HF Plasmageneratoren
TruPlasma HF-Generatoren von TRUMPF Hüttinger bieten die höchste Prozessstabilität aller Stromversorgungen für die Plasmaanregung. Die HF-Technologie eignet sich daher besonders für Prozesse, bei denen es auf höchste Präzision und Reproduzierbarkeit ankommt. Auch in puncto Energieeffizienz und Robustheit gehören unsere Hochfrequenzgeneratoren zu den Spitzenreitern auf dem Markt – sie sind daher für anspruchsvolle Anwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Mikrochips, Solarzellen oder Flachbildschirmen die erste Wahl.
TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)
Die TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) sind HF-Generatoren der neuesten Generation. Dank innovativer Funktionen wie der patentierten CombineLine-Kopplungstechnologie oder der Echtzeitmessung aller Prozessparameter ist eine sichere Stromversorgung auch in anspruchsvollen Plasmaprozessen garantiert – optimale Voraussetzungen für reproduzierbare Ergebnisse und hohe Produktivität.
TruPlasma RF Serie 3000
Die leistungsstarken HF-Generatoren der TruPlasma RF Serie 3000 zeichnen sich durch höchste Effizienz und Prozessstabilität aus. Sie eignen sich daher ideal für anspruchsvolle Plasmaprozesse, wie sie z.B. bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen oder Halbleitern zur Anwendung kommen. Genau auf den Generator abgestimmte Matchboxen zur Impedanzanpassung sorgen jederzeit für einen optimalen und stabilen Leistungstransfer vom Generator zum Plasma.
TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)
Für die optimale Führung eines Plasmaprozesses kommt es auf die exakte Anpassung der Ausgangsimpedanz des HF-Generators an. Dies leisten die Matchboxen der TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) als Bindeglied zwischen Generator und Prozess. Auf diese Weise entsteht eine ganzheitliche Lösung für Ihre Prozessstromversorgung – das TRUMPF RF-System.
TruPlasma VHF Serie 3000
Höchstleistung für Ihren Prozess: Die Generatoren der TruPlasma VHF Serie 3000 basieren auf einem innovativen Plattform-Konzept, das selbst anspruchsvollste Prozessanforderungen erfüllt. Der modulare und rein wassergekühlte Aufbau der VHF-Generatoren ermöglicht eine Skalierung der Ausgangsleistung auf bis zu 80 kW – und dies auf kleinstem Raum!