Pro přípravu této funkce používáme cookies. Pokud smíme použít cookies i pro další účely, klikněte prosím sem. Informace k deaktivaci cookies a ochraně osobních údajů
Generátor TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2)
Generátor TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2)
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse řada 4000 (G2)

Přesvědčivé výsledky povrstvení díky vysoké hustotě plazmy

První volba pro aplikace HiPIMS

Generátory TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) lze bez modifikací použít jako alternativu ke generátorům stejnosměrného proudu ve stávajících systémech magnetronového naprašování vrstev. Poskytují povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení a jsou proto první volbou pro aplikace naprašování magnetronem s vysokovýkonnými impulzy.

Bezvadné výsledky povrstvení

Bezvadné špičkové výkony až 4 MW vytvářejí extrémně hustou plazmu s vysokými toky iontů.

Flexibilně použitelný

Jednoduché přizpůsobení dostupným katodovým systémům a procesním podmínkám umožňuje optimální připojení přístrojů.

První volba pro aplikace HiPIMS

Jako novinka v oblasti pulzních procesů PVD naprašování vrstev zajišťuje proces HiPIMS povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení.

Pro velké množství použití

Využitelné i v režimu stejnosměrného proudu, není nutný žádný dodatečný generátor stejnosměrného proudu.

Použití generátoru TruPlasma Highpulse série 4000

Povlakování tvrdými materiály

Nanášením funkčních vrstev získávají silně namáhané obrobky vyšší tvrdost hran a přilnavost i lepší tepelnou a chemickou stabilitu. Generátory TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) zajišťují maximálně stabilní plazmový proces a tím i vynikající kvalitu vrstvy.

Výroba solárních článků

Polovodiče/fotovoltaika

V oblasti fotovoltaiky a polovodičů jsou četné oblasti použití pro procesní energii upravenou na míru. Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 (G2) lze optimálně přizpůsobit příslušnému procesu a umožňují vynikající parametry povlakování a vysokou produktivitu.

Ideální pro velkoplošné povlakování

Povrstvení skla

Velkoplošné povlakování architektonického skla v plazmovém procesu PVD klade obzvláště vysoké nároky na procesní napájení. Generátory TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) nabízí ideální předpoklady pro kvalitní výsledek povlakování.

-/-
Architektonické sklo

Optimální výsledky procesu

Na základě špičkových vysokých výkonů je vyráběna vysoce ionizovaná plazma a jsou umožněny vysoké toky iontů. Tímto způsobem je možné dosáhnout velmi koherentní a husté filmy bez kapiček. V kombinaci s polarizovanými konfiguracemi substrátu nabízí generátory laserů TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) zásadní výsledky pro aplikace leptání a výplň rýhy.

Správa elektrického oblouku

Plně digitální správa elektrického oblouku

Nastavitelné trvání pulzu a frekvence, rozšířené výkonové parametry a plně digitální správa elektrického oblouku s velmi malou energií oblouku umožňují naprašování bez kapek, minimální vady filmu a zaručují vysokou kvalitu vrstev a rychlost nanášení vrstev.

Vysokofrekvenční generátor pro paralelní kmitavé obvody

Vynikající povlakování

Velká energie a vysoké napětí až 2 kV umožňují výrobu vysoce kvalitních povrstvení jak v malých laboratořích, tak i ve velkých průmyslových zařízeních. Impulzy až 5 ms a frekvence až 10 kHz zvyšují rychlost nanášení vrstev a pomáhají tak snižovat celkové provozní náklady.

Výroba solárních článků

Vysoká procesní stabilita

Regulace výkonu s nastavitelnou frekvencí zajišťuje, aby parametry nanášení zůstávaly konstantní i při náročných reaktivních procesech. Procesy tak zůstávají stabilní i celé hodiny a dny, aniž by byl nutný zásah.

Kompaktní jednotka

Generátory řady TruPlasma Highpulse jsou jednotkou s kompaktní velikostí. Nevyžadují žádné externí napájení stejnosměrným proudem, jsou kompletně chlazené vodou a umožňují tak práci v čistých prostorách.

Různé možnosti zaručují optimální přizpůsobení TruPlasma Highpulse řady 4000 (G2) vaší aplikaci.

Jednoduché přizpůsobení procesu
Správa elektrického oblouku CompensateLine (CLC)

Plně digitální správa elektrického oblouku s velmi nízkou energií oblouku umožňuje vysokou kvalitu vrstev i rychlost nanášení vrstev.

Grafický ovládací software PVD Power

PVD Power

Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, vybavení, cena a nabídka příslušenství jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte svoji kontaktní osobu.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Kontakt
Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax +49 761 89711150
E-mail
Soubory ke stažení
Servis a kontakt

Close

Country/region and language selection

Please take note of

You have selected Czech Republic. Based on your configuration, United States might be more suitable. Would you like to keep or change the selection?

Czech Republic
United States

Or, select a country or a region.