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Gleichstrom-Generator für anspruchsvolle Plasmaprozesse: TruPlasma DC 3010
Gleichstrom-Generator für anspruchsvolle Plasmaprozesse: TruPlasma DC 3010
Plasma excitation
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 3000

Kompakt und zuverlässig

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    Gleichstrom-Generatoren für anspruchsvolle Plasmaprozesse

    Mit ihrem breiten Leistungsspektrum und der schnellen Arc-Erkennung bieten die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 die Gewähr für makellose Oberflächen und hohe Beschichtungsraten – auch in besonders anspruchsvollen DC-Sputter-Prozessen mit kritischen Materialien. Dank Luftkühlung sind sie besonders kompakt und lassen sich somit problemlos in jede Anlage integrieren.

    Breites Leistungsspektrum

    Von 2 kW bis 120 kW, somit für eine große Vielfalt von Prozessen und Anwendungen geeignet.

    Kompakte und robuste Bauweise

    Die DC-Generatoren bieten viel Leistung auf wenig Raum, sind langlebig und wenig störanfällig.

    Verzögerungsfreie Arc-Erkennung

    Ermöglicht Aufbringung sehr dünner und absolut homogener Schichten.

    Einfache Systemintegration

    Auch in bestehende Anlagen dank verschiedener Datenschnittstellen.

    Typisches Einsatzgebiet der TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): Herstellung von verschleißfesten Schichten

    Hartstoffbeschichtung

    Durch Aufbringung funktioneller Schichten mittels DC-Magnetron-Sputtern erhalten stark beanspruchte Werkstücke eine erhöhte Randhärte und Haftreibung sowie eine bessere thermische und chemische Stabilität. Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 bieten die Gewähr für eine optimale Schichtqualität.

    Gleichstrom-Generator TruPlasma DC 3010

    Metallisierung

    Mittels eines PVD-Prozesses lassen sich hauchdünne Metallschichten auf verschiedene Materialien aufbringen, um diesen bestmögliche optische und elektrische Eigenschaften zu verleihen. Eine optimal an die Prozessparameter angepasste Stromversorgung ermöglicht die Abscheidung absolut homogener, defektfreier Schichten.

    Solarzellenherstellung

    Solarzellenherstellung

    Zur Beeinflussung ihrer elektrischen Eigenschaften werden Solarzellen, aber auch Flachbildschirme und Touchscreens, mit elektrisch leitfähigen Materialien (TCO) beschichtet. Aufgrund ihrer geringen Arc-Restenergie sind die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 hierfür bestens geeignet.

    Architekturglas

    Architekturglas

    Die großflächige Beschichtung von Architekturglas in einem DC-Sputterprozess stellt eine besonders hohe Anforderung an die Prozessstromversorgung. Die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 bieten ideale Voraussetzungen für ein hochwertiges Beschichtungsergebnis.

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung

    Bestens geeignet für anspruchsvolle Plasmaprozesse

    Dank ihres schnellen Arc-Managements mit geringer Restenergie sind die Gleichstrom-Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 die richtige Wahl für Beschichtungen mittels DC-Sputtering. Sie beherrschen auch anspruchsvolle Prozesse souverän und ermöglichen so die Aufbringung sehr dünner und absolut homogener Schichten.

    Solarzellenherstellung

    Hohe Produktivität auch bei kritischen Materialien

    Auch beim DC-Sputtern kritischer Materialien werden hohe Beschichtungsraten erreicht. So optimieren Sie Ihre Produktivität bei der Beschichtung von Solarzellen, Architekturglas sowie bei der Aufbringung von Hartstoff-, dekorativen und optischen Schichten.

    Gleichstrom-Generator für anspruchsvolle Plasmaprozesse: TruPlasma DC 3010

    Minimale Stör- und Wartungsanfälligkeit

    Die Gleichstrom-Generatoren sind für den rauen, industriellen Betrieb ausgelegt und ermöglichen lange Laufzeiten ohne Störungen und Wartungspausen. Die luftgekühlten Geräte sind zudem sehr kompakt und benötigen nur wenig Platz in Ihrer Anlage.

    Verschiedene Optionen ermöglichen eine optimale Anpassung des Gleichstrom-Generators an Ihre Anwendung.

    1500-V-Zündhilfe

    Die TruPlasma DC Serie 3000 ist mit einer Zündhilfe ausgestattet, die Plasmazündungen bei Anwendungen mit hohem Spannungsbedarf bis zu 1500 V unterstützt.

    Schnelles Arc-Management

    Die TruPlasma DC Serie 3000 bietet ein schnelles Arc-Management mit 8000 Arcs/s.

    Kommunikations-Schnittstellen

    Analoge und digitale Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma DC Serie 3000 in bestehende Anlagen.

    Anwenderfreundliche Software PVD Power

    PVD Power

    Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

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