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TruPlasma DC 4040 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

Gepulste Prozesse für brillante Oberflächen

Souveränes Handling von anspruchsvollen Prozessen

Die TruPlasma DC Serie 4000 (G2) wurde speziell für das reaktive DC-Sputtern mit schwierigen Materialien entwickelt. Die mit gepulstem Gleichstrom arbeitenden Generatoren bewähren sich insbesondere in kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, bei denen zugleich höchste Schichtqualität und Produktivität verlangt werden. Die kompakten DC-Prozessstromversorgungen sind sowohl im gepulsten als auch im Bias-Betrieb einsetzbar – sozusagen zwei Geräte in einem Gehäuse!

Hohe Schichtqualität und Produktivität

Digitale Signalverarbeitung garantiert stabile Prozesse und minimale Arc-bedingte Zeitverluste.

Beste Ergebnisse auch in kritischen Prozessen

Schnelle Arc-Behandlung in Kombination mit DC-Pulstechnologie minimiert Substratschädigungen.

Einfache Prozessanpassung

Dank breitem Frequenzspektrum und anpassbarer Reverse-Voltage.

Kompakte und robuste Bauweise

Die integrierte Wasserkühlung spart Platz und reduziert den Wartungsaufwand.

Hartstoffbeschichtung

Hartstoffbeschichtung

Durch Aufbringung funktioneller Schichten erhalten stark beanspruchte Werkstücke eine erhöhte Randhärte und Haftreibung sowie eine bessere thermische und chemische Stabilität. Die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.

Zur Aufbringung dünnster Metallschichten ideal geeignet

Metallisierung

Mittels eines PVD-Prozesses lassen sich hauchdünne Metallschichten auf verschiedene Materialien aufbringen, um diesen optimale optische und elektrische Eigenschaften zu verleihen. Eine optimal an die Prozessparameter angepasste Stromversorgung ermöglicht die Abscheidung absolut homogener, defektfreier Schichten.

Solarzellenherstellung

Solarzellenherstellung

Zur Beeinflussung ihrer elektrischen Eigenschaften werden Solarzellen, aber auch Flachbildschirme und Touchscreens, mit elektrisch leitfähigen Materialien (TCO) beschichtet. Aufgrund ihrer sehr geringen Arc-Energie sind die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) hierfür bestens geeignet.

Architekturglas

Architekturglas

Die großflächige Beschichtung von Architekturglas in einem PVD-Plasmaprozess stellt besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) bieten ideale Voraussetzungen für ein hochwertiges Beschichtungsergebnis.

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TruPlasma DC 4010 (G2)
TruPlasma DC 4020 (G2)
TruPlasma DC 4040 (G2)
Ausgang      
Nennleistung 10 kW 20 kW 40 kW
Maximaler Ausgangsstrom 33 A eff 67 A eff 133 A eff
Maximale Ausgangsspannung 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Nennbetriebsfrequenz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Arc-Parameter      
Maximale Arc-Rate 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arc Energie <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW <0.3 mJ/kW
Arc-Behandlungszeit <0.1 µs <0.1 µs <0.1 µs
Zündspannungen      
mit Zündhilfe 1750 V 1750 V 1750 V
ohne Zündhilfe 1250 V 1250 V 1250 V
Netzanschlussdaten      
Netzspannung 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V
Netzfrequenz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Kommunikationsschnittstellen      
Analog/Digital Ja Ja Ja
RS 232 / RS 485 Ja Ja Ja
PROFIBUS Ja Ja Ja
EtherCAT Nein Nein Nein
DeviceNet Ja Ja Ja
Gehäuse      
Gewicht 65 kg 75 kg 150 kg
Schutzart IP 40 40 40
Kühlungsanforderungen      
Kühlmedium Wasser Wasser Wasser
Max. Wasserdruck 7 bar 7 bar 7 bar
Min. Druckdifferenz 3 bar 3 bar 3 bar
Min. Durchflussmenge 8 l/min 8 l/min 16 l/min
Temperatur Kühlmedium 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
DC Anschlussdaten      
Anzahl der Terminals 3 3 3
Nennstrom / Terminal 25 A 45 A 85 A
Allgemein      
Gesamtwirkungsgrad 90 % 90 % 90 %
Zertifikate / Standards CE CE CE
Umgebungsbedingungen      
Außentemperatur 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Luftfeuchte 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrischer Druck 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technisches Datenblatt

Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

Arc-Management

Hohe Schichtqualität und Produktivität

Die Kombination aus schneller Arc-Behandlung und DC-Pulstechnologie bewirkt eine geringere Tröpfchenrate und weniger Oberflächendefekte. Arc-bedingte Prozessunterbrechungen werden minimiert, die Abscheidungsrate wird signifikant erhöht.

Ausgefeiltes Monitoring-Tools zur Unterstützung Ihres Prozesses

Flexible Anpassung an den Prozess

Die Pulsfrequenz kann in einem weiten Bereich angepasst werden, zudem ist ein Bias-Betrieb des DC-Generators möglich. Somit können Sie ein und dasselbe Gerät für eine Vielzahl von Anwendungen einsetzen. Ausgefeilte Monitoring-Tools unterstützen Sie bei der Optimierung Ihres Prozesses.

Verschiedene Optionen ermöglichen eine optimale Anpassung des gepulsten DC-Generators an Ihre Anwendung.

Paralleler Betrieb und Synchronisation

Mehrere Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 (G2) können synchron betrieben werden. Dieser Modus ermöglicht die Synchronisierung der Arc-Erkennung mehrerer Generatoren, die auf unterschiedliche Targets ausgerichtet sind. Auch der Puls Modus ist synchronisierbar.

Bedienungsfreundliche Software PVD Power

PVD Power

Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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Kontakt

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Fax +49 761 89711150
E-Mail

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Flyer TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
Flyer TruPlasma DC Serie 4000 (G2)
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Whitepaper Novel pulsed DC technology
pdf - 2 MB
Whitepaper Application of pulsed DC sputtering
pdf - 3 MB
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