
HF Plasmageneratoren
TruPlasma HF-Generatoren von TRUMPF Hüttinger bieten die höchste Prozessstabilität aller Stromversorgungen für die Plasmaanregung. Die HF-Technologie eignet sich daher besonders für Prozesse, bei denen es auf höchste Präzision und Reproduzierbarkeit ankommt. Auch in puncto Energieeffizienz und Robustheit gehören unsere Hochfrequenzgeneratoren zu den Spitzenreitern auf dem Markt – sie sind daher für anspruchsvolle Anwendungen wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen, Mikrochips, Solarzellen oder Flachbildschirmen die erste Wahl.