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DC gepulste Plasmageneratoren | TRUMPF
Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

DC-Plasmageneratoren

DC-gepulste Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger eignen sich ideal für den Einsatz in zahlreichen reaktiven Prozessen. Gepulster Gleichstrom erlaubt es, im Unterschied zu einfachen Gleichstromgeneratoren, auch halb- und nichtleitende Materialien, beispielsweise Oxide, zu verarbeiten. Häufige Anwendungen der Pulsgeneratoren sind die Hartstoffbeschichtung sowie Ätz- und Beschichtungsprozesse in der Halbleiterherstellung.

Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000 G2

TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)

Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) liefern besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen und sind die erste Wahl für HIPIMS-Anwendungen. In Kombiniert mit polarisierten Substraten kann die TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) auch Halbleiterapplikationen wie z.B. Trench-Filling, Vorbehandlung von Oberflächen und Ätzen, bedienen.

Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000

TruPlasma Highpulse Serie 4000

Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 sind die erste Wahl für HIPIMS-Anwendungen und liefern besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen. In Kombination mit polarisierten Substraten kann die TruPlasma Highpulse Serie 4000 auch Halbleiterapplikationen bedienen, z.B. Ätzen, Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-Filling.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) vereint die exzellente Arc-Behandlung von TRUMPF Hüttinger mit den Vorzügen der DC-Pulstechnologie. So erzielen Sie bessere Beschichtungsergebnisse mit weniger Defekten bei zugleich höherer Abscheidungsrate. Das Ergebnis sind brillante Oberflächen und eine hohe Produktionsleistung.

Kontakt
Nikolas Hunzinger
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
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