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RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Intelligentes Matching durch Echtzeitmessung

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    RF-Systemlösung aus einem Guss

    Die neuen Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) stellen die ideale Ergänzung zu HF-Generatoren von TRUMPF Hüttinger dar. Dank des intelligenten Matching-Algorithmus und der digitalen Steuerplattform zur Prozessüberwachung entsteht eine ganzheitliche Lösung, in der alle Komponenten optimal zusammenwirken – das TRUMPF RF-System.

    Intelligenter Matching-Algorithmus

    Schnelle, stabile und reproduzierbare Impedanzanpassung an 50 Ohm selbst in kritischen Prozessen.

    Optimales Zusammenspiel des Gesamtsystems

    Fortschrittliche Software und verbesserte Kommunikation zwischen Generator und Matchbox.

    Echtzeitmessung der HF-Leistung

    Schnelle Nachführung des Systems bei jeder Impedanzveränderung von Matchbox und Last.

    Geschlossener Regelkreislauf

    Optimale Überwachung der Prozessparameter sowie frühzeitige Arc-Erkennung.

    Benutzerfreundliche Prozesskontrolle

    Grafische Bedienoberfläche und effektive Tools (Smith-Diagramm, Echtzeit-Oszilloskop).

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität

    Herstellung von Halbleitern, Solarzellen und Flachbildschirmen

    Bei der Herstellung von Halbleitern, Solarzellen und Flachbildschirmen sind stabile Plasmaprozesse entscheidend. Im Verbund mit den TRUMPF Hüttinger HF-Generatoren bieten die Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) eine ganzheitliche Lösung für höchste Prozessstabilität und Produktivität.

    Unterstützen bei Hartsoffbeschichtungen: Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

    Aufbringung von Hartstoff- und Verschleißschutzschichten

    Durch Aufbringung funktioneller Schichten erhalten stark beanspruchte Werkstücke eine erhöhte mechanische Härte sowie eine bessere thermische und chemische Stabilität. Die Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) stellen im Zusammenspiel mit einem HF-Generator von TRUMPF Hüttinger eine perfekte Schichtqualität sicher.

    Ideal geeignet für großflächige Beschichtung: Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

    Abtragung und Beschichtung von Oberflächen

    Die Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) können in allen üblichen Plasmaprozessen zur Beschichtung oder Abtragung von Oberflächen eingesetzt werden – beispielsweise Plasmaätzen, reaktives Ionenätzen, ALD, PECVD, RF-Sputtering oder Fotolack-Plasmaveraschung. Im Zusammenspiel mit einem HF-Generator von TRUMPF Hüttinger werden dabei optimale Prozessergebnisse erzielt.

    RF Ausgang        
    Ausgangsleistung 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Nennleistung 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
    Ausgangsfrequenz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Netzanschlussdaten        
    Netzspannung (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V
    Netzfrequenz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Kommunikationsschnittstellen        
    Sync Schnittstellen Ja Ja Ja Ja
    Analog/Digital Ja Ja Ja Ja
    RS 232 / RS 485 Ja Ja Ja Ja
    PROFIBUS Ja Ja Ja Ja
    EtherCAT Ja Ja Ja Ja
    DeviceNet Nein Nein Nein Nein
    Gehäuse        
    Gewicht 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
    Schutzart IP 21 21 21 21
    Kühlungsanforderungen        
    Max. Wasserdruck - 6 bar 6 bar -
    Min. Druckdifferenz - 1,5 bar 1,5 bar -
    Min. Durchflussmenge - 3,5 l/min 5 l/min -
    Temperatur Kühlmedium - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
    Allgemein        
    Zertifikate / Standards CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
    Umgebungsbedingungen        
    Außentemperatur 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
    Luftfeuchte 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
    Barometrischer Druck 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
    PDF <1MB
    Technisches Datenblatt

    Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

    Garantiert stets die volle Leistungsabgabe des HF-Generators

    Perfekte Prozesskontrolle zu jeder Zeit

    Die Matchbox sorgt jederzeit für eine schnelle und direkte Impedanzanpassung an 50 Ohm – so ist stets die volle Leistungsabgabe des HF-Generators in den Prozess garantiert. Die nahtlose Kommunikation zwischen Matchbox und Generator ermöglicht eine optimale Prozessüberwachung und frühzeitige Arc-Erkennung.

    Bedienungsfreundliche Software TruControl Power

    Alle Parameter im Blick

    Die Echtzeitmessung der HF-Ein- und -Ausgangsleistung signalisiert dynamische Impedanzänderungen, Kühlungssensoren ermöglichen eine zuverlässige Vorhersage der Verlustleistung. Dank der grafischen Bediensoftware mit komplexen Darstellungsoptionen (Smith-Chart, Echtzeit-Oszilloskop) haben Sie alle relevanten Prozessparameter stets im Blick.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    Der SystemPort ermöglicht einen geschlossenen Regelkreislauf durch das Messen des RF-Signals direkt am Eingang und Ausgang der Matchbox. Dem RF-Generator stehen sämtliche Messwerte zur Verfügung. Somit können Prozessparameter besser überwacht, die Matchbox geschützt und eine frühzeitige Arc-Erkennung gewährleistet werden. Das komplette RF-System kann also über eine einzelne Generatorschnittstelle gesteuert werden.

