Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Technologiebild RF Plasmageneratoren

Vysokofrekvenční plazmové generátory

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma od společnosti TRUMPF Hüttinger nabízejí maximální procesní stabilitu všech elektrických napájení pro generování plazmatu. Vysokofrekvenční technologie se proto hodí zejména pro procesy, u nichž je důležitá maximální přesnost a opakovatelnost. I pokud jde o energetickou efektivitu a robustnost, patří naše vysokofrekvenční generátory ke špičkám na trhu. Jsou proto první volbou pro náročné aplikace, jako je výroba polovodičových konstrukčních prvků, mikročipů, solárních článků nebo plochých obrazovek.

Vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13)

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou vysokofrekvenční generátory nejnovější generace. Díky inovativním funkcím, jako je patentovaná technologie vazby CombineLine nebo měření reálného času všech procesních parametrů, je bezpečné elektrické napájení zaručeno i v náročných plazmových procesech, což je optimální předpoklad pro opakovatelné výsledky a vysokou produktivitu.

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF série 3000

Vysokovýkonové vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 3000 se vyznačují maximální efektivitou a procesní stabilitou. Hodí se proto ideálně pro náročné plazmové procesy, které se používají např. při výrobě plochých obrazovek, solárních článků nebo polovodičů. Matchboxy pro přizpůsobení impedance, které jsou přesně sladěné s generátorem, zajišťují stále optimální a stabilní přenos výkonu od generátoru k plazmatu.

Řešení vysokofrekvenčního systému: matchbox pro maximální procesní stabilitu

TruPlasma Match série 1000 (G2/13)

Pro optimální vedení plazmového procesu je důležité přesné přizpůsobení výstupní impedance vysokofrekvenčního generátoru. Tuto funkci přebírají matchboxy TruPlasma Match série 1000 (G2/13) jakožto spojovací článek mezi generátorem a procesem. Tímto způsobem vzniká komplexní řešení elektrického napájení vašeho procesu: TRUMPF RF systém.

VHF generátor série 3000

TruPlasma VHF série 3000

Maximální výkon pro váš proces: generátory TruPlasma VHF série 3000 jsou založeny na inovativním konceptu platformy, který splňuje i nejnáročnější procesní požadavky. Modulární a pouze vodou chlazená konstrukce VHF generátorů umožňuje škálování výstupního výkonu až do 80 kW, a to na nejmenším prostoru!

Servis a kontakt