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Epitaxie | TRUMPF
Reinstes Wachstum Schicht für Schicht

Epitaxie

Reinstes Wachstum Schicht für Schicht

Epitaxy

Epitaxie ist ein Prozess, bei dem einkristalline Schichten, z.B. aus Silizium, auf einkristallinen Substraten gleichen Materials erzeugt werden. Die Substrate befinden sich auf einem induktiv beheizten Suszeptor aus Graphit - wobei sehr hohe Anforderungen an die Temperaturhomogenität gestellt werden. Epitaxie wird unter anderem bei der Herstellung von LEDs eingesetzt. TRUMPF Hüttinger Mittelfrequenz-Generatoren liefern die notwendige Prozessenergie zuverlässig und stabil.

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Dr. Torge Behrens
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