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TruPlasma MW Serie 1000 / 3000 / 5000

Robuster Solid State Power Plasmagenerator für höchste Plasmadichten und Prozessanforderungen

Robuster und leistungsstarker Solid State Power Plasmagenerator für höchste Plasmadichten und Prozessanforderungen

Die Generatoren der TruPlasma MW Serie basieren auf der Solid State Technologie und erzielen eine deutlich höhere Frequenzgenauigkeit als Magnetron-basierte Mikrowellengeneratoren. Das innovative Plattform-Konzept kann höchste Plasmadichten und selbst sehr anspruchsvolle Prozessanforderungen effizient und wirtschaftlich realisieren. Der modulare Aufbau ermöglicht zudem eine genau Skalierung der Ausgangsleistung. Die Stromversorgung bleibt dabei jederzeit stabil, ohne jegliche Beeinträchtigung der Prozessqualität. In der Herstellung von Halbleitern, Solarzellen und Displays sorgt die TruPlasma MW Serie dank moderner Prozessfunktionen für beste Ergebnisse und höchste Zuverlässigkeit.

Genaue und schnelle Pulsformung

Ein innovatives Pulsing im Nanosekundenbereich ermöglicht beste Plasmaprozesskontrolle.

Smartes Auto Frequency Tuning

Automatische Frequenzanpassung garantiert ein optimales Prozessergebnis und eine hohe Reproduzierbarkeit.

Synchrone Phasen

In Mehrantennensystemen können verschiedene Generatoren phasensynchron betrieben und gepulst werden. Durch Variation der Phasenbezüge zwischen den einzelnen Generatoren lässt sich eine großflächige Plasmahomogenität erreichen.

Robustes Design

Verlassen Sie sich auf die Funktion des Generators – auch bei Fehlanpassung wird die Prozessqualität nicht beeinträchtigt.

Verlässliche Prozesskontrolle

Profitieren Sie von hochgenauer, digitaler Frequenzmodulation, die für reproduzierbare Prozessergebnisse, höchste Schichtqualität und Produktivität sorgt.

Kommunikation in Echtzeit mit mehreren Generatoren

Durch die digitale Schnittstelle EtherCat können Sie das Gerät sehr schnell innerhalb einer Millisekunde steuern. Dies ermöglicht eine präzise Plasmaverteilung.

Herstellung von Solarzellen

Im Bereich der Photovoltaik werden Plasmaprozesse wie Sputtern oder PECVD für den Materialauf- und abtrag eingesetzt. Die Generatoren der TruPlasma MW Serie lassen sich schnell an die verschiedenen Prozesse anpassen und garantieren hohe Produktivität sowie erstklassige Prozessergebnisse. Dank der präzisen Energiedosierung werden auch bei modernsten, anspruchsvollsten Anwendungen beste Ergebnisse erzielt. Dabei ermöglicht die hochpräzise Leistungsregelung beste Wafer-to-Wafer-Wiederholbarkeit.

Herstellung von Halbleitern

Plasmageneratoren kommen für verschiedenste Plasmaprozesse bei der Fertigung von Halbleitern zum Einsatz – vom Trockenätzen bis hin zum Zonenziehen bei der Herstellung von Silizium. Unsere TruPlasma MW Serie bietet eine optimierte Stromversorgungen für all diese Prozesse

Beschichtung von Flachbildschirmen

Bei der Beschichtung von Flachbildschirmen zeigen unsere Generatoren der TruPlasma MW ihre Stärke in Plasmaprozessen wie PECVD, ALD und RIE.

Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

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Nikolas Hunzinger
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