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DC Plasmageneratoren | TRUMPF
Technologiebild DC Plasmagenerator

DC-Plasmageneratoren

DC-Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger sind die Klassiker der Plasmaanregung. Sie werden überwiegend in Einkathodensystemen eingesetzt, unter anderem zur Aufbringung elektrisch leitfähiger Schichten auf Solarzellen und Halbleitern sowie zur Polarisierung von Substraten. Als kostengünstige Einstiegstechnologie in die Plasmaanregung sind Gleichstromgeneratoren heute in zahlreichen Anwendungen im Einsatz.

Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

Als neue Generation von Gleichstrom-Generatoren ist die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) für eine Vielzahl von DC-Sputter-Prozessen geeignet. Dank ihres fortschrittlichen Arc-Managements und der integrierten Wasserkühlung sind die DC-Generatoren auch als kostengünstige Alternative zu gepulsten DC-Generatoren interessant. Die sehr kompakte Bauweise ermöglicht zudem eine einfache Integration in bestehende Anwendungen.

Arc Generator der TruPlasma Arc Serie 3000

TruPlasma Arc Serie 3000

Die Generatoren der TruPlasma Arc Serie 3000 bestechen vor allem bei Hartstoff- und dekorativen Beschichtungen. Durch ihre kompakte Bauweise und die Luftkühlung wird eine optimale Ausnutzung wertvoller Nutzfläche gesichert und die Integration in neue oder vorhandene Systeme erleichtert.

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