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MF Plasmageneratoren

MF-Plasmageneratoren

MF-Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger werden vor allem in Zweikathodensystemen eingesetzt, beispielsweise zum Dual-Magnetron-Sputtering. Dank ihrer hohen Ausgangsleistung und Prozessstabilität eignen sich Mittelfrequenzgeneratoren sowohl für die Großflächenbeschichtung von Architekturglas mit hohen Abscheideraten als auch für den Auftrag ultradünner, homogener Schichten auf Halbleitern oder Solarzellen. Dank ihrer herausragenden Präzision und Produktivität stellen unsere MF-Prozessstromversorgungen die ideale Lösung für zahlreiche Anwendungen in der Plasmaanregung dar.

Bipolar-Generator TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

Die Prozessstromversorgungen der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) sind hervorragend geeignet für anspruchsvolle Plasmaprozesse wie reaktives Sputtern, PVD und PECVD. Mit flexibel formbaren Ausgangssignalen und einem ausgefeilten Arc-Management liefern sie exzellente Ergebnisse bei der Herstellung von Halbleitern und Solarzellen, bei der Beschichtung von Architekturglas sowie bei der Aufbringung dekorativer und verschleißfester Schichten.

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Mit den MF-Generatoren der TruPlasma Serie MF 7000 (G2) haben Sie stets volle Kontrolle über Ihren Prozess – das Ergebnis sind herausragende Schichtqualitäten und höchste Produktivität auch bei anspruchsvollen, großflächigen Beschichtungsanwendungen. Mit Spitzenwirkungsgraden von über 90 % sind diese Stromversorgungen der neuesten Generation zugleich äußerst wirtschaftlich im Betrieb.

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