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TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) | TRUMPF
Generador de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)
Generador de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)

Resultados de recubrimiento superiores gracias al plasma de alta densidad

La mejor elección para aplicaciones HiPIMS

Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) pueden utilizarse como alternativa a los generadores de pulverización CC en sistemas de magnetrones, sin necesidad de efectuar modificaciones. Proporcionan recubrimientos con material duro especialmente resistentes a la corrosión y al desgaste, y son la mejor elección para aplicaciones de High Power Impulse Magnetron Sputtering.

Resultados de recubrimiento impecables

Las potencias de cresta perfectas de hasta 4 megavatios generan densidades de plasma extremas con altos flujos de iones.

Uso flexible

La adaptación sencilla a los sistemas de cátodos y a los requerimientos de proceso existentes hacen posible una integración óptima de los dispositivos.

La mejor elección para aplicaciones HiPIMS

Como desarrollo más novedoso de los procesos de pulverización catódica PVD, HiPIMS ofrece recubrimientos con material duro particularmente resistentes a la corrosión y al desgaste.

Para multitud de aplicaciones

También aplicable en modo de CC, sin necesidad de un generador de CC adicional.

El generador de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 en acción

Recubrimientos con material duro

Con la aplicación de capas funcionales, las piezas de trabajo sometidas a grandes esfuerzos gozan de una mayor resistencia en los cantos y fricción estática, así como una mejor estabilidad térmica y química. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) garantizan un proceso de plasma extraordinariamente estable y, con ello, una calidad de capa excelente.

Fabricación de células solares

Industria fotovoltaica/semiconductores

En el sector de la fotovoltaica y los semiconductores, existen numerosos campos de aplicación para la energía de proceso a medida. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) pueden adaptarse de forma óptima a cada proceso y hacen posibles unos parámetros de recubrimiento excelentes y una alta productividad.

Ideal para el recubrimiento de grandes superficies

Recubrimientos de vidrio

Los recubrimientos de grandes superficies de vidrio arquitectónico en un proceso de plasma PVD plantean exigencias verdaderamente altas a la corriente de alimentación del proceso. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) ofrecen los requisitos previos ideales para un resultado de recubrimiento de gran calidad.

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Vidrio arquitectónico

Resultados de proceso óptimos

Las altas potencias de cresta generan plasma altamente ionizado y permiten altos flujos de iones. Esto permite obtener películas muy coherentes y densas sin gotitas. En combinación con configuraciones de sustratos polarizadas, los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) ofrecen resultados superiores en aplicaciones de decapado y llenado de surcos.

Gestión de arco

Gestión de arco íntegramente digital

La posibilidad de ajustar la frecuencia y la longitud de impulso, los parámetros de potencia ampliados y la gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilitan una pulverización sin gotas, minimizan los defectos en la película y garantizan calidades de capa y tasas de deposición elevadas.

Generador de AF para circuitos oscilantes paralelos

Revestimientos excelentes

La alta energía y los altos voltajes de hasta 2 kV permiten la producción de recubrimientos de alta calidad, tanto en pequeños laboratorios como en grandes instalaciones industriales. Los impulsos de hasta 5 ms y las frecuencias de hasta 10 kHz aumentan la velocidad de deposición y ayudan a reducir los costes de servicio totales.

Fabricación de células solares

Alta estabilidad de los procesos

El control de potencia con frecuencia ajustable garantiza que los parámetros de deposición permanezcan constantes incluso en procesos reactivos exigentes. De esta manera, los procesos permanecen estables durante horas y días sin que sea necesaria ninguna intervención.

Una unidad compacta

Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie son una unidad de tamaño compacto. No necesitan una fuente de alimentación externa de CC, están completamente refrigerados por agua y permiten trabajar en una sala blanca.

Diversas opciones le garantizan la adaptación perfecta de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) a su aplicación.

Adaptación rápida al proceso
Gestión de arco CompensateLine (CLC)

La gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilita calidades de capa y tasas de deposición elevadas.

Software de mando gráfico PVD Power

PVD Power

El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

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