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Arc-Management

Unser Angebot für professionelles Arc-Management

Die Lösung

Die Aufgabe

Hohe Abscheideraten und hervorragende Schichtqualitäten - das sind die entscheidenden Qualitätsanforderungen bei plasmagestützten Beschichtungsprozessen. Bei der Herstellung von Solarzellen ebenso wie bei der Beschichtung von Flachbildschirmen oder Architekturglas. Die Aufbringung der dünnen Schichten in der Plasmakammer kann jedoch von elektrischen Überschlägen, Arcs genannt, empfindlich gestört werden. Die eingesetzte Stromversorgung muss einen Arc daher in kürzester Zeit erkennen und individuell darauf reagieren.

Die Lösung

Für die Anforderungen der verschiedenen Prozesse bieten wir abgestimmte Arc-Managementsysteme. Dadurch kann der Generator schnell und präzise auf den Arc reagieren. Die innovative Sensorik ermöglicht verbesserte Prozessergebnisse und erhöhte Produktivität. Wir bieten Ihnen verbesserte Leistung bei gleichem Preis, denn Sie müssen keine zusätzliche Hardware kaufen.

Produkte

MF Plasmageneratoren
MF-Plasmageneratoren

MF-Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger werden vor allem in Zweikathodensystemen eingesetzt, beispielsweise zum Dual-Magnetron-Sputtering.

Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren
DC-gepulste Plasmageneratoren

DC-gepulste Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger eignen sich ideal für den Einsatz in zahlreichen reaktiven Prozessen.

Technologiebild DC Plasmagenerator
DC-Plasmageneratoren

DC-Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger sind die Klassiker der Plasmaanregung.

Technologiebild RF Plasmageneratoren
HF Plasmageneratoren

TruPlasma HF-Generatoren von TRUMPF Hüttinger bieten die höchste Prozessstabilität aller Stromversorgungen für die Plasmaanregung.

Kontakt

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax: +49 761 89711150
E-Mail

Klaus Nock
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Service & Kontakt