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Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Serie 4000

Stabil und vielseitig

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    Universelle Generatoren für Ihren Sputterprozess

    Die TruPlasma Bias Serie 4000 ist eine Produktfamilie modernster gepulster DC-Bias-Generatoren. Pulsfrequenzen bis zu 100 kHz sowie kontinuierlicher Bias-Output sind möglich. Die Generatoren unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.

    Hoch- und Niedrigspannungsmodus

    1200 V für Substrat-Ätzprozesse,
    300 V für Bias-unterstützte Beschichtungsprozesse.

    Schnelles Arc-Management

    Daher signifikant weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen.

    Stabile und reproduzierbare Prozessergebnisse

    Exzellentes Arc-Management dank moderner DSP-Technik und FPGA-Signalauswertung.

    Typisches Einsatzgebiet der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): Herstellung von verschleißfesten Schichten

    Herstellung verschleißfester Schichten

    Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung

    Großflächenbeschichtung

    Großflächige Beschichtungen stellen im Plasmaprozess besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielt werden.

    Generator der TruPlasma Bias Serie 4000

    Solarzellenherstellung

    Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 bewähren sich in allen kritischen PVD- und PECVD-Prozessen und bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass Sie exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielen.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Ausgang      
    Nennleistung 12 kW 18 kW 26 kW
    Maximaler Ausgangsstrom 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    Maximale Ausgangsspannung 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Nennbetriebsfrequenz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Arc-Parameter      
    Maximale Arc-Rate 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    Arc-Behandlungszeit <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
    Netzanschlussdaten      
    Netzspannung 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
    Netzfrequenz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Kommunikationsschnittstellen      
    Analog/Digital Ja Ja Ja
    RS 232 / RS 485 - Ja -
    PROFIBUS Ja - Ja
    EtherCAT Nein Nein Nein
    Gehäuse      
    Gewicht 70 kg 70 kg 71 kg
    Schutzart IP IP 20 IP 20 IP 20
    Kühlungsanforderungen      
    Kühlmedium Luft Luft Luft
    Temperatur Kühlmedium 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Allgemein      
    Gesamtwirkungsgrad 90 % 90 % 90 %
    Zertifikate / Standards CE CE CE
    Umgebungsbedingungen      
    Außentemperatur 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Luftfeuchte 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrischer Druck 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Technisches Datenblatt

    Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

    Architekturglas

    Sichert gleichbleibend gute Prozessbedingungen

    Das spezielle Leistungs- und Steuerdesign sorgt für eine fundierte Spannungsstabilität, welche entscheidend für die Schichtqualität und einen stabilen Prozess ist. Konzipiert in DSP-Technik und mit einer FPGA-Signalauswertung verfügt die TruPlasma Bias Serie 4000 über ein modernes Arc-Management, das einzigartige Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet. Die beeindruckenden Werte beider Parameter sorgen für eine optimale Prozessstabilisierung.

    Hartstoffbeschichtung

    Vereinfachtes Systemhandling mit nur einem Gerät für mehrere Prozesse

    Die TruPlasma Bias Serie 4000 verfügt über zwei separate Spannungsmodi: einen Hochspannungsmodus mit bis zu 1200 Volt und einen Niedrigspannungsmodus mit bis zu 300 Volt. Die Modi unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.

    Arc-Management

    Optimale Schichtqualität durch reibungslose Prozesse

    Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 sind mit volldigitalem Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie und CompensateLine ausgestattet, ermöglichen daher hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Dadurch finden noch weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen statt, Prozess und Produkt werden verbessert.

    Anwenderfreundliche Software PVD Power

    PVD Power

    Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

    Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Broschüre TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
    Broschüre TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
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