Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 3006
Vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 3006
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13)

Stabilní procesy pro maximální produktivitu

Vysokofrekvenční generátory nové generace

Při povlakování nebo strukturování povrchů je rozhodující stabilní a opakovatelné napájení plazmatu proudem. Nejlepší předpoklady k tomu poskytují vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) vybavené moderní výkonovou elektronikou: díky svému stabilnímu výstupnímu výkonu a vysoké přesnosti regulace zajišťují nejlepší výsledky při současně vysoké produktivitě.

Vysoká přesnost a opakovatelnost

Technologie CombineLine: optimální procesní výkon díky skutečné výstupní impedanci 50 ohmů.

Nezávislost na délce vysokofrekvenčního kabelu

Jako absolutní novinka v oblasti vysokofrekvenčních zařízení odpadá nutnost úpravy délky kabelů!

Robustnost a bezpečnost

Technologie CombineLine: spolehlivá ochrana proti odraženému výkonu při chybném přizpůsobení.

Efektivita a úspora nákladů

Účinnost až 80 % umožňuje redukování nákladů na energii až o 50 %.

Koncept chlazení bez ventilátoru

Žádné zahřátí nebo znečištění okolního vzduchu, proto je možný provoz v čistém prostoru.

Vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 3006

Ideální pro povlakování plochých obrazovek

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF 1000 / 3000 (G2/13) se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při výrobě konstrukčních prvků polovodičů a mikromechanických systémů (MEMS) i při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.

Výroba solárních článků

Typická oblast použití: solární průmysl

Typické oblasti použití TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou náročné procesy PECVD, leptání a vysokofrekvenční procesy naprašování vrstev v solárním průmyslu.

Ideálně vhodné pro procesy leptání a nanášení

Polovodičová výroba

Při výrobě polovodičů se používají různé plazmové procesy, od procesů odstraňování pomocí suchého leptání až po proces tavby letmou zónou při výrobě nejčistšího křemíku. Generátory TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) nabízí všechny předpoklady pro stabilní elektrické napájení optimálně přizpůsobené příslušnému procesu, takže dosahujete vynikajících, opakovatelných výsledků.

- / -
TruPlasma RF 1002
TruPlasma RF 1003
TruPlasma RF 3006
RF výstup      
Výstupní výkon 2 kW 3 kW 6 kW
Jmenovitý výkon 2 kW 3 kW 6 kW
Impedance při jmenovitém zatížení 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Výstupní frekvece 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Data připojení k síti      
Síťové napětí 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
Síťová frekvence 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
Příkon v síti 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
Účiník 0,95 0,95 0,95
Komunikační rozhraní      
Rozhraní Sync Ano Ano Ano
Analogový/digitální Ano Ano Ano
RS 232 / RS 485 Ano Ano Ano
PROFIBUS Ano Ano Ano
EtherCAT Ano Ano Ano
DeviceNet Ano Ano Ano
Skříň      
Hmotnost 18 kg 18 kg 38 kg
Krytí IP 30 30 30
Požadavky na chlazení      
Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar
Min. tlakový rozdíl 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
Min. průtokové množství 4 l/min 4 l/min 8 l/min
Teplota chladiva 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
Všeobecně      
Celková účinnost 80 % 80 % 80 %
Certifikáty / standardy Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
Podmínky prostředí      
Venkovní teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Vlhkost vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technický datový list

Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.

Integrovaná technologie CombineLine

Optimální přizpůsobení vašemu procesu

Inteligentní přizpůsobení reálnému času TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) zajišťuje rychlé a přímé přizpůsobení impedance 50 ohmům. Výkyvům plazmatu a znečištění spolehlivě zabraňuje patentovaná technologie CombineLine, koncept chlazení bez ventilátoru snižuje četnost poruch, zvyšuje efektivitu a umožňuje použití v čistém prostoru.

Vysokofrekvenční generátor pro paralelní kmitavé obvody

Maximální efektivita a flexibilita

Díky maximální účinnosti až 80 % snížíte náklady na energii ve srovnání s obvyklými generátory až o 50 %. Četná dostupná rozhraní (konfigurovatelné analogové rozhraní RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) zjednodušují integraci do stávajících zařízení, technické přizpůsobení není díky integrovaným síťovým dílům s širokým dosahem (200-480 VA) již nutné. Navzdory vysoké hustotě výkonu kompaktní provedení (19palcové, příp. ½-19palcové zasunutí) dovoluje prostorově úspornou integraci do každého výrobního zařízení.

TruPlasma RF_systémový port

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.

Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru vaší aplikaci.

Správa vysokofrekvenčního elektrického oblouku

Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a zařízení.

Auto Frequency Tuning

Patentované řešení Auto Frequency Tuning umožňuje simultánní a rychlé přizpůsobení frekvence a zaručuje optimální souhru generátoru a matchboxu. Pomocí této patentované techniky není lokální minimum již žádnou překážkou: RF systém je doveden do optimálního stavu a proto umožňuje ty nejlepší procesní výsledky a vysokou opakovatelnost.

Všechny komponenty TRUMPF RF systému jsou optimálně navzájem přizpůsobeny.

Řešení vysokofrekvenčního systému: matchbox pro maximální procesní stabilitu
Matchbox TruPlasma Match série 1000 (G2/13)

Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.

Master oscilátor pro stabilizaci kritických synchronních plazmových procesů
Master oscilátory

Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.

VF přepínač pro použití vysokofrekvenčního generátoru ve flexibilních plazmových systémech
VF přepínač

VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.

Koaxiální kabely pro přenos specifikovaného výkonu
Koaxiální kabely

Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.

Generátor a matchbox: dokonale přizpůsobené systémové řešení

Dokonalá souhra: TRUMPF RF systém

Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

Poznámky pod čarou
  • Teplota chladicí vody musí být vyšší než rosný bod teploty prostředí, aby se zabránilo kondenzaci.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
Elektrické napájení pro váš plazmový proces

Plazmové generátory TRUMPF Hüttinger disponují širokým výkonnostním a frekvenčním spektrem. Zde se informujte o našich produktech.

RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
Inteligentní přiřazení na základě měření v reálném čase

Nové matchboxy TruPlasma Match série 1000 (G2/13) optimálně doplňují naše generátory RF a pomáhají k celistvému řešení: systému RF TRUMPF.

Services_Electronics_Technical_Support
Servis jako žádný jiný

S optimální smlouvou o údržbě dosáhnete maximální dostupnosti generátoru s okamžitým přehledem nákladů na údržbu a provoz.

Kontakt

Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax: +49 761 89711150
E-mail

Stažení

Brožura TruPlasma RF série 1000 3000
Brožura TruPlasma RF série 1000 3000
pdf - 337 KB
Brožura TruPlasma RF System
pdf - 6 MB
Servis a kontakt