Pro přípravu této webové stránky používáme cookies. Pokud tuto stránku nadále používáte bez změny nastavení pro cookies, považujeme to za váš souhlas s používáním cookies.
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Excitace plazmy
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF série 3000

VF technologie bez kompromisů

Záruka vynikajících výsledků procesu

S těmito vysokofrekvenčními generátory vsadíte na jistotu: TruPlasma RF série 3000 se vyznačuje robustní konstrukcí a vysokou efektivitou. Tím se nejlépe hodí pro stabilní, opakovatelné plazmové procesy, které se používají např. při výrobě plochých obrazovek, solárních článků nebo polovodičů. Tyto generátory jsou instalovány v tisících aplikacích po celém světě a zaručují vysokou produktivitu a vynikající výsledky procesu.

Efektivita a úspora nákladů

Účinnost až 80 % umožňuje redukování nákladů na energii až o 50 %.

Vynikající RF správa elektrického oblouku

Bezpečné vedení i náročných a nových procesů.

Vysoká robustnost a procesní stabilita

Technologie CombineLine: spolehlivá ochrana proti odraženým výkonům při chybném přizpůsobení.

Maximální flexibilita

Stálý nebo pulzní dodávaný výkon, z čehož plyne velmi mnohostranná použitelnost.

Ideálně vhodné pro procesy leptání a nanášení

Procesy leptání a nanášení

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma RF série 3000 se hodí zejména pro procesy leptání a povrstvení, např. plazmové leptání, reaktivní iontové leptání, ALC a PECVD.

Ideální pro povlakování kovových obrobků

Povlakování kovového materiálu

Pomocí plazmových procesů je možné materiál na povrchy nanášet, ale i ho z nich odstraňovat, například při povlakování kovových obrobků ochrannou vrstvou proti opotřebení nebo při strukturování elektronických konstrukčních prvků pomocí plazmového leptání nebo plazmového spalování fotocitlivého materiálu.

Elektrické napájení střední frekvence špičkové třídy pro povlakování plochých obrazovek

Povlakování plochých obrazovek a solárních článků

Vysokofrekvenční generátory TruPlasma série RF 3000 se ideálně hodí pro plazmové procesy jako RIE, ALD, PECVD a vysokofrekvenční naprašování (RF sputtering). Tyto metody se používají mimo jiné při povlakování plochých obrazovek a solárních článků.

- / -
RF výstup          
Výstupní výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Jmenovitý výkon 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Impedance při jmenovitém zatížení 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Výstupní frekvece 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Data připojení k síti          
Síťové napětí 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
Síťová frekvence 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Příkon v síti 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
Účiník 0,93 0,93 0,93 - -
Komunikační rozhraní          
Rozhraní Sync Ano Ano Ano Ano Ano
Analogový/digitální Ano Ano Ano Ano Ano
RS 232 / RS 485 Ano Ano Ano Ano Ano
PROFIBUS Ano Ano Ano Ano Ano
EtherCAT Ano Ano Ano Ne Ne
DeviceNet Ano Ano Ano Ano Ano
Skříň          
Hmotnost 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
Krytí IP 20 20 20 54 54
Požadavky na chlazení          
Max. tlak vody 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
Min. tlakový rozdíl 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. průtokové množství 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
Teplota chladiva 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
Všeobecně          
Celková účinnost 78 % 75 % 75 % - -
Certifikáty / standardy SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
Podmínky prostředí          
Venkovní teplota 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Vlhkost vzduchu 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrický tlak 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technický datový list

Technické údaje všech produktových variant jako soubory ke stažení.

Integrovaná technologie CombineLine

Maximální efektivita a procesní stabilita

Snížením ztrátového výkonu na polovinu a snížením nákladů na chladicí vodu díky vynikající účinnosti minimalizujete provozní náklady. Velmi robustní konstrukce generátorů dovoluje delší provozní doby i u kritických procesů a tím vyšší rychlosti povlakování. Výkyvům plazmatu účinně zabraňuje technologie CombineLine se skutečnou 50ohmovou výstupní impedancí, čímž jsou umožněny naprosto stabilní procesy.

Vysokofrekvenční generátor TruPlasma RF 3012

Bezpečnost za všech okolností

Robustní konstrukce zajišťuje maximální spolehlivost a produktivitu vašeho procesu. 100% ochrana proti chybnému přizpůsobení zaručuje bezpečný provoz i při kritickém zatížení. Dle volitelné možnosti stálý nebo pulzní dodávaný výkon podporuje široké pásmo procesních požadavků. Po celém světě je instalováno již více než 20 000 jednotek, více než jakéhokoliv jiného plazmového elektrického napájení.

TruPlasma RF_systémový port

TRUMPF SystemPort

SystemPort umožňuje uzavřený regulovaný oběh pomocí měření RF signálu přímo na vstupu a výstupu matchboxu. RF generátor má k dispozici veškeré naměřené hodnoty. Díky tomu lze lépe monitorovat procesní parametry, chránit matchbox a zaručit včasnou identifikaci elektrického oblouku. Kompletní RF systém lze řídit pomocí jednoho generátorového rozhraní.

