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Bipolar-Generator TruPlasma Bipolar 4040
Bipolar-Generator TruPlasma Bipolar 4040
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

Höchstleistung auf flexibler Welle

Bipolar-Technologie für höchste Ansprüche

Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) wurden speziell für die plasmagestützte Beschichtung mittels PVD-, PECVD- und reaktiven Sputter-Prozessen entwickelt. Dank ihres flexibel formbaren Ausgangssignals und des ausgefeilten Arc-Managements sind diese bipolaren Pulser der neuesten Generation sehr vielseitig einsetzbar. Ob bei der Herstellung von Halbleitern und Solarzellen oder bei der Beschichtung von Architekturglas, Sie können in jedem Fall Höchstleistungen in Bezug auf Schichtqualitäten und Beschichtungsraten erwarten.

Äußerst geringe Arc-Energie

Volldigitales Arc-Management für höchste Schichtqualität und Produktivität.

Einstellbare Wellenformen

Einfache Anpassung an unterschiedliche Prozesse durch Variation des Ausgangssignals.

Ein Generator, viele Anwendungen

DC, gepulstes DC und Bipolar: Kostenersparnis dank vielfältiger Einstelloptionen.

Integrierte Wasserkühlung

Keine externen Komponenten erforderlich, daher sehr geringer Platzbedarf.

Typisches Einsatzgebiet der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): Herstellung von verschleißfesten Schichten

Stromversorgung der Spitzenklasse

Typische Einsatzgebiete sind die Halbleiter- und Photovoltaik-Produktion, die Architekturglasbeschichtung sowie die Herstellung von dekorativen und verschleißfesten Schichten in höchster Qualität. Dabei kommen insbesondere PVD- und PECVD-Prozesse zum Einsatz.

Ausgang          
Nennleistung 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Maximaler Ausgangsstrom 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
Maximale Ausgangsspannung 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
Nennbetriebsfrequenz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Arc-Parameter          
Maximale Arc-Rate 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arc Energie 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW
Zündspannungen          
mit Zündhilfe 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Netzanschlussdaten          
Netzspannung 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Netzfrequenz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Leistungsfaktor 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
Kommunikationsschnittstellen          
Analog/Digital Ja Ja Ja Ja Ja
RS 232 / RS 485 Ja Ja Ja Ja Ja
PROFIBUS Ja Ja Ja Ja Ja
EtherCAT Ja Ja Ja
-
Ja Ja
DeviceNet Ja Ja Ja
-
Ja Ja
Gehäuse          
Breite 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Höhe 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Tiefe 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Gewicht 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Schutzart IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Kühlungsanforderungen          
Kühlmedium Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser
Max. Wasserdruck 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Min. Druckdifferenz 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Min. Durchflussmenge 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Temperatur Kühlmedium 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
Allgemein          
Gesamtwirkungsgrad 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Umgebungsbedingungen          
Außentemperatur 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Luftfeuchte 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrischer Druck 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Technisches Datenblatt

Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

Arc-Management

Perfekte Schichten, hohe Produktivität

Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Auch bei anspruchsvollen reaktiven Prozessen gewährleistet die TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) stets eine gleichmäßige Prozessstromversorgung und somit einen stabilen Plasmazustand.

Durch flexible Wahl des Ausgangssignals vielseitig einsetzbar

Mehr Flexibilität, geringere Kosten

Über einstellbare Wellenformen können Sie die Generatoren der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) sehr einfach an unterschiedliche Prozessanforderungen anpassen. Dank der flexiblen Wahl des Ausgangssignals (DC, gepulstes DC oder Bipolar) sind sie vielseitig einsetzbar und helfen so, Ihre Gesamtbetriebskosten (TCO) zu senken.

Bipolar-Generator TruPlasma Bipolar 4060

Alles in einem Gehäuse

Dank der vollständig in das vor Umwelteinflüssen geschützten Generatorgehäuses integrierten Wasserkühlung sind keine externen Komponenten erforderlich.

Anwenderfreundliche Software PVD Power

PVD Power

Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener sowie Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskopfunktion).

Durch Auswahl verschiedener Systemkomponenten können Sie den Bipolar-Pulsgenerator bestmöglich an Ihre Systemumgebung anpassen.

Rückansicht eines Generatoren der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Netzkabel

Es stehen verschiedene Kabel- und Steckerausführungen für unterschiedliche Anschlussstandards zur Verfügung.

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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Kontakt

TRUMPF Hüttinger
Fax +49 761 89711150
E-Mail

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Broschüre
Broschüre TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Broschüre TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
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Whitepaper Shape matters - Bipolar sputtering
pdf - 715 KB
WhitePaper Sinus oder Rechteck
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