Manejo insuperable de procesos exigentes
La TruPlasma DC Serie 4000 (G2) fue especialmente desarrollada para la pulverización catódica CC con materiales difíciles. Los generadores que funcionan con corriente continua por impulsos demuestran ser idóneos, sobre todo, para los procesos de PVD y PECVD críticos, en los que se exigen a la vez la más alta calidad de capa y productividad. Las compactas fuentes de alimentación CC se pueden utilizar en modo de impulsos, así como en funcionamiento de corrientes polarizadas, por lo que podría decirse que son dos aparatos en una sola carcasa.
El procesamiento de la señal digital garantiza procesos estables y pérdidas de tiempo mínimas a causa del arco.
La gestión de arco rápida en combinación con la tecnología de impulsos de CC minimizan los daños del sustrato.
Gracias al amplio espectro de frecuencia y al voltaje ajustable reversible.
La refrigeración por agua integrada ahorra espacio y reduce el gasto de mantenimiento.
Recubrimiento con material duro
Con la aplicación de capas funcionales, las piezas de trabajo sometidas a grandes esfuerzos gozan de una mayor resistencia en los cantos y fricción estática, así como una mejor estabilidad térmica y química. Los generadores por impulsos de la TruPlasma DC Serie 4000 (G2) garantizan un proceso de plasma estable y, con ello, una calidad de capa óptima.
Metalización
Mediante un proceso PVD, se pueden aplicar las capas metálicas muy finas sobre distintos materiales para conferirles óptimas propiedades estéticas y eléctricas. Una alimentación eléctrica ajustada óptimamente a los parámetros de proceso hacen posible la deposición de capas absolutamente homogéneas y sin defectos.
Fabricación de células solares
A fin de influir en sus características eléctricas, las células solares, así como las pantallas planas y táctiles, están recubiertas con materiales conductivos (TCO). Por su bajísima energía de arco, los generadores por impulsos de la TruPlasma DC Serie 4000 (G2) son los más apropiados para esto.
Vidrio arquitectónico
El recubrimiento de grandes superficies de vidrio arquitectónico en un proceso de plasma PVD plantea requisitos verdaderamente altos a la corriente de alimentación del proceso. Los generadores por impulsos de la TruPlasma DC Serie 4000 (G2) ofrecen los requisitos ideales para obtener un resultado de recubrimiento de gran calidad.
TruPlasma DC 4010 (G2)
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TruPlasma DC 4020 (G2)
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TruPlasma DC 4040 (G2)
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|---|---|---|---|
| Salida | |||
| Potencia nominal | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
| Corriente de salida máxima | 33 A ef | 67 A ef | 133 A ef |
| Tensión de salida máxima | 1200 V ef | 1200 V ef | 1200 V ef |
| Frecuencia nominal de servicio | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
| Parámetros de arco | |||
| Tasa máxima del arco | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
| Arco energía | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
| Tiempo de tratamiento arco | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
| Tensiones de encendido | |||
| con ayuda de encendido | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
| sin ayuda de encendido | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
| Datos de conexión de red | |||
| Tensión de red | 3x 360 V - 528 V | 3 veces 360 V - 528 V | 3 veces 360 V - 528 V |
| Frecuencia de la red | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
| Interfaces de comunicación | |||
| Analógico/digital | Sí | Sí | Sí |
| RS 232 / RS 485 | Sí | Sí | Sí |
| PROFIBUS | Sí | Sí | Sí |
| EtherCAT | No | No | No |
| DeviceNet | Sí | Sí | Sí |
| Carcasa | |||
| Peso | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
| Tipo de protección IP | 40 | 40 | 40 |
| Requisitos de refrigeración | |||
| Refrigerante | Agua | Agua | Agua |
| Presión máx. del agua | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
| Diferencia mín. de presión | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
| Caudal mínimo | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
| Temperatura del refrigerante | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
| Datos de conexión CC | |||
| Número de terminales | 3 | 3 | 3 |
| Corriente nominal/terminal | 25 A | 45 A | 85 A |
| General | |||
| Grado de rendimiento total | 90 % | 90 % | 90 % |
| Certificados/estándares | CE | CE | CE |
| Condiciones del entorno | |||
| Temperatura exterior | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| Humedad del aire | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| Presión barométrica | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.
Gran calidad de capa y productividad
La combinación de una gestión de arco rápida y la tecnología de impulsos CC da lugar a una pequeña tasa de gotas y menos defectos superficiales. Las interrupciones de proceso debidas al arco se minimizan, la tasa de deposición se eleva significativamente.
Adaptación flexible al proceso
La frecuencia de impulso puede ajustarse con un amplio margen, lo que hace posible el funcionamiento polarizado del generador CC. Así, el mismo aparato sirve para numerosas aplicaciones. Las sofisticadas herramientas de monitorización le respaldarán en la optimización de sus procesos.
Diversas opciones le permiten adaptar perfectamente los generadores CC por impulsos a su aplicación.
Varios generadores de corriente continua de la TruPlasma DC Serie 4000 (G2) pueden ponerse en funcionamiento sincronizado. Este modo permite la sincronización de la detección del arco de varios generadores que estén orientados a diferentes objetivos. El modo de impulso también es sincronizable.
PVD Power
El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).
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