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Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air Serie 1000

Accuracy you can rely on

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    Der luftgekühlte HF-Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 Watt hochgenaue, reproduzierbare HF-Energie mit extrem feiner Auflösung – in 100-mW-Schritten – und ist damit für unterschiedlichste Plasma-Anwendungen geeignet. Ob bei der Herstellung von Halbleitern, Solarzellen oder Displays – die patentierte TRUMPF Hüttinger Technology garantiert überall höchste Zuverlässigkeit und beste Prozessergebnisse dank moderner Prozessfunktionen.

    Smart Auto Frequency Tuning

    Garantiert eine optimale und sehr schnelle Frequenzan- passung und damit ein optimales Zusammenspiel zwischen Generator und Matchbox.

    Hochgenaues Arc-Management

    Sichere Führung von anspruchsvollen und neuartigen Prozessen garantiert den Schutz Ihres Produktes.

    Multi-Level Pulsing

    Mehrstufige, flexible Steuerung der Pulsform für bessere Prozessergebnisse in modernen Plasmaprozessen.

    Plug & Play

    Flexibler Einsatz und Austausch der Generatoren bei Prozessänderungen oder Retrofit möglich.

    Stabile Plasmaprozesse

    Die patentierte CombineLine-Technologie garantiert eine gleichmäßige Prozessleistung dank echter 50-Ohm-Ausgangsimpedanz.

    Einheitliche Generatortechnologie

    Mit unterschiedlichen Leistungsklassen innerhalb der HF-Produktfamilie lassen sich sämtliche Prozessan- forderungen abdecken.

    Unabhängigkeit von der HF-Kabellänge

    Bei Prozessänderungen oder Änderungen am System ist keine Kabellängenanpassung mehr notwendig.

    Stromversorgung der Spitzenklasse zur Beschichtung von Flachbildschirmen

    Die HF-Generatoren der TruPlasma RF Air Serie 1000 eignen sich ideal für Plasmaprozesse wie RIE, ALD, PECVD und RF-Sputtern. Diese Verfahren kommen unter anderem bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und mikromechanischen Systemen (MEMS) sowie bei der Beschichtung von Flachbildschirmen und Solarzellen zur Anwendung.

    Solarzellenherstellung

    Typische Anwendungsgebiete der TruPlasma RF Air Serie 1000 sind anspruchsvolle PECVD-, Ätz- und HF-Sputterprozesse in der Solarindustrie.

    Technologiebild RF Plasmageneratoren

    Bei der Herstellung von Halbleitern kommen unterschiedliche Plasmaprozesse zum Einsatz, von Abtragungsprozessen durch Trockenätzen bis zum Zonenziehen bei der Herstellung von Reinsilizium. Die Generatoren der TruPlasma RF Air Serie 1000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass Sie exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielen.

    TruPlasma RF 1001 Air
    RF Ausgang  
    Ausgangsleistung 1 kW
    Nennleistung 1 kW
    Nennlastimpedanz 50 Ω
    Ausgangsfrequenz 13.56 MHz
    Netzanschlussdaten  
    Netzspannung 110 - 230 V
    Netzfrequenz 50-60 Hz
    Netzaufnahmeleistung 1.8 kVA
    Leistungsfaktor 0.9
    Kommunikationsschnittstellen  
    Sync Schnittstellen Ja
    Analog/Digital Ja
    RS 232 / RS 485 Ja
    PROFIBUS Ja
    EtherCAT Ja
    DeviceNet Ja
    Gehäuse  
    Gewicht 15 kg
    Schutzart IP 20
    Kühlungsanforderungen  
    Max. Wasserdruck N/A bar
    Min. Druckdifferenz N/A bar
    Min. Durchflussmenge N/A l/min
    Temperatur Kühlmedium 5 °C - 35 °C
    Allgemein  
    Gesamtwirkungsgrad 70 %
    Zertifikate / Standards Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
    Umgebungsbedingungen  
    Außentemperatur 5 °C - 40 °C
    Luftfeuchte 5 % - 85 %
    Barometrischer Druck 79.5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Technisches Datenblatt

    Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

    Höchste Produktivität und Verfügbarkeit

    Höchste Produktivität und Verfügbarkeit

    Das flexible, robuste Design der HF-Generatoren ermöglicht eine Steigerung des Durchsatzes und eine Reduktion der Betriebskosten.

