Manejo insuperable de procesos exigentes
La TruPlasma DC Serie 4000 (G2) fue especialmente desarrollada para la pulverización catódica CC con materiales difíciles. Los generadores que funcionan con corriente continua por impulsos demuestran ser idóneos, sobre todo, para los procesos de PVD y PECVD críticos, en los que se exigen a la vez la más alta calidad de capa y productividad. Las compactas fuentes de alimentación CC se pueden utilizar en modo de impulsos, así como en funcionamiento de corrientes polarizadas, por lo que podría decirse que son dos aparatos en una sola carcasa.
El procesamiento de la señal digital garantiza procesos estables y pérdidas de tiempo mínimas a causa del arco.
La gestión de arco rápida en combinación con la tecnología de impulsos de CC minimizan los daños del sustrato.
Gracias al amplio espectro de frecuencia y al voltaje ajustable reversible.
La refrigeración por agua integrada ahorra espacio y reduce el gasto de mantenimiento.
TruPlasma DC 4010 (G2)
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TruPlasma DC 4020 (G2)
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TruPlasma DC 4040 (G2)
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Salida | |||
Potencia nominal | 10 kW | 20 kW | 40 kW |
Corriente de salida máxima | 33 A ef | 67 A ef | 133 A ef |
Tensión de salida máxima | 1200 V ef | 1200 V ef | 1200 V ef |
Frecuencia nominal de servicio | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz | 0 kHz - 100 kHz |
Parámetros de arco | |||
Tasa máxima del arco | 20000 1/s | 20000 1/s | 20000 1/s |
Arco energía | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW | <0,3 mJ/kW |
Tiempo de tratamiento arco | <0,1 µs | <0,1 µs | <0,1 µs |
Tensiones de encendido | |||
con ayuda de encendido | 1750 V | 1750 V | 1750 V |
sin ayuda de encendido | 1250 V | 1250 V | 1250 V |
Datos de conexión de red | |||
Tensión de red | 3x 360 V - 528 V | 3 veces 360 V - 528 V | 3 veces 360 V - 528 V |
Frecuencia de la red | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz |
Interfaces de comunicación | |||
Analógico/digital | Sí | Sí | Sí |
RS 232 / RS 485 | Sí | Sí | Sí |
PROFIBUS | Sí | Sí | Sí |
EtherCAT | No | No | No |
DeviceNet | Sí | Sí | Sí |
Carcasa | |||
Peso | 65 kg | 75 kg | 150 kg |
Tipo de protección IP | 40 | 40 | 40 |
Requisitos de refrigeración | |||
Refrigerante | Agua | Agua | Agua |
Presión máx. del agua | 7 bar | 7 bar | 7 bar |
Diferencia mín. de presión | 3 bar | 3 bar | 3 bar |
Caudal mínimo | 8 l/min | 8 l/min | 16 l/min |
Temperatura del refrigerante | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C |
Datos de conexión CC | |||
Número de terminales | 3 | 3 | 3 |
Corriente nominal/terminal | 25 A | 45 A | 85 A |
General | |||
Grado de rendimiento total | 90 % | 90 % | 90 % |
Certificados/estándares | CE | CE | CE |
Condiciones del entorno | |||
Temperatura exterior | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
Humedad del aire | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
Presión barométrica | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa | 86 kPa - 106 kPa |
Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Gran calidad de capa y productividad
La combinación de una gestión de arco rápida y la tecnología de impulsos CC da lugar a una pequeña tasa de gotas y menos defectos superficiales. Las interrupciones de proceso debidas al arco se minimizan, la tasa de deposición se eleva significativamente.

Adaptación flexible al proceso
La frecuencia de impulso puede ajustarse con un amplio margen, lo que hace posible el funcionamiento polarizado del generador CC. Así, el mismo aparato sirve para numerosas aplicaciones. Las sofisticadas herramientas de monitorización le respaldarán en la optimización de sus procesos.
Diversas opciones le permiten adaptar perfectamente los generadores CC por impulsos a su aplicación.
Varios generadores de corriente continua de la TruPlasma DC Serie 4000 (G2) pueden ponerse en funcionamiento sincronizado. Este modo permite la sincronización de la detección del arco de varios generadores que estén orientados a diferentes objetivos. El modo de impulso también es sincronizable.

PVD Power
El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).
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