Generadores de plasma MF
Los generadores de plasma MF de TRUMPF Hüttinger se utilizan sobre todo en los sistemas de doble cátodo como, por ejemplo, en la pulverización catódica dual por magnetrón. Gracias a su alta potencia de salida y estabilidad de proceso, los generadores de frecuencia media son aptos para efectuar revestimientos de grandes superficies de vidrio para arquitectura con altas tasas de separación y también para aplicar capas homogéneas ultrafinas en semiconductores o células solares. Gracias a su excelente precisión y productividad, nuestros sistemas de alimentación eléctrica para procesos MF son la solución ideal para numerosas aplicaciones de excitación plasmática.
TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Las alimentaciones eléctricas de proceso de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) se adaptan excelentemente a procesos de plasma exigentes como pulverización reactiva, PVD y PECVD. Con señales de salida configurables de forma flexible y una sofisticada gestión de arco, proporcionan resultados excelentes en la fabricación de semiconductores y células solares, en el recubrimiento de vidrio arquitectónico y en la aplicación de capas decorativas y resistentes al desgaste.
TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Las alimentaciones eléctricas de proceso de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) se adaptan excelentemente a procesos de plasma exigentes como pulverización reactiva, PVD y PECVD. Con señales de salida configurables de forma flexible y una sofisticada gestión de arco, proporcionan resultados excelentes en la fabricación de semiconductores y células solares, en el recubrimiento de vidrio arquitectónico y en la aplicación de capas decorativas y resistentes al desgaste.
TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Con los generadores de frecuencia media de la TruPlasma Serie MF 7000 (G2) siempre tiene el control completo de su proceso; como resultado, extraordinarias calidades de capa y máxima productividad, incluso con exigentes aplicaciones de recubrimiento de grandes superficies. Con un pico de eficiencia superior al 90 %, estas alimentaciones eléctricas de la última generación permiten al mismo tiempo un funcionamiento sumamente rentable.