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Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Generadores de plasma DC

Los generadores de plasma por impulsos CC de TRUMPF Hüttinger son perfectos para uso en gran cantidad de procesos reactivos. La corriente continua pulsada también permite, a diferencia de los generadores sencillos de corriente continua, mecanizar materiales semiconductores y no conductores como, por ejemplo, los óxidos. Algunas aplicaciones frecuentes de los generadores por impulsos son el recubrimiento de materiales duros, así como los procesos de grabado químico y de aplicación de capas en la fabricación de semiconductores.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

La TruPlasma DC Serie 4000 (G2) unifica la excelente gestión de arco de TRUMPF Hüttinger y las ventajas de la tecnología de impulsos de CC. Así puede conseguir mejores resultados de recubrimiento con menos defectos y, al mismo tiempo, una mayor tasa de desprendimiento. El resultado son superficies brillantes y un alto rendimiento de la producción.

Generador por impulsos de la TruPlasma DC Serie 4000

TruPlasma DC Serie 4000

Los generadores de la TruPlasma DC Serie 4000 son la mejor elección para procesos de plasma exigentes. Ofrecen máxima potencia en un amplio rango de ajuste de carga. Por ello son idóneos para aplicaciones de pulverización de alta tecnología, así como aplicaciones de plasma estándar o por impulsos de corriente continua. Al igual que los generadores que no funcionan por impulsos, disponen de una sorprendente gestión de arco.

Generador de la TruPlasma Highpulse Serie 4000

TruPlasma Highpulse Serie 4000

Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 son la mejor elección para aplicaciones HIPIMS y proporcionan recubrimientos con material duro especialmente resistentes a la corrosión y al desgaste. En combinación con sustratos polarizados, la TruPlasma Highpulse Serie 4000 también se puede utilizar en aplicaciones de semiconductores como, por ejemplo, el decapado, el tratamiento previo de superficies y el llenado de surcos.

Generador de voltaje de polarización con gestión de tensión estable y gestión de arco rápida

TruPlasma Bias Serie 4000

La TruPlasma Bias Serie 4000 es una familia de productos de los más modernos generadores de voltaje de polarización por impulsos CC. Es posible conseguir frecuencias de impulso de hasta 100 kHz, así como salidas de corriente de polarización continuas.
Todos los aparatos de la serie disponen de dos modos de trabajo: un modo de alta tensión con 1200 voltios para procesos con sustrato o decapado, así como un modo de baja tensión con 300 voltios para los procesos de aplicación de capas reforzados por corriente de polarización que, por ejemplo, se emplean en la tecnología de semiconductores o en el recubrimiento con material duro.

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