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Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040
Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

Perfektion für alle Oberflächen

Kompakte Gleichstrom-Generatoren der neuen Generation

Die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) ist für eine Vielzahl von DC-Sputterprozessen geeignet – auch als Ersatz von gepulsten Prozessstromversorgungen. Denn das fortschrittliche Arc-Management bietet die Gewähr für beste Schichtqualitäten und einen deutlich erhöhten Produktionsertrag. Aufgrund der äußerst kompakten Bauweise können Sie die wassergekühlten Gleichstrom-Generatoren sehr einfach in Ihre bestehende Anwendung integrieren.

Niedrigste Arc-Energie ihrer Klasse

Restenergien < 0,3 mJ/kW garantieren beste Schichtqualitäten und hohe Abscheidungsraten.

Hohe Leistungsdichte

Sehr kompakte Bauweise (19-Zoll-Einschub), daher einfache Integration auch größerer Leistungen.

Große Leistungsbandbreite

Ausgangsleistungen von 20 kW bis 300 kW, somit auch Ersatz größerer Generatoren möglich.

Vollständige Wasserkühlung

Ermöglicht lange Systemlaufzeiten und reduziert den Wartungsaufwand.

Einfache Systemintegration

Variable Netzspannung (400 V bis 480 V) und verschiedene Datenschnittstellen.

Hartstoffbeschichtung

Hartstoffbeschichtung

Durch Aufbringung funktioneller Schichten mittels DC-Magnetron-Sputtern erhalten stark beanspruchte Werkstücke eine erhöhte Randhärte und Haftreibung sowie eine bessere thermische und chemische Stabilität. Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sorgen für einen stabilen Plasma-Prozess und somit für eine optimale Schichtqualität.

Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040

Metallisierung

Mittels eines PVD-Prozesses lassen sich hauchdünne Metallschichten auf verschiedene Materialien aufbringen, um diesen bestmögliche optische und elektrische Eigenschaften zu verleihen. Eine optimal an die Prozessparameter angepasste Stromversorgung ermöglicht die Abscheidung absolut homogener, defektfreier Schichten.

Solarzellenherstellung

Solarzellenherstellung

Zur Beeinflussung der elektrischen Eigenschaften werden Solarzellen, aber auch Flachbildschirme und Touchscreens, mit elektrisch leitfähigen Materialien (TCO) beschichtet. Aufgrund ihrer sehr geringen Arc-Restenergie sind die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) hierfür bestens geeignet.

Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040

Architekturglas

Die großflächige Beschichtung von Architekturglas in einem DC-Sputterprozess stellt eine besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) bieten ideale Voraussetzungen für ein hochwertiges Beschichtungsergebnis.

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Ausgang              
Nennleistung 20 kW 30 kW 40 kW 60 W - - -
Maximaler Ausgangsstrom 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff - - -
Maximale Ausgangsspannung 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff - - -
Arc-Parameter              
Maximale Arc-Rate 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s - - -
Arc Energie <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW <0,3 mJ/kW - - -
Arc-Behandlungszeit <0,1 µs <0,1 µs <0,1 µs <0,1 µs - - -
Zündspannungen              
mit Zündhilfe 1500 V 1500 V 1500 V 1500 V - - -
ohne Zündhilfe 1000 V 1000 V 1000 V 1000 V - - -
Netzanschlussdaten              
Netzspannung (±10%) 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V 3x 360 V - 528 V - - -
Netzfrequenz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz - - -
Kommunikationsschnittstellen              
Analog/Digital Ja Ja Ja - - - -
RS 232 / RS 485 Ja Ja Ja - - - -
PROFIBUS Ja Ja Ja - - - -
EtherCAT Ja Ja Ja - - - -
DeviceNet Ja Ja Ja - - - -
Gehäuse              
Gewicht 45 kg 65 kg 65 kg - - - -
Schutzart IP 40 40 40 - - - -
Kühlungsanforderungen              
Kühlmedium Wasser Wasser Wasser - - - -
Max. Wasserdruck 7 bar 7 bar 7 bar - - - -
Min. Druckdifferenz 1,5 bar 1,5 bar 1,5 bar - - - -
Min. Durchflussmenge 4 l/min 8 l/min 8 l/min - - - -
Temperatur Kühlmedium 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C - - - -
DC Anschlussdaten              
Anzahl der Terminals 3 3 3 - - - -
Nennstrom / Terminal 35 A 53 A 53 A - - - -
Allgemein              
Gesamtwirkungsgrad 90 % 90 % 90 % - - - -
Zertifikate / Standards CE CE CE - - - -
Umgebungsbedingungen              
Außentemperatur 5 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C - - - -
Luftfeuchte 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % - - - -
Barometrischer Druck 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa - - - -
PDF <1MB
Technisches Datenblatt

Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

Arc-Management

Kostengünstige Alternative zu gepulsten Generatoren

Dank ihres zukunftsweisenden Arc-Managements bewähren sich die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) in vielen Sputter-Prozessen. Als kostengünstige Alternative zu gepulsten DC-Generatoren bieten sie zugleich einen deutlich erhöhten Produktionsertrag.

Bieten bisher unerreichte Wirtschaftlichkeit: Generatoren der TruPlasma VHF Serie 3000

Kompakte Alternative bei höheren Leistungen

Trotz ihrer sehr kompakten Bauweise übertreffen die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) auch deutlich größere Generatoren hinsichtlich Schichtqualität und Produktivität. Selbst bei großen Ausgangsleistungen von mehr als 60 kW stellen sie somit eine kompakte und entsprechend einfach integrierbare Alternative dar.

Gleichstrom-Generator mit vollständiger Wasserkühlung

Wasserkühlung für längere Systemlaufzeiten

Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) sind mit einer vollständigen Wasserkühlung ausgestattet. Im Vergleich zu Geräten mit Luftkühlung ermöglicht diese eine höhere Systemlaufzeit, senkt zugleich den Wartungsaufwand und verhindert Verschmutzungen durch eingezogene Staubpartikel.

Verschiedene Optionen ermöglichen eine optimale Anpassung des Gleichstrom-Generators an Ihre Anwendung.

Paralleler Betrieb und Synchronisation

Mehrere Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) können synchron betrieben werden. Dieser Modus ermöglicht die Synchronisierung der Arc-Erkennung mehrerer Generatoren, die auf unterschiedliche Targets ausgerichtet sind. Auch der Puls Modus ist synchronisierbar. Wird eine große Ausgangsleistung benötigt ist auch eine Parallel-Schaltung von bis zu 5 Generatoren des TruPlasma DC 3030 möglich. Diese funktionieren als Einheit TruPlasma DC 3150.

Wasserventil-Steuerung

Die Wasserventil-Steuerung reguliert den Kühlwasserdurchlauf um Kondensation zu vermeiden und gleichzeitig den Generator vor Überhitzung zu schützen.

Für alle Fälle gerüstet

EtherCAT-, sowie EtherNET/IP-Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma DC Serie 3000 (G2) in bestehende Anlagen.

Bedienungsfreundliche Software PVD Power

PVD Power

Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
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