Různé možnosti umožňují optimální přizpůsobení vysokofrekvenčního generátoru vaší aplikaci.

Správa elektrického oblouku

Promyšlená správa elektrického oblouku je ideálním modulem pro optimální kontrolu plazmového procesu. Cílená identifikace elektrického oblouku zaručuje maximální produktivitu a zároveň chrání výrobek a zařízení.

Uživatelsky přívětivý software TruControl Power

TruControl Power

Uživatelsky přívětivý řídicí software TruControl Power umožňuje pohodlné uvedení do provozu a bezpečnou kontrolu vysokofrekvenčního generátoru, příp. celého TRUMPF RF systému za provozu.

Všechny komponenty TRUMPF RF systému jsou optimálně navzájem přizpůsobeny.

Řešení vysokofrekvenčního systému: matchbox pro maximální procesní stabilitu
TruPlasma Match série 1000 (G2/13)

Přizpůsobovací sítě TruPlasma Match zajišťují optimální přenos výkonu od generátoru do plazmového výboje. Provoz matchboxu může probíhat samostatně nebo přes inteligentní spojení generátoru a matchboxu, tak zvaný SystemPort.

Master oscilátor pro stabilizaci kritických synchronních plazmových procesů
Master oscilátory

Pomocí master oscilátorů je možné stabilizovat a optimalizovat kritické synchronní plazmové procesy. Integrovaný digitální frekvenční a fázový syntetizátor zajišťuje vysokou frekvenční a fázovou stabilitu a umožňuje nastavení fázové polohy s velmi malou velikostí kroku. Lze vybrat různá provedení master oscilátorů pro frekvenci 13,56 MHz a různé kombinace frekvencí.

VF přepínač pro použití vysokofrekvenčního generátoru ve flexibilních plazmových systémech
VF přepínač

VF přepínač dovoluje vícenásobné použití vysokofrekvenčního generátoru na různých plazmových procesních stanicích, například pro elektrické napájení postupných procesů nebo v systémech s různými napájecími body. K dispozici jsou různé VF přepínače ve dvou výkonových třídách a s 2, 3 nebo 4 výstupy.

Koaxiální kabely pro přenos specifikovaného výkonu
Koaxiální kabely

Pro přenos vysokofrekvenčního výkonu nabízí TRUMPF Hüttinger koaxiální kabely, které jsou speciálně vytvořeny pro provoz v 50ohmových systémech.

Generátor a matchbox: dokonale přizpůsobené systémové řešení

Dokonalá souhra: generátor a matchbox

Plazmové procesy se chovají jako komplexní, proměnlivé zatížení, ke kterému je nutné generátorem neustále dovádět elektrické napájení. To činí aktivní přizpůsobovací sítě, tzv. matchboxy, které zajišťují vždy přesné přizpůsobení optimální impedanci 50 ohmů. Tak vzniká dokonale přizpůsobené systémové řešení, systém TRUMPF RF. Pomocí různých rozhraní, mj. EtherCAT, můžete generátor a matchbox velmi jednoduše integrovat do svého stávajícího procesního prostředí a díky inteligentnímu spojení matchboxu a generátoru, tak zvaného SystemPort, dosáhnout optimalizovaného systémového řešení.

V závislosti na zemi se může tento produktový sortiment a tyto údaje lišit. Změny techniky, výbavy, ceny a nabídky příslušenstvi jsou vyhrazeny. Pro zjištění dostupnosti výrobku ve vaší zemi prosím kontaktujte vašeho místního partnera.

Poznámky pod čarou
  • Teplota chladicí vody musí být vyšší než rosný bod teploty prostředí, aby se zabránilo kondenzaci.

Také by vás mohla zajímat tato témata

Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
Testovací a kvalifikační centrum

V našem Zkušebním a kvalifikačním středisku (TQZ) zkušení aplikační inženýři každý den zajišťují, že bude plynule optimalizována kvalita produktů.

TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
Minimální náklady u maximálních výsledků

TruPlasma RF série 1000 / 3000 (G2/13) jsou vysokofrekvenční generátory nejnovější generace a nabízí nejlepší předpoklady pro stabilní plazmové elektrické napájení.

Services_Electronics_Training
Naší silnou stránkou jsou individuální školení zákazníků

Zkušení servisní technici zprostředkovávají fundované vědomosti, které jsou obsahově přizpůsobeny potřebám účastníků.

Kontakt

Klaus Nock
Odbyt plazmová zařízení
Fax: +49 761 89711150
E-mail

Stažení

Brožura TruPlasma RF série 3000
Brožura TruPlasma RF série 3000
pdf - 1 MB
Brožura TruPlasma RF System
pdf - 6 MB
Servis a kontakt