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Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Serie 4000

Stabil und vielseitig

Universelle Generatoren für Ihren Sputterprozess

Die TruPlasma Bias Serie 4000 ist eine Produktfamilie modernster gepulster DC-Bias-Generatoren. Pulsfrequenzen bis zu 100 kHz sowie kontinuierlicher Bias-Output sind möglich. Die Generatoren unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.

Hoch- und Niedrigspannungsmodus

1200 V für Substrat-Ätzprozesse,
300 V für Bias-unterstützte Beschichtungsprozesse.

Schnelles Arc-Management

Daher signifikant weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen.

Stabile und reproduzierbare Prozessergebnisse

Exzellentes Arc-Management dank moderner DSP-Technik und FPGA-Signalauswertung.

Typisches Einsatzgebiet der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): Herstellung von verschleißfesten Schichten

Herstellung verschleißfester Schichten

Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.

Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung

Großflächenbeschichtung

Großflächige Beschichtungen stellen im Plasmaprozess besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielt werden.

Generator der TruPlasma Bias Serie 4000

Solarzellenherstellung

Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 bewähren sich in allen kritischen PVD- und PECVD-Prozessen und bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass Sie exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielen.

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TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Ausgang      
Nennleistung 12 kW 18 kW 26 kW
Maximaler Ausgangsstrom 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Maximale Ausgangsspannung 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Nennbetriebsfrequenz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Arc-Parameter      
Maximale Arc-Rate 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Arc-Behandlungszeit <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Netzanschlussdaten      
Netzspannung 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Netzfrequenz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Kommunikationsschnittstellen      
Analog/Digital Ja Ja Ja
RS 232 / RS 485 - Ja -
PROFIBUS Ja - Ja
EtherCAT Nein Nein Nein
Gehäuse      
Gewicht 70 kg 70 kg 71 kg
Schutzart IP IP 20 IP 20 IP 20
Kühlungsanforderungen      
Kühlmedium Luft Luft Luft
Temperatur Kühlmedium 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Allgemein      
Gesamtwirkungsgrad 90 % 90 % 90 %
Zertifikate / Standards CE CE CE
Umgebungsbedingungen      
Außentemperatur 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Luftfeuchte 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrischer Druck 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Technisches Datenblatt

Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

Architekturglas

Sichert gleichbleibend gute Prozessbedingungen

Das spezielle Leistungs- und Steuerdesign sorgt für eine fundierte Spannungsstabilität, welche entscheidend für die Schichtqualität und einen stabilen Prozess ist. Konzipiert in DSP-Technik und mit einer FPGA-Signalauswertung verfügt die TruPlasma Bias Serie 4000 über ein modernes Arc-Management, das einzigartige Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet. Die beeindruckenden Werte beider Parameter sorgen für eine optimale Prozessstabilisierung.

Hartstoffbeschichtung

Vereinfachtes Systemhandling mit nur einem Gerät für mehrere Prozesse

Die TruPlasma Bias Serie 4000 verfügt über zwei separate Spannungsmodi: einen Hochspannungsmodus mit bis zu 1200 Volt und einen Niedrigspannungsmodus mit bis zu 300 Volt. Die Modi unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.

Arc-Management

Optimale Schichtqualität durch reibungslose Prozesse

Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 sind mit volldigitalem Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie und CompensateLine ausgestattet, ermöglichen daher hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Dadurch finden noch weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen statt, Prozess und Produkt werden verbessert.

Anwenderfreundliche Software PVD Power

PVD Power

Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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Kontakt

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
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Broschüre TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
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