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Arc-Management

Unser Angebot für professionelles Arc-Management

Arc-Management

Die Lösung

Die Aufgabe

Hohe Abscheideraten und hervorragende Schichtqualitäten - das sind die entscheidenden Qualitätsanforderungen bei plasmagestützten Beschichtungsprozessen. Bei der Herstellung von Solarzellen ebenso wie bei der Beschichtung von Flachbildschirmen oder Architekturglas. Die Aufbringung der dünnen Schichten in der Plasmakammer kann jedoch von elektrischen Überschlägen, Arcs genannt, empfindlich gestört werden. Die eingesetzte Stromversorgung muss einen Arc daher in kürzester Zeit erkennen und individuell darauf reagieren.

Die Lösung

Für die Anforderungen der verschiedenen Prozesse bieten wir abgestimmte Arc-Managementsysteme. Dadurch kann der Generator schnell und präzise auf den Arc reagieren. Die innovative Sensorik ermöglicht verbesserte Prozessergebnisse und erhöhte Produktivität. Wir bieten Ihnen verbesserte Leistung bei gleichem Preis, denn Sie müssen keine zusätzliche Hardware kaufen.

Produkte

Kontakt

Dr. Daniel Krausse
Plasma RF
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Dr. Jan Peter Engelstädter
Plasma MF
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