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Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000
Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse Serie 4000

Hochdichtes Plasma für überlegene Beschichtungsresultate

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    Die erste Wahl für HiPIMS Anwendungen

    Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 können als Alternative zu DC-Sputtergeneratoren in bestehenden Magnetron-Systemen ohne Modifikationen genutzt werden.

    Exzellente Schichteigenschaften

    Impulse von bis zu 8 MW erzeugen ein extrem dichtes Plasma für beste Beschichtungsergebnisse.

    Einwandfreie Schichten und Haftung

    Exzellente Prozessergebnisse beim Hochleistungs-Impuls-Magnetron-Sputtern (HIPIMS).

    Verschiedene Leistungsklassen

    Pulsleistung von 1 MW bis 8 MW, durchschnittliche Leistung von 10 kW bis 20 kW.

    Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000 im Einsatz

    HIPIMS-Anwendungen

    Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 sind die erste Wahl für HIPIMS-Anwendungen. Als neueste Entwicklung gepulster PVD-Sputterverfahren liefert HIPIMS besonders korrosionsbeständige und verschleißfeste Hartstoffbeschichtungen.

    Ideal geeignet für Ätz- und Beschichtungsprozesse

    Ätzen, Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-Filling

    Leistungsspitzen von bis zu 8 Megawatt erzeugen extreme Plasmadichten mit hohen Ionenflüssen. Prinzipiell vergleichbar mit einer Arc-Entladung, entstehen bei der HIPIMS-Technik allerdings keine Materialtröpfchen (droplets). In Kombination mit polarisierten Substraten kann die TruPlasma Highpulse Serie 4000 auch Halbleiterapplikationen bedienen, z.B. Ätzen, Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-Filling.

    Ideal für Großflächenbeschichtung

    Ideal für Großflächenbeschichtung

    Großflächige Beschichtungen stellen im Plasmaprozess besonders hohe Anforderungen an die Prozessstromversorgung. Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 bieten alle Voraussetzungen für eine stabile und optimal an den jeweiligen Prozess angepasste Stromversorgung, sodass exzellente, reproduzierbare Ergebnisse erzielt werden.

    Anwendungsgebiet der TruPlasma Highpulse Serie 4000: anspruchsvolle Prozesse in der Solarindustrie

    Solarzellenherstellung

    Im Bereich der Photovoltaik gibt es zahlreiche Einsatzgebiete für maßgeschneiderte Prozessenergie. Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 lassen sich optimal an den jeweiligen Prozess anpassen und ermöglichen hervorragende Beschichtungsparameter sowie eine hohe Produktivität.

    Generator der TruPlasma Highpulse Serie 4000 im Einsatz

    Optimale Prozessergebnisse

    Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 bieten unübertroffene Flexibilität für Forschungs- und Industrieprozesse und ermöglichen tropfenfreies Sputtern und minimale Oberflächendefekte. Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie, basierend auf Echtzeit-Strommessung, ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten.

    Ermöglichen eine optimale Geräteeinbindung: die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000

    Flexibel Einsetzbar

    Die Generatoren der TruPlasma Highpulse Serie 4000 sind an bestehende Kathodensysteme und Prozessbedingungen leicht anpassbar und ermöglichen eine optimale Geräteeinbindung.

    Verschiedene Optionen gewährleisten eine optimale Anpassung der Tru Plasma Highpulse Serie 4000 an Ihre Anwendung.

    Arc-Management CompensateLine (CLC)

    Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten.

    Grafische Bediensoftware PVD Power

    PVD Power

    Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

    Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Broschüre TruPlasma Highpulse Serie 4000
    Broschüre TruPlasma Highpulse Serie 4000
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