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Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Serie 3000

Stabil und vielseitig

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    Universelle Generatoren für Ihren Sputterprozess

    Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 3000 unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.

    Hoch- und Niedrigspannungsmodus

    1200 V für Substrat-Ätzprozesse,
    300 V für Bias-unterstützte Beschichtungsprozesse.

    Schnelles Arc-Management

    Sehr geringe Arc-Restenergie, somit weniger Substratschädigungen und stabilere Prozesse.

    Stabile und reproduzierbare Prozessergebnisse

    Einzigartige Genauigkeit dank moderner DSP-Technik und FPGA-Signalauswertung.

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung

    Dekorative-Beschichtung

    Großflächige Beschichtungen stellen im Plasmaprozess besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 3000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielt werden.

    Ideal geeignet für Ätz- und Beschichtungsprozesse

    Halbleitertechnik

    Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 3000 bewähren sich in allen kritischen PVD- und PECVD-Prozessen und bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass Sie exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielen.

    Generator der TruPlasma Bias Serie 3000 im Einsatz

    Sichert gleichbleibend gute Prozessbedingungen

    Das spezielle Leistungs- und Steuerdesign sorgt für eine fundierte Spannungsstabilität, welche entscheidend für die Schichtqualität und einen stabilen Prozess ist. Konzipiert in DSP-Technik und mit einer FPGA-Signalauswertung verfügt die TruPlasma Bias Serie 3000 über ein modernes Arc-Management, das einzigartige Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet. Die beeindruckenden Werte beider Parameter sorgen für eine optimale Prozessstabilisierung.

    Typisches Einsatzgebiet der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): Herstellung von verschleißfesten Schichten

    Vereinfachtes Systemhandling mit nur einem Gerät für mehrere Prozesse

    Die TruPlasma Bias Serie 3000 verfügt über zwei separate Spannungsmodi: einen Hochspannungsmodus mit bis zu 1200 Volt und einen Niedrigspannungsmodus mit bis zu 300 Volt. Die Modi unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.

    Typisches Anwendungsgebiet der TruPlasma Bias Serie 3000: Solarzellenherstellung

    Optimale Schichtqualität durch reibungslose Prozesse

    Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 3000 sind mit volldigitalem Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie und CompensateLine ausgestattet, ermöglichen daher hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Dadurch finden noch weniger Substratschädigungen statt, Prozess und Endprodukt werden verbessert.

    Anwenderfreundliche Software PVD Power

    PVD Power

    Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

    Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Broschüre TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
    Broschüre TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
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