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Technologiebild RF Plasmageneratoren

Generadores de plasma HF

Los generadores HF TruPlasma de TRUMPF Hüttinger le ofrecen la máxima estabilidad de proceso de todos los sistemas de alimentación eléctrica para la excitación plasmática. Por ello, la tecnología HF es especialmente apta para los procesos en los que son fundamentales la máxima precisión y reproducibilidad. En lo que respecta a su eficiencia energética y robustez, nuestros generadores de alta frecuencia son unos de los líderes del mercado - por ello, son la primera elección para aplicaciones complejas tales como la fabricación de elementos de semiconductores, microchips, células solares o pantallas planas.

Generador de alta frecuencia TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)

Las TruPlasma RF Series 1000 / 3000 (G2/13) son generadores de AF de última generación. Gracias a innovadoras funciones como la tecnología de acoplamiento patentada CombineLine o la medición a tiempo real de todos los parámetros de proceso, se garantiza una alimentación eléctrica segura incluso en exigentes procesos de plasma; requisitos óptimos para obtener resultados reproducibles y una productividad elevada.

Generadores de alta frecuencia TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Serie 3000

Los potentes generadores de AF de la TruPlasma RF Serie 3000 se distinguen por la máxima eficiencia y estabilidad del proceso. Por ello son ideales para procesos de plasma exigentes, como los que se emplean, por ejemplo, para la fabricación de pantallas planas, células solares o semiconductores. Las matchboxes precisamente armonizadas con el generador para la adaptación de la impedancia proporcionan en todo momento una transferencia de potencia estable y óptima, del generador al plasma.

Solución de sistema RF: matchbox para la mayor estabilidad de proceso

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

El desarrollo óptimo de un proceso de plasma depende de la adaptación exacta de la impedancia de salida del generador de AF. Esta la proporcionan las matchboxes de la TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) como vínculo entre el generador y el proceso. De este modo surge una solución integral para la alimentación eléctrica de su proceso: el sistema TRUMPF RF.

Generador VHF Serie 3000

TruPlasma VHF Serie 3000

Alto rendimiento para su proceso: los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 se basan en un concepto innovador de plataforma que cumple hasta los más exigentes requisitos del proceso. La estructura modular y refrigerada completamente por agua de los generadores VHF permite una escalada de la potencia de salida hasta los 80 kW, ¡y esto en un espacio mínimo!

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