Univerzální generátory pro váš proces naprašování
TruPlasma Bias série 4000 je produktová řada nejmodernějších pulzních generátorů stejnosměrného předpětí. Možné jsou pulzní frekvence až 100 kHz a plynulý výstup předpětí. Generátory podporují zejména optické a kovové aplikace povrstvení, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povrstvení tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.
1200 V pro procesy leptání substrátu,
300 V pro procesy nanášení s podporou předpětí.
Z tohoto důvodu dochází k významně menšímu odlučování kapek a poškození substrátu.
Vynikající správa elektrického oblouku díky moderní technice DSP a vyhodnocení signálu FPGA.
Výroba vrstev odolných proti opotřebení
Generátory TruPlasma Bias série 4000 zajišťují stabilní plazmový proces, a tím optimální kvalitu vrstvy.
Velkoplošné povlakování
Velkoplošné povrstvení klade v plazmovém procesu obzvláště vysoký požadavek na elektrické napájení procesu. Generátory TruPlasma Bias série 4000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže je dosahováno vynikajících, opakovatelných výsledků.
Výroba solárních článků
Generátory TruPlasma Bias série 4000 se osvědčují ve všech kritických procesech PVD a PECVD a nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících a opakovatelných výsledků.
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
| |
|---|---|---|---|
| Výstup | |||
| Jmenovitý výkon | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
| Maximální výstupní proud | 40 A ef. | 60 A ef. | 87 A ef. |
| Maximální výstupní napětí | 1200 V ef. | 1200 V ef. | 1200 V ef. |
| Jmenovitá provozní frekvence | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Parametry Arc | |||
| Maximální poměr Arc | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
| Čas zpracování Arc | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
| Data připojení k síti | |||
| Síťové napětí | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
| Síťová frekvence | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Komunikační rozhraní | |||
| Analogový/digitální | Ano | Ano | Ano |
| RS 232 / RS 485 | - | Ano | - |
| PROFIBUS | Ano | - | Ano |
| EtherCAT | Ne | Ne | Ne |
| Skříň | |||
| Hmotnost | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
| Krytí IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
| Požadavky na chlazení | |||
| Chladicí médium | Vzduch | Vzduch | Vzduch |
| Teplota chladiva | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Všeobecně | |||
| Celková účinnost | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certifikáty / standardy | CE | CE | CE |
| Podmínky prostředí | |||
| Venkovní teplota | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Vlhkost vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrický tlak | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.
Zajišťuje trvale dobré procesní podmínky
Speciální design výkonu a řízení zajišťuje solidní stabilitu napětí, která je rozhodující pro kvalitu vrstvy a stabilní proces. S konceptem DSP techniky a vyhodnocením signálu FPGA disponuje TruPlasma Bias série 4000 moderní správou elektrického oblouku, která nabízí jedinečnou přesnost a přesnost opakování. Působivé hodnoty obou parametrů zajišťují optimální stabilizaci procesu.
Jednoduchá manipulace se systémem pouze jedním přístrojem pro několik procesů
TruPlasma Bias série 4000 disponuje dvěma oddělenými režimy napětí: vysokonapěťovým režimem s až 1200 V a nízkonapěťovým režimem s až 300 V. Režimy podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povlakování tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.
Optimální kvalita vrstvy díky bezproblémovým procesům
Generátory TruPlasma série 4000 jsou vybaveny plně digitální správou elektrického oblouku s velmi malou energií oblouku a CompensateLine a umožňují proto vysokou kvalitu vrstev a rychlost nanášení vrstev. Tím dochází k ještě menšímu odlučování kapek a poškození substrátu, proces a produkt jsou vylepšeny.
PVD Power
Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.
