Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
MF Plasmageneratoren

Středofrekvenční plazmové generátory

Středofrekvenční plazmové generátory od společnosti TRUMPF Hüttinger se používají především ve dvoukatodových systémech, například pro duální magnetronové naprašování. Díky svému vysokému výstupnímu výkonu a procesní stabilitě se hodí středofrekvenční generátory pro velkoplošné povrstvení architektonického skla s vysokými rychlostmi nanášení vrstev i pro nanášení ultratenkých, homogenních vrstev na polovodiče nebo solární články. Díky vynikající přesnosti a produktivitě představují naše středofrekvenční procesní napájení ideální řešení pro četné aplikace v aktivaci plazmatu.

Bipolární generátor TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar série 4000 (G2)

Procesní elektrická napájení TruPlasma Bipolar série 4000 (G2) se výborně hodí pro náročné plazmové procesy, jako je reaktivní naprašování, PVD a PECVD. S flexibilně formovatelnými výstupními signály a vylepšenou správou elektrického oblouku dodávají tyto generátory vynikající výsledky při výrobě polovodičů a solárních článků, při povlakování architektonického skla i při nanášení dekorativních vrstev a vrstev odolných proti opotřebení.

TruPlasma MF série 7000 (G2)

TruPlasma MF série 7000

Se středofrekvenčními generátory TruPlasma série MF 7000 (G2) máte stále kontrolu nad svým procesem. Výsledkem je vynikající kvalita vrstvy a nejvyšší produktivita i u náročných, velkoplošných aplikací povlakování. S maximální účinností více než 90 % jsou elektrická napájení nejnovější generace současně vysoce nákladově úsporná při provozu.

Servis a kontakt