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Durch Zerstäubung Neues schaffen

Passives Sputtern (PVD-Verfahren)

Durch Zerstäubung Neues schaffen

Die PVD-Technologie (Physical Vapor Deposition) bringt dünne Schichten im Mikrometerbereich auf Materialien unterschiedlichster Qualitäten auf. Hierzu wird ein Materialblock, der aus dem aufzubringenden Schichtmaterial besteht, im Vakuum physikalisch verdampft. Die atomaren Teilchen aus dem entstandenen Gasgemisch setzen sich auf dem Substrat ab. Bei plasmagestützten PVD-Prozessen wird eine Kathode durch den Beschuss mit Ionen zerstäubt. Dieses sogenannte Sputter- oder Zerstäubungs-Verfahren läuft bereits bei Raumtemperaturen ab. Der PVD-Prozess unterteilt sich in die drei Phasen: Zerstäubung, Diffusion und Schichtwachstum.

Zerstäubung

Zerstäubung

In einer Vakuum-Reaktionskammer befindet sich das nicht reaktive Edelgas Argon. Dort wird eine geeignete Gleich-, Mittel- oder Hochfrequenz-Spannung angelegt. Über der Kathode (Target), die aus dem Beschichtungsmaterial besteht, entzündet sich ein Niedertemperaturplasma. Positiv geladene Argon-Ionen werden im elektrischen Feld zur Kathode hin beschleunigt. Beim Aufprall schlagen diese Ionen Teilchen aus dem Kathodenmaterial. Dieses wird mit der Zeit nahezu vollständig zerstäubt.

Produkte

MF Plasmageneratoren
MF-Plasmageneratoren

MF-Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger werden vor allem in Zweikathodensystemen eingesetzt, beispielsweise zum Dual-Magnetron-Sputtering.

Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren
DC-gepulste Plasmageneratoren

DC-gepulste Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger eignen sich ideal für den Einsatz in zahlreichen reaktiven Prozessen.

Technologiebild DC Plasmagenerator
DC-Plasmageneratoren

DC-Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger sind die Klassiker der Plasmaanregung.

Technologiebild RF Plasmageneratoren
HF Plasmageneratoren

TruPlasma HF-Generatoren von TRUMPF Hüttinger bieten die höchste Prozessstabilität aller Stromversorgungen für die Plasmaanregung.

Kontakt

TRUMPF Hüttinger
Fax: +49 761 89711150
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Dr. Jan Peter Engelstädter
Plasma MF
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