Für die Bereitstellung dieser Website nutzen wir Cookies. Wenn Sie diese Website weiterhin verwenden, ohne die Einstellungen für Cookies zu ändern, gehen wir davon aus, dass Sie mit der Verwendung von Cookies einverstanden sind.
TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Neu
TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Plasmaanregungen
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Serie 7000

Die Besten ihrer Klasse

    - / -
    • Überblick
    • Anwendungen
    • Technische Daten
    • Kundennutzen
    • Optionen
    • Software
    • Systemkomponenten
    • Mehr Weniger
    Volle Kontrolle über den Prozess

    Mit der TruPlasma Serie MF 7000 (G2) haben Sie Ihren Prozess jederzeit unter Kontrolle: Mit ihrem überlegenen Arc-Management und Zündverhalten eignen sich die Generatoren ideal als Stromversorgungen für großflächige Beschichtungen (Large Area Coating) und anspruchsvolle reaktive Prozesse beim Dual Magnetron Sputtering. Mit Spitzenwirkungsgraden von über 90 % sowie einem besonders effizienten Kühlwassermanagement sind sie zugleich äußerst wirtschaftlich im Betrieb.

    Höchste Schichtqualität und Produktivität

    Exzellente Ergebnisse und hohe Beschichtungsraten selbst in schwierigsten reaktiven Prozessen.

    Maximale Effizienz

    Mit Spitzenwirkungsgraden
    über 90 % werden Betriebswirkungsgrade über 80 % erreicht.

    Stabile Stromversorgung bei jedem Klima

    Zuverlässige Funktion auch bei hohen Kühlwassertemperaturen und niedrigen Differenzdrücken.

    Weltweit einsetzbar

    Variable Anschlussspannung, daher keine technischen Anpassungen erforderlich.

    MF-Stromversorgung der Spitzenklasse ideal für Großflächenbeschichtung

    MF-Stromversorgung der Spitzenklasse

    Großflächenbeschichtung (Large Area Coating) von Architekturglas: Anspruchsvolle Materialien wie SiOx stellen höchste Ansprüche an die Stabilität der Stromversorgung.

    MF-Stromversorgung der Spitzenklasse zur Beschichtung von Flachbildschirmen

    Aufbringung dünnster Schichten

    Beschichtung von Flachbildschirmen und Touch Panels: Mittels Dual Magnetron Sputtering werden dünnste (nm), hochfeste und homogene AlxOx Schichten aufgebracht.

    Mittelfrequenzgenerator der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) zum Auftragen ultradünner Schichten

    Solarzellenherstellung

    Beschichtung von Solarglas: Die stabile Stromversorgung der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) ermöglicht die homogene Aufbringung dünnster TCO-Schichten mittels MF- Sputtering.

    Ausgang                    
    Nennleistung 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
    Maximaler Ausgangsstrom 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
    Maximale Ausgangsspannung 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
    Nennbetriebsfrequenz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
    Arc-Parameter                    
    Maximale Arc-Rate 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
    Arc Energie 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
    Arc-Behandlungszeit 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
    Zündspannungen                    
    mit Zündhilfe 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
    ohne Zündhilfe 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
    Netzanschlussdaten                    
    Netzspannung (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
    Netzfrequenz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Netzaufnahmeleistung 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
    Leistungsfaktor 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
    Gehäuse                    
    Gewicht 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
    Schutzart IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
    Kühlungsanforderungen                    
    Kühlmedium Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser Wasser
    Max. Wasserdruck 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
    Min. Druckdifferenz 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Min. Durchflussmenge 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
    Temperatur Kühlmedium 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    Allgemein                    
    Gesamtwirkungsgrad 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
    Zertifikate / Standards CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
    Umgebungsbedingungen                    
    Außentemperatur 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    PDF <1MB
    Technisches Datenblatt

    Die technischen Daten aller Produktvarianten als Download.

    Die Generatoren TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantieren höchste Effizienz

    Höchste Wirtschaftlichkeit und Flexibilität

    Die hohen Betriebswirkungsgrade und das flexible Kühlungskonzept der TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantieren höchste Wirtschaftlichkeit über die gesamte Lebensdauer. Auch unter schwierigen Klima- und Installationsbedingungen bleibt die Stromversorgung jederzeit stabil – hohe Kühlwassertemperaturen, geringer Wasserdruck und hohe Luftfeuchtigkeiten beeinträchtigen die Prozessqualität nicht. Dank seines breiten Betriebsspannungsbereichs können Sie den MF-Generator ohne technische Anpassungen weltweit einsetzen.

