TruPlasma Bias série 4000 je produktová řada nejmodernějších pulzních generátorů stejnosměrného předpětí. Možné jsou pulzní frekvence až 100 kHz a plynulý výstup předpětí. Generátory podporují zejména optické a kovové aplikace povrstvení, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povrstvení tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.
1200 V pro procesy leptání substrátu,
300 V pro procesy nanášení s podporou předpětí.
Z tohoto důvodu dochází k významně menšímu odlučování kapek a poškození substrátu.
Vynikající správa elektrického oblouku díky moderní technice DSP a vyhodnocení signálu FPGA.
TruPlasma Bias 4012
|
TruPlasma Bias 4018
|
TruPlasma Bias 4026
|
|
---|---|---|---|
Výstup | |||
Jmenovitý výkon | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
Maximální výstupní proud | 40 A ef. | 60 A ef. | 87 A ef. |
Maximální výstupní napětí | 1200 V ef. | 1200 V ef. | 1200 V ef. |
Jmenovitá provozní frekvence | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
Parametry Arc | |||
Maximální poměr Arc | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
Čas zpracování Arc | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
Data připojení k síti | |||
Síťové napětí | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
Síťová frekvence | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
Komunikační rozhraní | |||
Analogový/digitální | Ano | Ano | Ano |
RS 232 / RS 485 | - | Ano | - |
PROFIBUS | Ano | - | Ano |
EtherCAT | Ne | Ne | Ne |
Skříň | |||
Hmotnost | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
Krytí IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
Požadavky na chlazení | |||
Chladicí médium | Vzduch | Vzduch | Vzduch |
Teplota chladiva | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Všeobecně | |||
Celková účinnost | 90 % | 90 % | 90 % |
Certifikáty / standardy | CE | CE | CE |
Podmínky prostředí | |||
Venkovní teplota | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
Vlhkost vzduchu | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
Barometrický tlak | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.

Zajišťuje trvale dobré procesní podmínky
Speciální design výkonu a řízení zajišťuje solidní stabilitu napětí, která je rozhodující pro kvalitu vrstvy a stabilní proces. S konceptem DSP techniky a vyhodnocením signálu FPGA disponuje TruPlasma Bias série 4000 moderní správou elektrického oblouku, která nabízí jedinečnou přesnost a přesnost opakování. Působivé hodnoty obou parametrů zajišťují optimální stabilizaci procesu.

Jednoduchá manipulace se systémem pouze jedním přístrojem pro několik procesů
TruPlasma Bias série 4000 disponuje dvěma oddělenými režimy napětí: vysokonapěťovým režimem s až 1200 V a nízkonapěťovým režimem s až 300 V. Režimy podporují zejména optické a kovové aplikace povlakování, které se používají např. v polovodičové technice nebo při povlakování tvrdými materiály. Kromě toho se hodí pro každou aplikaci se srovnatelnými požadavky na napětí a proud.

Optimální kvalita vrstvy díky bezproblémovým procesům
Generátory TruPlasma série 4000 jsou vybaveny plně digitální správou elektrického oblouku s velmi malou energií oblouku a CompensateLine a umožňují proto vysokou kvalitu vrstev a rychlost nanášení vrstev. Tím dochází k ještě menšímu odlučování kapek a poškození substrátu, proces a produkt jsou vylepšeny.

PVD Power
Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).
V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.
Také by vás mohla zajímat tato témata
Kontakt
Servis
Stažení