    Verschiedene Optionen ermöglichen Ihnen die optimale Anpassung des TRUMPF RF-Systems an Ihre Anwendung.

    HF-Strommessung

    Hochgenaue AC Strommessung zur Detektion von Plasmaanomalien, platziert in der Matchbox nah am Prozess, direkt an der Kammer.

    Arc-Management

    Das durchdachte Arc-Management ist das ideale Modul für beste Plasmaprozesskontrolle. Eine gezielte Arc Erkennung garantiert die höchstmögliche Produktivität und schützt gleichzeitig das Produkt und die Anlage.

    Schnittstellen

    Als optionale Schnittstellen stehen Analog/Digital, PROFIBUS und EtherCAT zur Verfügung. Standard sind EtherNet, SystemPort und RS232/485.

    Bedienungsfreundliche Software TruControl Power

    TruControl Power

    Die anwenderfreundliche Steuerungssoftware TruControl Power ermöglicht eine komfortable Inbetriebnahme und sichere Überwachung des HF-Generators bzw. des gesamten TRUMPF RF-Systems im laufenden Prozess.

    Bedienungsfreundliche Software TruControl Power

    Grafische Bediensoftware

    Komplexe grafische Darstellungen ermöglichen eine umfassende Kontrolle aller relevanten Prozessparameter. Last- und Matchbox-Impedanz werden mittels eines Smith-Diagramms, die HF-Ein- und -Ausgangsleistung inklusive Frequenz- und Phasenlage mit Hilfe eines Echtzeit-Oszilloskops visualisiert.

    Das TRUMPF RF-System, bestehend aus HF-Generator und Matchbox, bildet ein perfekt aufeinander abgestimmtes Gesamtsystem für beste Prozessergebnisse.

    Bedienungsfreundliche Software TruControl Power
    Grafische Bediensoftware

    Komplexe grafische Darstellungen ermöglichen eine umfassende Kontrolle aller relevanten Prozessparameter. Last- und Matchbox-Impedanz werden mittels eines Smith-Diagramms, die HF-Ein- und -Ausgangsleistung inklusive Frequenz- und Phasenlage mit Hilfe eines Echtzeit-Oszilloskops visualisiert.

    Masteroszillator zur Stabilisierung kritischer synchroner Plasmaprozesse
    Masteroszillatoren

    Mittels Masteroszillatoren lassen sich kritische synchrone Plasmaprozesse stabilisieren und optimieren. Ein integrierter digitaler Frequenz- und Phasensynthesizer sorgt für eine hohe Frequenz- und Phasenstabilität und ermöglicht die Einstellung der Phasenlage mit sehr kleiner Schrittweite. Es stehen verschiedene Ausführung von Masteroszillatoren für die Frequenz 13,56 MHz sowie verschiedene Frequenzkombinationen zur Auswahl.

    HF-Umschalter zur Nutzung eines HF-Generators an flexiblen Plasmasystemen
    HF-Umschalter

    Ein HF-Umschalter erlaubt die Mehrfachnutzung eines HF-Generators an verschiedenen Plasma-Prozessstationen, beispielsweise zur Stromversorgung sequenzieller Prozesse oder an Systemen mit verschiedenen Einspeisepunkten. Es sind verschiedene HF-Umschalter in zwei Leistungsklassen sowie mit 2, 3 oder 4 Ausgängen verfügbar.

    Koaxialkabel zur Übertragung der spezifizierten Leistung
    Koaxialkabel

    Für die HF-Leistungsübertragung bietet TRUMPF Hüttinger Koaxialkabel an, die speziell für den Betrieb in 50-Ohm-Systemen ausgelegt sind.

    Generator und Matchbox: eine perfekt aufeinander abgestimmte Systemlösung

    Optimale Beherrschung des Plasmaprozesses

    Plasmaprozesse verhalten sich wie eine komplexe, variable Last, der die Stromversorgung durch den Generator kontinuierlich nachgeführt werden muss. Dies leisten aktive Anpassnetzwerke, sogenannte Matchboxen, die eine präzise Anpassung an die optimale Impedanz von 50 Ohm zu jeder Zeit sicherstellen. So entsteht eine perfekt aufeinander abgestimmte Systemlösung, das TRUMPF RF-System. Über diverse Schnittstellen, u.a. EtherCAT, können Sie den Generator und die Matchbox sehr einfach in Ihre bestehende Prozessumgebung integrieren und durch eine intelligente Generator-Matchboxverbindung, den sogenannten SystemPort, eine optimierte Systemlösung erzielen.

    Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

    Fußnoten
    • Die Kühlwassertemperatur muss den Taupunkt der Raumtemperatur überschreiten, um Kondensation zu vermeiden.

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    Kontakt

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Broschüre TruPlasma RF System
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