    Mittelfrequenzgenerator der TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

    Präzise Steuerung des Prozesses

    Mit nur wenigen Parametereinstellungen können Sie die Schichtqualität und Produktivität präzise steuern. So finden Sie die optimale Balance zwischen der Empfindlichkeit der Arc-Behandlung und dem gewünschten Durchsatz. Außerdem gewährleisten eine Vielzahl von Schnittstellen und die komfortable Bediensoftware TruControl Power eine effektive Konfiguration und Diagnose.

    Arc-Management

    Überlegenes Arc-Management

    Hohe Reaktionsgeschwindigkeiten und entsprechend reduzierte Restenergien sorgen für stabile Prozesse und höchste Sputterraten. Arc-Bildung und thermischer Stress an den Targets erkennt und verhindert der Generator zuverlässig – das Ergebnis sind absolut homogene Schichten über die gesamte Substratfläche. Außerdem erlaubt das schnelle und zuverlässige Arc-Management einen problemlosen Betrieb des Generators im spannungsgeregelten Übergangsbereich (transition mode).

    Für die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) sind umfangreiche Optionen verfügbar, mit denen Sie den MF-Generator an die Anforderungen Ihrer Anwendung anpassen können.

    Erweiterter Frequenzbereich

    Die MF-Generatoren bis 100 kW Leistung sind optional mit einem erweiterten Frequenzbereich von 20 - 70 kHz verfügbar (Standard ist 20 - 50 kHz).

    Zündhilfe

    Hierdurch werden Arc-Bildung und thermischer Stress reduziert. Zündspannung und Rampenzeit sind individuell regelbar.

    Ultraschnelles Arc-Management

    Die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) kann mit einem besonders empfindlichen Arc-Management ausgestattet werden (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, Standard ist ≤ 10 mJ/kW). Für das UltraFastTreatment ist Sicherheitskategorie 3 erforderlich.

    Für alle Fälle gerüstet

    Profinet, Profibus, EtherCAT sowie analoge und digitale Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma MF Serie 7000 in bestehende Anlagen.

    Schaltschranktür

    Die Schaltschranktür ist wahlweise mit einem besonders weiten Öffnungswinkel von 180° erhältlich (Standard ist 130 °C).

    Aktive Schaltschrankentfeuchtung

    Für Umgebungen mit sehr hoher Luftfeuchtigkeit kann der Generator-Schaltschrank mit einer aktiven Entfeuchtungseinheit ausgestattet werden. Für deren Betrieb ist eine Kühlwasserregelung erforderlich.

    Bedienungsfreundliche Software TruControl Power

    TruControl Power

    Die anwendungsfreundliche, mehrsprachige Steuerungssoftware TruControl Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose.

    Durch Auswahl geeigneter Systemkomponenten können Sie den TruPlasma MF Serie 7000 (G2) bestmöglich an Ihre Systemumgebung anpassen.

    MF-Leistungskabel
    MF-Leistungskabel

    Für die TruPlasma MF Serie 7000 (G2) erhalten Sie optimierte TRUMPF Hüttinger MF-Leistungskabel. Diese sichern jederzeit die optimale Systemleistung.

    Je nach Land sind Abweichungen von diesem Produktsortiment und von diesen Angaben möglich. Änderungen in Technik, Ausstattung, Preis und Zubehörangebot sind vorbehalten. Bitte setzen Sie sich mit Ihrem Ansprechpartner vor Ort in Verbindung, um zu erfahren, ob das Produkt in Ihrem Land verfügbar ist.

    Diese Themen könnten Sie auch interessieren

    Power Electronics for Plasma Engineering Conference
    Power Electronics for Plasma Engineering Conference

    Die PE² (Power Electronics for Plasma Engineering Conference) bietet Ihnen Ideen und Anregungen für Ihren persönlichen Vorsprung. Registrieren Sie sich jetzt!

    Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
    Test- und Qualifikationszentrum

    In unserem Test- und Qualifikationszentrum (TQZ) sorgen erfahrene Applikationsingenieure jeden Tag dafür, dass sich die Qualität der Produkte kontinuierlich optimiert.

    Services_Electronics_Technical_Support_Serviceman
    Rund um die Uhr für Sie erreichbar

    Unsere 24h Servicehotline ermöglicht Ihnen die Erreichbarkeit eines kompetenten Servicetechnikers - sieben Tage die Woche, rund um die Uhr.

    Kontakt

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-Mail

    Downloads

    Broschüre TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
    pdf - 831 KB
    Whitepaper Spannungsgeregelter "Transition Mode"
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Arc-Management
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Sinus oder Rechteck
    pdf - 949 KB
    Service & Kontakt