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TruPlasma DC 4040 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

Gepulste Prozesse für brillante Oberflächen

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    Souveränes Handling von anspruchsvollen Prozessen

    Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!

    Hohe Schichtqualität und Produktivität

    Digitale Signalverarbeitung garantiert stabile Prozesse und minimale Arc-bedingte Zeitverluste.

    Beste Ergebnisse auch in kritischen Prozessen

    Schnelle Arc-Behandlung in Kombination mit DC-Pulstechnologie minimiert Substratschädigungen.

    Einfache Prozessanpassung

    Dank breitem Frequenzspektrum und anpassbarer Reverse-Voltage.

    Kompakte und robuste Bauweise

    Die integrierte Wasserkühlung spart Platz und reduziert den Wartungsaufwand.

    Hartstoffbeschichtung

    Hartstoffbeschichtung

    Durch Aufbringung funktioneller Schichten erhalten stark beanspruchte Werkstücke eine erhöhte Randhärte und Haftreibung sowie eine bessere thermische und chemische Stabilität. Die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.

    Zur Aufbringung dünnster Metallschichten ideal geeignet

    Metallisierung

    Mittels eines PVD-Prozesses lassen sich hauchdünne Metallschichten auf verschiedene Materialien aufbringen, um diesen optimale optische und elektrische Eigenschaften zu verleihen. Eine optimal an die Prozessparameter angepasste Stromversorgung ermöglicht die Abscheidung absolut homogener, defektfreier Schichten.

    Solarzellenherstellung

    Solarzellenherstellung

    Zur Beeinflussung ihrer elektrischen Eigenschaften werden Solarzellen, aber auch Flachbildschirme und Touchscreens, mit elektrisch leitfähigen Materialien (TCO) beschichtet. Aufgrund ihrer sehr geringen Arc-Energie sind die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) hierfür bestens geeignet.

    Architekturglas

    Architekturglas

    Die großflächige Beschichtung von Architekturglas in einem PVD-Plasmaprozess stellt besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) bieten ideale Voraussetzungen für ein hochwertiges Beschichtungsergebnis.

    TruPlasma DC 4010 (G2)
    TruPlasma DC 4020 (G2)
    TruPlasma DC 4040 (G2)
    Ausgang      
    Nennleistung 10 kW 20 kW 40 kW
    Maximaler Ausgangsstrom 33 A eff 67 A eff 133 A eff
    Maximale Ausgangsspannung 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Nennbetriebsfrequenz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Arc-Parameter      
    Maximale Arc-Rate 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
    Arc Energie <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW
    Arc-Behandlungszeit <0.1 µs <0.1 µs <0.1 µs
    Zündspannungen      
    mit Zündhilfe 1750 V 1750 V 1750 V
    ohne Zündhilfe 1250 V 1250 V 1250 V
    Netzanschlussdaten      
    Netzspannung 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V
    Netzfrequenz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Kommunikationsschnittstellen      
    Analog/Digital Ja Ja Ja
    RS 232 / RS 485 Ja Ja Ja
    PROFIBUS Ja Ja Ja
    EtherCAT Nein Nein Nein
    DeviceNet Ja Ja Ja
    Gehäuse      
    Gewicht 65 kg 75 kg 150 kg
    Schutzart IP 40 40 40
    Kühlungsanforderungen      
    Kühlmedium Wasser Wasser Wasser
    Max. Wasserdruck 7 bar 7 bar 7 bar
    Min. Druckdifferenz 3 bar 3 bar 3 bar
    Min. Durchflussmenge 8 l/min 8 l/min 16 l/min
    Temperatur Kühlmedium 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
    DC Anschlussdaten      
    Anzahl der Terminals 3 3 3
    Nennstrom / Terminal 25 A 45 A 85 A
    Allgemein      
    Gesamtwirkungsgrad 90 % 90 % 90 %
    Zertifikate / Standards CE CE CE
    Umgebungsbedingungen      
    Außentemperatur 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    Luftfeuchte 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrischer Druck 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Technisches Datenblatt

    Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

    Arc-Management

    Hohe Schichtqualität und Produktivität

    Die Kombination aus schneller Arc-Behandlung und DC-Pulstechnologie bewirkt eine geringere Tröpfchenrate und weniger Oberflächendefekte. Arc-bedingte Prozessunterbrechungen werden minimiert, die Abscheidungsrate wird signifikant erhöht.

    Ausgefeiltes Monitoring-Tools zur Unterstützung Ihres Prozesses

    Flexible Anpassung an den Prozess

    Die Pulsfrequenz kann in einem weiten Bereich angepasst werden, zudem ist ein Bias-Betrieb des DC-Generators möglich. Somit können Sie ein und dasselbe Gerät für eine Vielzahl von Anwendungen einsetzen. Ausgefeilte Monitoring-Tools unterstützen Sie bei der Optimierung Ihres Prozesses.

    Verschiedene Optionen ermöglichen eine optimale Anpassung des gepulsten DC-Generators an Ihre Anwendung.

    Paralleler Betrieb und Synchronisation

    Mehrere Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) können synchron betrieben werden. Dieser Modus ermöglicht die Synchronisierung der Arc-Erkennung mehrerer Generatoren, die auf unterschiedliche Targets ausgerichtet sind. Auch der Puls Modus ist synchronisierbar.

    Bedienungsfreundliche Software PVD Power

    PVD Power

    Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

    Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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    Flyer TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
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