Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Pulzní generátor TruPlasma DC série 4000
Pulzní generátor TruPlasma DC série 4000
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC série 4000

Naprosto jasné: pulzní procesy pro bezvadné povrchy

První volba pro náročné plazmové procesy

Generátory TruPlasma DC série 4000 jsou první volbou pro náročné plazmové procesy. Dodávají plný výkon v rámci širokého rozsahu přizpůsobení zátěže. Tím se kvalifikují pro technicky vyspělé aplikace naprašování a dodatečné standardní nebo pulzní plazmové aplikace stejnosměrného proudu. Stejně jako nepulzní generátory disponují vynikající správou elektrického oblouku.

Stabilní procesy pro trvalé výsledky

Díky nejmodernější regulační technice DSP se minimalizují časové ztráty v důsledku elektrického oblouku.

Vynikající správa elektrického oblouku

Lepší výsledky díky menšímu odkapávání a poškození substrátu.

Jeden generátor pro mnoho procesů

Flexibilní použití díky širokému rozsahu výkonu a pulzním frekvencím až 100 kHz.

Pulzní generátor TruPlasma DC série 4000

Reaktivní naprašování obtížných materiálů

Pulzní generátory TruPlasma DC série 4000 byly speciálně vyvinuty pro reaktivní naprašování obtížných materiálů. Generátory se osvědčují ve všech kritických procesech PVD a PECVD, například při výrobě solárních článků a polovodičů nebo při povrstvení tvrdými materiály.

Ideální pro povlakování kovových obrobků

Náročné plazmové procesy

Generátory TruPlasma DC série 4000 jsou první volbou pro náročné plazmové procesy. Dodávají plný výkon v rámci širokého rozsahu přizpůsobení zátěže. Tím se kvalifikují pro technicky vyspělé aplikace naprašování a dodatečné standardní nebo pulzní plazmové aplikace stejnosměrného proudu. Stejně jako nepulzní generátory disponují vynikající správou elektrického oblouku.

- / -
Správa elektrického oblouku

Vysoká efektivita

Plně digitální správa elektrického oblouku s velmi nízkou energií oblouku umožňuje vysokou kvalitu vrstev i rychlost nanášení vrstev. Tím dochází k ještě menšímu odlučování kapek a poškození substrátu. Společně s velmi malou zbytkovou energií oblouku se tím přímo zlepšuje proces a konečný produkt. Vysoká produktivita je zajištěna stabilními a stálými dobami procesu s velmi krátkými přerušeními procesu.

Pulzní generátor TruPlasma DC série 4000

Uživatelsky přívětivé přizpůsobení procesu

Generátory TruPlasma DC série 4000 disponují synchronizovanou správou elektrického oblouku, pulzní frekvencí a fázovým posunem. Frekvenční a pulzní parametry lze variabilně přizpůsobit, takže je možné ovládat velké množství procesů jedním přístrojem. S několika TruPlasma DC 4000 generátory je možné i synchronní pulzování.

Uživatelsky přívětivý software PVD Power

PVD Power

Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

Také by vás mohla zajímat tato témata

TruPlasma DC 4040 (G2)
Ideální pro kritické procesy PVD a PECVD

TruPlasma DC série 4000 (G2) TRUMPF Hüttinger lze použít jak v pulzním, tak i Bias režim – tak říkajíc dvě zařízení v jedné skříni!

Services_Electronics_Technical_Support
Servis jako žádný jiný

S optimální smlouvou o údržbě dosáhnete maximální dostupnosti generátoru s okamžitým přehledem nákladů na údržbu a provoz.

Services_Electronics_Training
Naší silnou stránkou jsou individuální školení zákazníků

Zkušení servisní technici zprostředkovávají fundované vědomosti, které jsou obsahově přizpůsobeny potřebám účastníků.

Kontakt

Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax: +49 761 89711150
E-mail

Stažení

Leták TruPlasma DC série 4000
Leták TruPlasma DC série 4000
pdf - 243 KB
Servis a kontakt