Universelle Generatoren für Ihren Sputterprozess
Die TruPlasma Bias Serie 4000 ist eine Produktfamilie modernster gepulster DC-Bias-Generatoren. Pulsfrequenzen bis zu 100 kHz sowie kontinuierlicher Bias-Output sind möglich. Die Generatoren unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.
1200 V für Substrat-Ätzprozesse,
300 V für Bias-unterstützte Beschichtungsprozesse.
Daher signifikant weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen.
Exzellentes Arc-Management dank moderner DSP-Technik und FPGA-Signalauswertung.
Herstellung verschleißfester Schichten
Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.
Großflächenbeschichtung
Großflächige Beschichtungen stellen im Plasmaprozess besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielt werden.
Solarzellenherstellung
Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 bewähren sich in allen kritischen PVD- und PECVD-Prozessen und bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass Sie exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielen.
TruPlasma Bias 4012
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TruPlasma Bias 4018
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TruPlasma Bias 4026
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|---|---|---|---|
| Ausgang | |||
| Nennleistung | 12 kW | 18 kW | 26 kW |
| Maximaler Ausgangsstrom | 40 A eff | 60 A eff | 87 A eff |
| Maximale Ausgangsspannung | 1200 V eff | 1200 V eff | 1200 V eff |
| Nennbetriebsfrequenz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Arc-Parameter | |||
| Maximale Arc-Rate | 50 1/s | 50 1/s | 50 1/s |
| Arc-Behandlungszeit | <0,5 µs | <0,5 µs | <0,5 µs |
| Netzanschlussdaten | |||
| Netzspannung | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V | 3x 360 V - 440 V |
| Netzfrequenz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Kommunikationsschnittstellen | |||
| Analog/Digital | Ja | Ja | Ja |
| RS 232 / RS 485 | - | Ja | - |
| PROFIBUS | Ja | - | Ja |
| EtherCAT | Nein | Nein | Nein |
| Gehäuse | |||
| Gewicht | 70 kg | 70 kg | 71 kg |
| Schutzart IP | IP 20 | IP 20 | IP 20 |
| Kühlungsanforderungen | |||
| Kühlmedium | Luft | Luft | Luft |
| Temperatur Kühlmedium | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Allgemein | |||
| Gesamtwirkungsgrad | 90 % | 90 % | 90 % |
| Zertifikate / Standards | CE | CE | CE |
| Umgebungsbedingungen | |||
| Außentemperatur | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C | 5 °C - 35 °C |
| Luftfeuchte | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Barometrischer Druck | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa |
Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.
Sichert gleichbleibend gute Prozessbedingungen
Das spezielle Leistungs- und Steuerdesign sorgt für eine fundierte Spannungsstabilität, welche entscheidend für die Schichtqualität und einen stabilen Prozess ist. Konzipiert in DSP-Technik und mit einer FPGA-Signalauswertung verfügt die TruPlasma Bias Serie 4000 über ein modernes Arc-Management, das einzigartige Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet. Die beeindruckenden Werte beider Parameter sorgen für eine optimale Prozessstabilisierung.
Vereinfachtes Systemhandling mit nur einem Gerät für mehrere Prozesse
Die TruPlasma Bias Serie 4000 verfügt über zwei separate Spannungsmodi: einen Hochspannungsmodus mit bis zu 1200 Volt und einen Niedrigspannungsmodus mit bis zu 300 Volt. Die Modi unterstützen besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen, die z.B. in der Halbleitertechnik oder der Hartstoffbeschichtung zum Einsatz kommen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.
Optimale Schichtqualität durch reibungslose Prozesse
Die Generatoren der TruPlasma Bias Serie 4000 sind mit volldigitalem Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie und CompensateLine ausgestattet, ermöglichen daher hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Dadurch finden noch weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen statt, Prozess und Produkt werden verbessert.
PVD Power
Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).
Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.
