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Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000
Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse Serie 4000

Hochdichtes Plasma für überlegene Beschichtungsresultate

Die erste Wahl für HiPIMS Anwendungen

Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 können als Alternative zu DC-Sputtergeneratoren in bestehenden Magnetron-Systemen ohne Modifikationen genutzt werden.

Exzellente Schichteigenschaften

Impulse von bis zu 8 MW erzeugen ein extrem dichtes Plasma für beste Beschichtungsergebnisse.

Einwandfreie Schichten und Haftung

Exzellente Prozessergebnisse beim Hochleistungs-Impuls-Magnetron-Sputtern (HIPIMS).

Verschiedene Leistungsklassen

Pulsleistung von 1 MW bis 8 MW, durchschnittliche Leistung von 10 kW bis 20 kW.

Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000 im Einsatz

HIPIMS-Anwendungen

Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 sind die erste Wahl für HIPIMS-Anwendungen. Als neueste Entwicklung gepulster PVD-Sputterverfahren liefert HIPIMS besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen.

Ideal geeignet für Ätz- und Beschichtungsprozesse

Ätzen, Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-Filling

Leistungsspitzen von bis zu 8 Megawatt erzeugen extreme Plasmadichten mit hohen Ionenflüssen. Prinzipiell vergleichbar mit einer Arc-Entladung, entstehen bei der HIPIMS-Technik allerdings keine Materialtröpfchen (droplets). In Kombination mit polarisierten Substraten kann die TruPlasma Highpulse Serie 4000 auch Halbleiterapplikationen bedienen, z.B. Ätzen, Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-Filling.

Ideal für Großflächenbeschichtung

Ideal für Großflächenbeschichtung

Großflächige Beschichtungen stellen im Plasmaprozess besonders hohe Anforderungen an die Prozessstromversorgung. Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielt werden.

Anwendungsgebiet der TruPlasma Highpulse Serie 4000: anspruchsvolle Prozesse in der Solarindustrie

Solarzellenherstellung

Im Bereich der Photovoltaik gibt es zahlreiche Einsatzgebiete für maßgeschneiderte Prozessenergie. Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 lassen sich optimal an den jeweiligen Prozess anpassen und ermöglichen hervorragende Beschichtungsparameter sowie eine hohe Produktivität.

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Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000 im Einsatz

Optimale Prozessergebnisse

Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 bieten unübertroffene Flexibilität für Forschungs- und Industrieprozesse und ermöglichen tropfenfreies Sputtern und minimale Oberflächendefekte. Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie, basierend auf Echtzeit-Strommessung, ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten.

Ermöglichen eine optimale Geräteeinbindung: die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000

Flexibel Einsetzbar

Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 sind an bestehende Kathodensysteme und Prozessbedingungen leicht anpassbar und ermöglichen eine optimale Geräteeinbindung.

Verschiedene Optionen gewährleisten eine optimale Anpassung der Tru Plasma Highpulse Serie 4000 an Ihre Anwendung.

Arc-Management CompensateLine (CLC)

Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten.

Grafische Bediensoftware PVD Power

PVD Power

Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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Fax +49 761 89711150
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Broschüre TruPlasma Highpulse Serie 4000
Broschüre TruPlasma Highpulse Serie 4000
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Whitepaper HiPIMS
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