    Patentierte CombineLine-Technologie

    Stabile Prozesse, reproduzierbare Ergebnisse

    Die patentierte CombineLine-Technologie mit intelligentem Echtzeit-Matching garantiert eine optimale Verfügbarkeit des TruPlasma RF 1001 Air und verhindert zuverlässig Plasmaschwankungen und Verunreinigungen.

    Kompakt und flexibel einsetzbar

    Dank der kompakten Bauweise (½-19-Zoll-Einschub) ist der HF-Generator sehr platzsparend - ideal geeignet bei Neuinstallationen und als Retrofitlösung in bestehenden Anlagen. Die Integration ist dank der zahlreichen verfügbaren Schnittstellen (konfigurierbare Analogschnittstelle, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) sehr einfach.

    Ideal geeignet für Ätz- und Beschichtungsprozesse

    Auf die Nachkommastelle genau

    Dank der präzisen Energiedosierung in 100-mW-Schritten lassen sich mit dem TruPlasma RF 1001 Air auch in modernsten, anspruchsvollsten Anwendungen wie ALD beste Ergebnisse erzielen. Die hochpräzise Leistungsregelung des HF-Generators garantiert beste Wafer-to-Wafer-Wiederholbarkeit.

    Architekturglas

    Beste Prozessergebnisse dank moderner Prozessfunktionen

    Digitale Steuerungsfunktionen wie Smart Auto Frequency Tuning 2.0, Arc-Management und Multi-Level Pulsing ermöglichen eine optimale Anpassung des HF-Generators an den jeweiligen Prozess.

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität

    Flexible Anpassung an die Kundenanwendung

    Es sind unterschiedliche Leistungsklassen und Frequenzen im einheitlichen Generatordesign verfügbar, daher ist ein einfacher Austausch bei Prozessänderungen möglich. Auch eine Kabellängenanpassung ist nicht mehr erforderlich.

    Steuerung des kompletten HF-Systems über den TRUMPF SystemPort

    Der SystemPort ermöglicht einen geschlossenen Regelkreislauf durch das Messen des RF-Signals direkt am Ein- und Ausgang der Matchbox sodass dem HF-Generator stets sämtliche Messwerte zur Verfügung stehen. Die Prozessparameter werden kontinuierlich überwacht, die Matchbox geschützt und eine frühzeitige Arc-Erkennung gewährleistet.

    Auto Frequency Tuning
    Smart Auto Frequency Tuning (AFT)

    Das patentierte Auto Freuquency Tuning ermöglicht eine simultane und schnelle Frequenzanpassung zwischen Generator und Matchbox. Beste Prozessergebnisse und höchste Reproduzierbarkeit sind somit garantiert.

    Schnelles und präzises Arc-Management

    Das durchdachte Arc-Management gewährleistet eine optimale Kontrolle des Plasmaprozesses. Durch gezielte Arc Erkennung wird die Produktivität gesteigert, zugleich werden Produkt und Anlage vor Schäden geschützt.

    Multi-Level Pulsing

    Neueste Plasmaprozesse benötigen mehr Flexibilität beim Pulsbetrieb. Jede Art von Pulsform kann mit dem mehrstufigen, frei wählbaren Pulsbetrieb erreicht werden. Dies führt zu einem neuen Steuerungsmechanismus in der Plasmaphysik und zu besseren Prozessergebnissen.

    Synchronisation Module (Pulse, CEX, Arc)

    Das Synchronisationsmodul ermöglicht die flexible und sicherere Synchronisation mehrerer Generatoren in komplexen Plasmasystemen.

    TruControl Power

    Die anwendungsfreundliche Steuerungssoftware ermöglicht eine komfortable Inbetriebnahme und sichere Überwachung des HF-Generators bzw. des gesamten TRUMPF RF-Systems im laufenden Prozess.

    Web-GUI

    Der integrierte Webserver ermöglicht sowohl den Betrieb des HF-Systems als auch Softwareupdates über einen Webbrowser.

    Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

    Kontakt

    TRUMPF Hüttinger
    Fax: +49 761 89711150
    E-Mail

    Downloads

    Broschüre TruPlasma RF System
    pdf - 8 MB
    Whitepaper Autofrequency Tuning
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Service & Kontakt