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Typisches Anwendungsgebiet der TruHeat MF Serie 3000 5000 7000: Epitaxie

Induktives Verdampfen findet hauptsächlich im Vakuum statt. Das zu verdampfende Material wird in einem geeigneten Behältnis durch hochfrequente, starke elektrische Ströme erhitzt und setzt sich als Schicht auf dem Substrat ab. Die zu beschichtenden Wafer sind oben angeordnet, der Tiegel mit dem flüssigen Schichtmaterial befindet sich direkt darunter. Dank des Vakuums bewegen sich die Beschichtungsteilchen nahezu geradlinig von der Quelle zum Substrat.

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Nikolas Hunzinger
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