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Technologiebild RF Plasmageneratoren

HF Plasmageneratoren

TruPlasma HF-Generatoren von TRUMPF Hüttinger bieten die höchste Prozessstabilität aller Stromversorgungen für die Plasmaanregung. Die HF-Technologie eignet sich daher besonders für Prozesse, bei denen es auf höchste Präzision und Reproduzierbarkeit ankommt. Auch in puncto Energieeffizienz und Robustheit gehören unsere Hochfrequenzgeneratoren zu den Spitzenreitern auf dem Markt – sie sind daher für anspruchsvolle Anwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Mikrochips, Solarzellen oder Flachbildschirmen die erste Wahl.

TruPlasma RF Air Serie 1000

Der luftgekühlte HF-Generator TruPlasma RF 1001 Air liefert bis zu 1000 Watt hochgenaue, reproduzierbare HF-Energie mit extrem feiner Auflösung – in 100-mW-Schritten – und ist damit für unterschiedlichste Plasma-Anwendungen geeignet. Ob bei der Herstellung von Halbleitern, Solarzellen oder Displays – die patentierte TRUMPF Hüttinger Technology garantiert überall höchste Verfügbarkeit und beste Prozessergebnisse dank moderner Prozessfunktionen.

Hochfrequenzgenerator TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)

Die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) sind HF-Generatoren der neuesten Generation. Dank innovativer Funktionen wie der patentierten CombineLine-Kopplungstechnologie oder der Echtzeitmessung aller Prozessparameter ist eine sichere Stromversorgung auch in anspruchsvollen Plasmaprozessen garantiert – optimale Voraussetzungen für reproduzierbare Ergebnisse und hohe Produktivität.

Hochfrequenzgeneratoren TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Serie 3000

Die leistungsstarken HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 3000 zeichnen sich durch höchste Effizienz und Prozessstabilität aus. Sie eignen sich daher ideal für anspruchsvolle Plasmaprozesse, wie sie z.B. bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen oder Halbleitern zur Anwendung kommen. Genau auf den Generator abgestimmte Matchboxen zur Impedanzanpassung sorgen jederzeit für einen optimalen und stabilen Leistungstransfer vom Generator zum Plasma.

VHF Generator Serie 3000

TruPlasma VHF Serie 3000

Höchstleistung für Ihren Prozess: Die Generatoren der TruPlasma VHF Serie 3000 basieren auf einem innovativen Plattform-Konzept, das selbst anspruchsvollste Prozessanforderungen erfüllt. Der modulare und rein wassergekühlte Aufbau der VHF-Generatoren ermöglicht eine Skalierung der Ausgangsleistung auf bis zu 80 kW – und dies auf kleinstem Raum!

RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Für die optimale Führung eines Plasmaprozesses kommt es auf die exakte Anpassung der Ausgangsimpedanz des HF-Generators an. Dies leisten die Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) als Bindeglied zwischen Generator und Prozess. Auf diese Weise entsteht eine ganzheitliche Lösung für Ihre Prozessstromversorgung – das TRUMPF RF-System.

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