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Technologiebild DC Plasmagenerator

DC-Plasmageneratoren

DC-Plasmageneratoren von TRUMPF Hüttinger sind die Klassiker der Plasmaanregung. Sie werden überwiegend in Einkathodensystemen eingesetzt, unter anderem zur Aufbringung elektrisch leitfähiger Schichten auf Solarzellen und Halbleitern sowie zur Polarisierung von Substraten. Als kostengünstige Einstiegstechnologie in die Plasmaanregung sind Gleichstromgeneratoren heute in zahlreichen Anwendungen im Einsatz.

Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

Als neue Generation von Gleichstrom-Generatoren ist die TruPlasma DC Serie 3000 (G2) für eine Vielzahl von DC-Sputter-Prozessen geeignet. Dank ihres fortschrittlichen Arc-Managements und der integrierten Wasserkühlung sind die DC-Generatoren auch als kostengünstige Alternative zu gepulsten DC-Generatoren interessant. Die sehr kompakte Bauweise ermöglicht zudem eine einfache Integration in bestehende Anwendungen.

Gleichstrom-Generator für anspruchsvolle Plasmaprozesse: TruPlasma DC 3010

TruPlasma DC Serie 3000

Mit ihrem breiten Leistungsspektrum und der schnellen Arc-Erkennung bieten die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 die Gewähr für makellose Oberflächen und hohe Beschichtungsraten – auch in sehr anspruchsvollen DC-Sputter-Prozessen. Dank Luftkühlung besonders kompakt, lassen sich die Generatoren problemlos in jede Anlage integrieren.

Arc Generator der TruPlasma Arc Serie 3000

TruPlasma Arc Serie 3000

Die Generatoren der TruPlasma Arc Serie 3000 bestechen vor allem bei Hartstoff- und dekorativen Beschichtungen. Durch ihre kompakte Bauweise und die Luftkühlung wird eine optimale Ausnutzung wertvoller Nutzfläche gesichert und die Integration in neue oder vorhandene Systeme erleichtert.

Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management

TruPlasma Bias Serie 3000

Die TruPlasma Bias Serie 3000 ist eine vielseitige Gruppe modernster DC-Bias-Generatoren. Alle Geräte verfügen über zwei Arbeitsmodi, welche besonders optische und metallische Beschichtungsapplikationen unterstützen. Darüber hinaus passen sie für jede Anwendung mit vergleichbaren Anforderungen an Spannung und Strom.

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