Pro zajištění funkčnosti této webové prezentace používáme cookies. Pokud nám chcete povolit použití cookies i pro další účely, klikněte zde. Informace o deaktivaci cookies a ochraně osobních údajů
Generátor TruPlasma Highpulse série 4000
Generátor TruPlasma Highpulse série 4000
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse série 4000

Hustá plazma pro lepší výsledky povlakování

První volba pro aplikace HiPIMS

Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 lze bez modifikací použít jako alternativu ke generátorům stejnosměrného proudu ve stávajících systémech magnetronového naprašování vrstev.

Vynikající vlastnosti vrstvy

Impulzy až 8 MW vytvářejí extrémně husté plazma pro nejlepší výsledky povlakování.

Bezvadné vrstvy a přilnavost

Vynikající výsledky procesu při vysokovýkonovém pulzním magnetronovém naprašování vrstev (HIPIMS).

Různé výkonové třídy

Impulzní výkon od 1 MW do 8 MW, průměrný výkon od 10 kW do 20 kW.

Použití generátoru TruPlasma Highpulse série 4000

Aplikace HIPIMS

Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 jsou první volbou pro aplikace HIPIMS. Jako novinka v oblasti pulzní metody PVD naprašování vrstev zajišťuje proces HIPIMS povlakování tvrdými materiály obzvláště odolné vůči korozi a opotřebení.

Ideálně vhodné pro procesy leptání a nanášení

Leptání, předběžná úprava povrchů a výplň rýhy

Výkonové špičky až 8 MW vytvářejí extrémní hustotu plazmatu s vysokými iontovými toky. V zásadě srovnatelně s vybíjením elektrického oblouku však při technice HIPIMS nevznikají žádné kapky materiálu (droplets). V kombinaci s polarizovanými substráty může TruPlasma Highpulse série 4000 ovládat i polovodičové aplikace, např. leptání, předběžné zpracování povrchů a výplň rýhy.

Ideální pro velkoplošné povlakování

Ideální pro velkoplošné povlakování

Velkoplošné povlakování klade v plazmovém procesu zejména vysoké požadavky na elektrické napájení procesu. Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže je dosahováno vynikajících, opakovatelných výsledků.

Oblast použití TruPlasma Highpulse série 4000: náročné procesy v solárním průmyslu

Výroba solárních článků

Ve fotovoltaice jsou četné oblasti použití pro procesní energii střiženou na míru. Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 lze optimálně přizpůsobit příslušnému procesu a umožňují vynikající parametry povlakování i vysokou produktivitu.

- / -
Použití generátoru TruPlasma Highpulse série 4000

Optimální výsledky procesu

Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 nabízí nepřekonatelnou flexibilitu pro výzkumné a průmyslové procesy a umožňují naprašování vrstev bez kapek a minimální vady povrchů. Plně digitální správa elektrického oblouku s velmi nízkou energií oblouku, založená na měření proudu v reálném čase, umožňuje vysokou kvalitu vrstev i rychlost nanášení vrstev.

Umožňují optimální integraci přístroje: generátory TruPlasma Highpulse série 4000

Flexibilně použitelný

Generátory TruPlasma Highpulse série 4000 jsou snadno přizpůsobitelné stávajícím katodovým systémům a procesním podmínkám a umožňují optimální připojení přístrojů.

Různé možnosti zaručují optimální přizpůsobení TruPlasma Highpulse série 4000 vaší aplikaci.

Správa elektrického oblouku CompensateLine (CLC)

Plně digitální správa elektrického oblouku s velmi nízkou energií oblouku umožňuje vysokou kvalitu vrstev i rychlost nanášení vrstev.

Grafický ovládací software PVD Power

PVD Power

Uživatelsky přívětivý, vícejazyčný software PVD Power nabízí rozmanité možnosti ovládání, konfigurace a diagnostiky pro optimalizaci kvality procesu a efektivní odstraňování chyb: zobrazení skutečných hodnot všech relevantních procesních parametrů a varování a hlášení alarmů, požadavek operátora na implicitní hodnoty a záznam a vizualizace důležitých provozních parametrů s vysokým časovým rozlišením (funkce osciloskopu).

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Kontakt

Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax: +49 761 89711150
E-mail

Stažení

Brožura TruPlasma Highpulse série 4000
Brožura TruPlasma Highpulse série 4000
pdf - 517 KB
Servis a kontakt