
Brožura TruPlasma Bias série 3000 / 4000
pdf - 1 MB
Servis a kontakt