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Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

Máximo rendimiento mediante onda flexible

Tecnología Bipolar para exigencias máximas

Las alimentaciones eléctricas de proceso de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) han sido desarrolladas especialmente para el recubrimiento asistido por plasma mediante procesos PVD, PECVD y de pulverización catódica reactiva. Gracias a su señal de salida configurable de forma flexible y a la sofisticada gestión de arco, estos generadores de impulsos bipolares de última generación permiten una aplicación muy versátil. Ya sea en la fabricación de semiconductores y células solares o en el recubrimiento de vidrio arquitectónico, le ofrecen un rendimiento máximo en cuanto a calidades de capa y velocidades de recubrimiento.

Energía de arco sumamente reducida

Gestión de arco completamente digital para una calidad de capa y una productividad máximas.

Formas de onda ajustables

Adaptación sencilla a distintos procesos gracias a la variación de la señal de salida.

Un generador, muchas aplicaciones

CC, CC por impulsos y bipolar: ahorro de costes gracias a las variadas opciones de ajuste.

Refrigeración por agua integrada

Sin necesidad de componentes externos, por lo que ocupa muy poco espacio.

El ámbito de aplicación típico de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricación de capas resistentes al desgaste

Excelente alimentación eléctrica

Sus ámbitos de aplicación típicos son la producción de semiconductores y fotovoltaica, el recubrimiento de vidrio arquitectónico así como la obtención de capas decorativas y resistentes al desgaste de máxima calidad. Para ello se utilizan principalmente procesos PVD y PECVD.

Salida          
Potencia nominal 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Corriente de salida máxima 25 A ef 50 A ef 75 A ef 100 A ef 150 A ef
Tensión de salida máxima 1000 V ef 1000 V ef 1000 V ef 1000 V ef 1000 V ef
Frecuencia nominal de servicio 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Parámetros de arco          
Tasa máxima del arco 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arco energía 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
Tensiones de encendido          
con ayuda de encendido 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Datos de conexión de red          
Tensión de red 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Frecuencia de la red 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Factor de potencia 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Interfaces de comunicación          
Analógico/digital
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
-
DeviceNet
-
Carcasa          
Anchura 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Altura 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Profundidad 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Peso 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Tipo de protección IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Requisitos de refrigeración          
Refrigerante Agua Agua Agua Agua Agua
Presión máx. del agua 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Diferencia mín. de presión 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Caudal mínimo 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Temperatura del refrigerante 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
General          
Grado de rendimiento total 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Condiciones del entorno          
Temperatura exterior 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Humedad del aire 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Presión barométrica 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Ficha de datos técnicos

Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Gestión de arco

Capas perfectas, alta productividad

La gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilita calidades de capa y tasas de deposición elevadas. Incluso en procesos reactivos exigentes, la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) garantiza en todo momento una alimentación eléctrica del proceso uniforme y, por consiguiente, un estado de plasma estable.

Versátiles en su aplicación gracias a la selección flexible de la señal de salida

Mayor flexibilidad, costes reducidos

Las formas de onda ajustables le permiten adaptar muy fácilmente los generadores de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) a diversos requisitos de proceso. Gracias a la selección flexible de la señal de salida (CC, CC por impulsos o bipolar), son versátiles en su aplicación y ayudan así a reducir sus costes de servicio totales (TCO).

Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4060

Todo en una sola carcasa

Gracias a la refrigeración por agua completamente integrada en la carcasa del generador, protegida contra las influencias ambientales, no se requieren componentes externos.

Software de fácil manejo para el usuario PVD Power

PVD Power

El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como de las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario, y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).

Puede seleccionar distintos componentes del sistema para adaptar de forma óptima el generador de impulsos bipolar a su entorno del sistema.

Vista trasera de un generador de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Cable de red

Hay disponibles diversos modelos de cable y clavija para la adaptación a diferentes estándares de conexión.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

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Contacto

Klaus Nock
Ventas de plasma
Fax +49 761 89711150
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Folleto TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Folleto TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
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