Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF série 3000

VF technologie bez kompromisů

    - / -
    • Přehled
    • Aplikace
    • Technické údaje
    • Užitek pro zákazníky
    • Volitelné vybavení
    • Software
    • Systémové komponenty
    • Systém RF
    • Více Méně
    Záruka vynikajících výsledků procesu

    S těmito vysokofrekvenčními generátory vsadíte na jistotu: TruPlasma RF série 3000 se vyznačuje robustní konstrukcí a vysokou efektivitou. Tím se nejlépe hodí pro stabilní, opakovatelné plazmové procesy, které se používají např. při výrobě plochých obrazovek, solárních článků nebo polovodičů. Tyto generátory jsou instalovány v tisících aplikacích po celém světě a zaručují vysokou produktivitu a vynikající výsledky procesu.

    Efektivita a úspora nákladů

    Účinnost až 80 % umožňuje redukování nákladů na energii až o 50 %.

    Vynikající RF správa elektrického oblouku

    Bezpečné vedení i náročných a nových procesů.

    Vysoká robustnost a procesní stabilita

    Technologie CombineLine: spolehlivá ochrana proti odraženým výkonům při chybném přizpůsobení.

    Maximální flexibilita

    Stálý nebo pulzní dodávaný výkon, z čehož plyne velmi mnohostranná použitelnost.

    Ideálně vhodné pro procesy leptání a nanášení

    Procesy leptání a nanášení

    Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 3000 se hodí zejména pro procesy leptání a povrstvení, např. plazmové leptání, reaktivní iontové leptání, ALC a PECVD.

    Ideální pro povlakování kovových obrobků

    Povlakování kovového materiálu

    Pomocí plazmových procesů je možné materiál na povrchy nanášet, ale i ho z nich odstraňovat, například při povlakování kovových obrobků ochrannou vrstvou proti opotřebení nebo při strukturování elektronických konstrukčních prvků pomocí plazmového leptání nebo plazmového spalování fotocitlivého materiálu.

    Elektrické napájení střední frekvence špičkové třídy pro povlakování plochých obrazovek

    Povlakování plochých obrazovek a solárních článků

    Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF 3000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.

    RF výstup          
    Výstupní výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Jmenovitý výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Impedance při jmenovitém zatížení 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Výstupní frekvece 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Data připojení k síti          
    Síťové napětí 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
    Síťová frekvence 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Příkon v síti 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
    Účiník 0,93 0,93 0,93 - -
    Komunikační rozhraní          
    Rozhraní Sync Ano Ano Ano Ano Ano
    Analogový/digitální Ano Ano Ano Ano Ano
    RS 232 / RS 485 Ano Ano Ano Ano Ano
    PROFIBUS Ano Ano Ano Ano Ano
    EtherCAT Ano Ano Ano Ne Ne
    DeviceNet Ano Ano Ano Ano Ano
    Skříň          
    Hmotnost 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
    Krytí IP 20 20 20 54 54
    Požadavky na chlazení          
    Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
    Min. tlakový rozdíl 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Min. průtokové množství 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
    Teplota chladiva 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
    Všeobecně          
    Celková účinnost 78 % 75 % 75 % - -
    Certifikáty / standardy SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
    Podmínky prostředí          
    Venkovní teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Vlhkost vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Technický datový list

    Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.

    Integrovaná technologie CombineLine

    Maximální efektivita a procesní stabilita

    Snížením ztrátového výkonu na polovinu a snížením nákladů na chladicí vodu díky vynikající účinnosti minimalizujete provozní náklady. Velmi robustní konstrukce generátorů dovoluje delší provozní doby i u kritických procesů a tím vyšší rychlosti povlakování. Výkyvům plazmatu účinně zabraňuje technologie CombineLine se skutečnou 50ohmovou výstupní impedancí, čímž jsou umožněny naprosto stabilní procesy.

    Vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 3012

    Bezpečnost za všech okolností

    Robustní konstrukce zajišťuje maximální spolehlivost a produktivitu vašeho procesu. 100% ochrana proti chybnému přizpůsobení zaručuje bezpečný provoz i při kritickém zatížení. Dle volitelné možnosti stálý nebo pulzní dodávaný výkon podporuje široké pásmo procesních požadavků. Po celém světě je instalováno již více než 20 000 jednotek, více než jakéhokoliv jiného plazmového elektrického napájení.

    TruPlasma RF_systémový port

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.

    Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru vaší aplikaci.

    Správa elektrického oblouku

    Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a zařízení.

    Uživatelsky přívětivý software TruControl Power

    TruControl Power

    Uživatelsky přívětivý řídicí software TruControl Power umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.

    Všechny komponenty TRUMPF RF systému jsou optimálně navzájem přizpůsobeny.

    Řešení vysokofrekvenčního systému: matchbox pro maximální procesní stabilitu
    TruPlasma Match série 1000 (G2/13)

    Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.

    Master oscilátor pro stabilizaci kritických synchronních plazmových procesů
    Master oscilátory

    Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.

    VF přepínač pro použití vysokofrekvenčního generátoru ve flexibilních plazmových systémech
    VF přepínač

    VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.

    Koaxiální kabely pro přenos specifikovaného výkonu
    Koaxiální kabely

    Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.

    Generátor a matchbox: dokonale přizpůsobené systémové řešení

    Dokonalá souhra: generátor a matchbox

    Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.

    V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

    Poznámky pod čarou
    • Teplota chladicí vody musí být vyšší než rosný bod teploty prostředí, aby se zabránilo kondenzaci.

    Také by vás mohla zajímat tato témata

    Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
    Testovací a kvalifikační centrum

    V našem Zkušebním a kvalifikačním středisku (TQZ) zkušení aplikační inženýři každý den zajišťují, že bude plynule optimalizována kvalita produktů.

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Minimální náklady u maximálních výsledků

    TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou vysokofrekvenční generátory nejnovější generace a nabízí nejlepší předpoklady pro stabilní plazmové elektrické napájení.

    Services_Electronics_Training
    Naší silnou stránkou jsou individuální školení zákazníků

    Zkušení servisní technici zprostředkovávají fundované vědomosti, které jsou obsahově přizpůsobeny potřebám účastníků.

    Kontakt

    Klaus Nock
    Odbyt plazmová zařízení
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Stažení

    Brožura TruPlasma RF série 3000
    Brožura TruPlasma RF série 3000
    pdf - 1 MB
    Brožura TruPlasma RF System
    pdf - 6 MB
    Servis a kontakt