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TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
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TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

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    Control total del proceso

    Con la TruPlasma Serie MF 7000 (G2) tendrá su proceso siempre bajo control: gracias a su inigualable gestión de arco y a su comportamiento de encendido, los generadores son ideales como alimentación eléctrica para recubrimientos de gran superficie (Large Area Coating) y procesos reactivos exigentes en la pulverización catódica por doble magnetrón. Con un pico de eficiencia superior al 90 %, así como una gestión especialmente eficiente del agua refrigerante, al mismo tiempo permiten un funcionamiento sumamente rentable.

    Calidad de capa y productividad máximas

    Resultados excelentes y altas tasas de recubrimiento incluso en los procesos reactivos más más exigentes.

    Máxima eficiencia

    Con un pico de eficiencia
    superior al 90 %, se alcanzan grados de rendimiento en funcionamiento de más del 80 %.

    Alimentación eléctrica estable en todas las condiciones ambientales

    Función fiable incluso con altas temperaturas del agua de refrigeración y bajas presiones diferenciales.

    Utilizables en todo el mundo

    Tensión de conexión variable, por lo que no son necesarias adaptaciones técnicas.

    Excelente alimentación eléctrica de frecuencia media, ideal para el recubrimiento de grandes superficies

    Excelente alimentación eléctrica de frecuencia media

    Recubrimiento de gran superficie (Large Area Coating) de vidrio arquitectónico: materiales exigentes como el SiOx plantean requisitos muy elevados a la estabilidad de la alimentación eléctrica.

    Excelente alimentación eléctrica de frecuencia media para para el recubrimiento de pantallas planas

    Aplicación de las capas más finas

    Recubrimiento de pantallas planas y paneles táctiles: mediante la pulverización catódica por doble magnetrón se aplican capas de AlxOx extremadamente finas (nm), resistentes y homogéneas.

    Generador de frecuencia media de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) para pedidos de piezas de capas ultrafinas

    Fabricación de células solares

    Recubrimiento de vidrio solar: la alimentación eléctrica estable del TruPlasma MF Serie 7000 (G2) posibilita la aplicación homogénea de capas de TCO extremadamente finas mediante pulverización catódica por frecuencia media.

    Salida                    
    Potencia nominal 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
    Corriente de salida máxima 110 A ef 200 A ef 225 A ef 300 A ef 350 A ef 110 A ef 200 A ef 225 A ef 300 A ef 350 A ef
    Tensión de salida máxima 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef 1100 V ef
    Frecuencia nominal de servicio 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
    Parámetros de arco                    
    Tasa máxima del arco 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
    Arco energía 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
    Tiempo de tratamiento arco 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
    Tensiones de encendido                    
    con ayuda de encendido 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
    sin ayuda de encendido 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
    Datos de conexión de red                    
    Tensión de red (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
    Frecuencia de la red 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Potencia de red del portaútiles 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
    Factor de potencia 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
    Carcasa                    
    Peso 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
    Tipo de protección IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
    Requisitos de refrigeración                    
    Refrigerante Agua Agua Agua Agua Agua Agua Agua Agua Agua Agua
    Presión máx. del agua 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
    Diferencia mín. de presión 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Caudal mínimo 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
    Temperatura del refrigerante 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    General                    
    Grado de rendimiento total 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
    Certificados/estándares CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC
    Condiciones del entorno                    
    Temperatura exterior 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    PDF <1MB
    Ficha de datos técnicos

    Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

    Los generadores TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantizan la máxima eficiencia

    Rentabilidad y flexibilidad máximas

    Los altos grados de rendimiento en funcionamiento y el concepto de refrigeración flexible de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantizan la máxima rentabilidad a lo largo de toda la vida útil. La alimentación eléctrica se mantiene estable en todo momento, incluso en condiciones ambientales y de instalación difíciles: las temperaturas elevadas del agua de refrigeración, la presión del agua baja y la humedad del aire elevada no merman la calidad del proceso. Gracias a su amplio margen de tensión de servicio, puede utilizar el generador de frecuencia media en todo el mundo sin adaptaciones técnicas.

    Generador de frecuencia media de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

    Control preciso del proceso

    Mediante unos pocos ajustes de parámetros puede controlar con precisión la calidad de capa y la productividad. De este modo hallará el equilibrio óptimo entre la sensibilidad del tratamiento por arco y el rendimiento deseado. Además, el gran número de interfaces y el cómodo software de mando TruControl Power garantizan una configuración y un diagnóstico efectivos.

    Gestión de arco

    Gestión de arco superior

    Las elevadas velocidades de reacción y la consiguiente reducción de las energías residuales garantizan unos procesos estables y unas velocidades de pulverización catódica máximas. El generador detecta e impide de forma fiable la formación del arco y la fatiga térmica en los objetivos; el resultado son unas capas absolutamente homogéneas en toda la superficie del sustrato. Además, la gestión de arco rápida y fiable permite el correcto funcionamiento del generador en la zona de transición regulada por tensión (transition mode).

    Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) están disponibles múltiples opciones que le permiten adaptar el generador de frecuencia media a los requisitos de su aplicación.

    Margen de frecuencia ampliado

    Los generadores de frecuencia media con una potencia de hasta 100 kW están disponibles opcionalmente con un margen de frecuencia ampliado de 20 - 70 kHz (el estándar es 20 - 50 kHz).

    Ayuda de encendido

    Reduce la formación de arco y la fatiga térmica. La tensión de encendido y el tiempo de rampa son regulables de forma individual.

    Gestión de arco ultrarrápida

    La TruPlasma MF Serie 7000 (G2) puede ser equipada con una gestión de arco especialmente sensible (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, el estándar es ≤ 10 mJ/kW). Para el UltraFastTreatment se requiere la categoría de seguridad 3.

    Preparado para todos los casos

    El Profinet, el Profibus, el EtherCAT y las interfaces analógicas y digitales permiten una conexión sencilla de la TruPlasma MF Serie 7000 a las instalaciones existentes.

    Puerta del armario de distribución

    La puerta del armario de distribución está disponible opcionalmente con un ángulo de apertura de 180° (el estándar es de 130°C).

    Deshumidificación activa del armario de distribución

    Para entornos con una humedad del aire muy elevada, el armario de distribución del generador puede equiparse con una unidad de deshumidificación activa. Para su funcionamiento es necesaria una regulación del agua de refrigeración.

    Software de manejo sencillo TruControl Power

    TruControl Power

    El software de mando multilingüe de fácil manejo TruControl Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico.

    Puede seleccionar los componentes del sistema adecuados para adaptar de forma óptima el TruPlasma MF Serie 7000 (G2) a su entorno del sistema.

    Cables de potencia para frecuencia media
    Cables de potencia para frecuencia media

    Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) recibirá cables de potencia para frecuencia media optimizados de TRUMPF Hüttinger. Estos garantizan el rendimiento óptimo del sistema en todo momento.

    Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

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    Contacto

    Klaus Nock
    Ventas de plasma
    Fax: +49 761 89711150
    Correo electrónico

    Descargas

    Folleto TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
    Folleto TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
    pdf - 1 MB
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