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Artikelsammlung für EUV-Lithographie

Im Spiegel der Medien: EUV-Lithografie

Die extrem ultraviolette Strahlung (EUV) zur Wafer-Belichtung ist ohne Zweifel das Zukunftsthema in der Chipindustrie. Kein Wunder, dass sich nicht nur die Fach-, sondern auch die Publikumspresse in regelmäßigen Abständen dem Thema widmet und die Entwicklung der Technologie verfolgt. Eine Zusammenstellung einiger nationaler und internationaler Highlight-Artikel finden Sie auf diese Seite.

Samsung fertigt 7-Nanometer-Chips mit EUV-Belichtern

Heise.de berichtet in diesem Artikel, dass Samsung im Herbst 2018 die Produktion in seiner ersten 7-nm-Fabrik aufgenommen hat und dort Wafer mit dem EUV-Lithografiesystem von ASML belichtet.

Quelle: www.heise.de
Autor: Nico Ernst
Erscheinungsdatum: 10/2018
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Vor der Zeit

Der TRUMPF Geschäftsbericht 2017/2018 beleuchtet, wie die Beherrschung des Lichts - und damit auch der Laser und die EUV-Lithografie - die Grundlage für Zukunftstechnologien wie Künstliche Intelligenz, autonomes Fahren und vernetzte Fabriken liefert.

Quelle: TRUMPF Geschäftsbericht GJ 2017/2018
Autor: TRUMPF GmbH + Co. KG
Erscheinungsdatum: 10/2018
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Verfügbarkeit von EUV-Scannern auf 85 Prozent gesteigert

Der Artikel auf golem.de kündigt an, dass ASML seine NXW:3400B-Systeme so maßgeblich verbessert hat, dass die kosten- und zeiteffiziente Serienfertigung mit extrem ultravioletter Strahlung in greifbare Nähe rückt.

Quelle: www.golem.de
Autor: Marc Sauter
Erscheinungsdatum: 07/2018
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The secret of EUV generation

LaserFocusWorld zeichnet in diesem Artikel die mehr als zwanzigjähre Entwicklung der EUV-Technologie nach und beschreibt die zahlreichen Hürden und Herausforderungen, die bis zum Durchbruch im Jahr 2015 gemeistert werden mussten.

Quelle: LaserFocusWorld
Autor: Andreas Thoss
Erscheinungsdatum: 11/2017
Link: zum Artikel

TRUMPF consolidates EUV lithography supply chain with Access Laser deal

Dieser Bericht in der Fachzeitschrift "Produktion" befasst sich mit der Mehrheitsübernahme von Access durch TRUMPF. Als Hersteller von Low-Power-CO2-Lasern ist Access Laser einer der wichtigsten Partner im EUV-Geschäft von TRUMPF.

Quelle: www.optics.org
Autor: n.N.
Erscheinungsdatum: 10/2017
Link: zum Artikel

TRUMPF will die Chipindustrie aufmischen

Die Stuttgarter Zeitung berichtet, wie TRUMPF mit seinem Laser Amplifier als Zulieferer in die Halbleiterindustrie einsteigt und für das Geschäft eine neue Tochter gegründet hat.

Quelle: Stuttgarter Zeitung
Autor: Michael Heller
Erscheinungsdatum: 05/2017
Link: zum Artikel

EUV ist in der IC-Fertigung angekommen

Der Artikel in der Wochenzeitung für Elektronik "Markt&Technik" fasst aktuelle und geplante Umsatz- und Absatzzahlen von ASML zusammen, die belegen, dass die EUV-Lithografie nun endgültig in der Industrie angekommen ist.

Quelle: Markt&Technik
Autor: Heinz Arnold
Erscheinungsdatum: 07/2017
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