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Gepulster Generator der TruPlasma DC Serie 4000
Gepulster Generator der TruPlasma DC Serie 4000
Plasma excitation
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 4000

Glasklar: Gepulste Prozesse für einwandfreie Oberflächen

Die erste Wahl für anspruchsvolle Plasmaprozesse

Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 sind die erste Wahl für anspruchsvolle Plasmaprozesse. Über einen breiten Lastanpassungsbereich liefern sie volle Leistung. Somit qualifizieren sie sich für High-Tech Sputter-Anwendungen sowie zusätzliche Standard- oder gepulste DC-Plasmaanwendungen. Sie verfügen wie auch die nicht-gepulsten Generatoren über ein hervorragendes Arc-Management.

Stabile Prozesse für konsistente Ergebnisse

Dank modernster DSP-Regelungstechnik werden Arc-bedingte Zeitverluste minimiert.

Exzellentes Arc-Management

Bessere Ergebnisse, da weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen.

Ein Generator für viele Prozesse

Flexibler Einsatz dank breitem Leistungsbereich und Pulsfrequenzen von bis zu 100 kHz.

Gepulster Generator der TruPlasma DC Serie 4000

Reaktives Sputtern von schwierigen Materialien

Die gepulsten Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 wurden speziell für das reaktive Sputtern von schwierigen Materialien entwickelt. Die Generatoren bewähren sich in allen kritischen PVD- und PECVD-Prozessen, zum Beispiel bei der Herstellung von Solarzellen und Halbleitern oder bei Hartstoffbeschichtungen.

Ideal zur Beschichtung von Metallwerkstücken

Anspruchsvolle Plasmaprozesse

Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 sind die erste Wahl für anspruchsvolle Plasmaprozesse. Über einen breiten Lastanpassungsbereich liefern sie volle Leistung. Somit qualifizieren sie sich für High-Tech Sputter-Anwendungen sowie zusätzliche Standard- oder gepulste DC-Plasmaanwendungen. Sie verfügen wie auch die nicht-gepulsten Generatoren über ein hervorragendes Arc-Management.

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Arc-Management

Hohe Effizienz

Das volldigitale Arc-Management mit sehr geringer Arc-Energie ermöglicht hohe Schichtqualitäten und Abscheideraten. Dadurch finden noch weniger Tröpfchenabscheidungen und Substratschädigungen statt. Zusammen mit der sehr geringen Arc-Restenergie verbessert dies direkt Prozess und Endprodukt. Eine hohe Produktivität wird durch stabile und konstante Prozesslaufzeiten mit sehr kurzen Prozessunterbrechungen gesichert.

Gepulster Generator der TruPlasma DC Serie 4000

Benutzerfreundliche Prozessanpassung

Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 4000 verfügen über synchronisiertes Arc-Management, Pulsfrequenz und Phasenverschiebung. Die Frequenz- und Pulsparameter sind variabel anpassbar, somit kann eine Vielzahl an Prozessen mit einem Gerät bedient werden. Auch ist synchrones Pulsen mit mehreren TruPlasma DC 4000 Generatoren möglich.

Bedienungsfreundliche Software PVD Power

PVD Power

Die bedienungsfreundliche, mehrsprachige Software PVD Power bietet Ihnen vielfältige Möglichkeiten der Bedienung, Konfiguration und Diagnose zur Optimierung der Prozessqualität und effektiven Fehlerbehebung: Anzeige von Ist-Werten aller relevanten Prozessparameter sowie von Warnungen und Alarmmeldungen, Vorgabe von Soll-Werten durch den Bediener und Aufzeichnung und Visualisierung wichtiger Betriebsparameter mit hoher zeitlicher Auflösung (Oszilloskop-Funktion).

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